一种IGZO薄膜蚀刻液的制作方法

技术特征：
1.一种igzo薄膜蚀刻液，其特征在于，由如下重量百分比计的原料制成：草酸2～5wt%、蚀刻速率稳定剂0.1～1wt%、水分挥发抑制剂1～3wt%、表面活性剂0.01-1wt%、余量为水。2.如权利要求1所述的igzo薄膜蚀刻液，其特征在于，所述的蚀刻率稳定剂为磷酸盐，所述的磷酸盐为磷酸氢二钾、磷酸氢二钠、磷酸二氢钠、磷酸二氢钾中的任意一种。3.如权利要求1所述的igzo薄膜蚀刻液，其特征在于，所述的水分挥发抑制剂为长碳链脂肪醇和短碳链脂肪醇复配混合物。4.如权利要求3所述的igzo薄膜蚀刻液，其特征在于，所述的长碳链脂肪醇为十六醇、十七醇和十八醇中的任意一种；短碳链脂肪醇为乙醇、正丙醇、异丙醇，正丁醇中的任意一种。5.如权利要求3所述的igzo薄膜蚀刻液，其特征在于，所述的长碳链脂肪醇和短碳链脂肪醇的质量比为0.1～5：1。6.如权利要求5所述的igzo薄膜蚀刻液，其特征在于，所述的长碳链脂肪醇和短碳链脂肪醇的质量比为0.3～3：1。7.如权利要求1 所述的igzo薄膜蚀刻液，其特征在于，所述的表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚。8.如权利要求7所述的igzo薄膜蚀刻液，其特征在于，所述的脂肪醇聚氧乙烯醚分子式为r-o-(ch2ch2o)
n
h，其中r=c12，n=10。9.如权利要求1所述的 igzo薄膜蚀刻液，其特征在于，所述的草酸的重量百分比为3～4wt%。10.如权利要求1～9之一所述的 igzo薄膜蚀刻液，其特征在于，所述的igzo薄膜蚀刻液制备方法，包括以下步骤；（1）取预设量的草酸和水准备,将草酸和水配制成所需的草酸溶液,放入准备好的容器中备用；（2）取步骤(1)中配置好的草酸溶液，将其加入混配釜中；（3）将步骤（2）中的混配釜置于搅拌的环境下，将预设的蚀刻速率稳定剂、水分挥发抑制剂、表面活性剂和余量水按照一定比例加入混配釜中，且保持循环3h以上；（4）取步骤（3）所制得的混合液体，将混合液体通过过滤器过滤，得到所需的igzo薄膜蚀刻液。

技术总结
本发明是一种IGZO薄膜蚀刻液，由如下重量百分比计的原料制成：2～5wt%的草酸、0.1～1wt%的蚀刻速率稳定剂、1～3wt%的水分挥发抑制剂、0.01-1wt%的表面活性剂、余量为水，本发明中蚀刻液成分简单，工艺简单，性质稳定，容易储存，蚀刻速率适中，蚀刻均一性好，精度高。精度高。


技术研发人员：胡涛 邢攸美 李盈盈 王小眉 方伟华 尹云舰 施珂
受保护的技术使用者：杭州格林达电子材料股份有限公司
技术研发日：2020.05.06
技术公布日：2021/11/8