一种晶圆贴附DAF膜的装置的制作方法

一种晶圆贴附daf膜的装置
技术领域
1.本实用新型涉及覆膜技术设备技术领域，具体为一种晶圆贴附daf膜的装置。


背景技术：

2.daf膜是由两层胶面和中间层高导热树脂层组成，一侧胶面与半导体芯片粘接，常用于半导体元件的封装，现在技术中，半导体元件在生产工艺中需做覆膜贴片处理，一般采用人工覆膜贴片方式，这种覆膜贴片方式劳动强度大，人工成本高，且覆膜贴片效率低下。
3.现在的daf膜粘贴在离型纸上运送，需将daf膜撕落，再进行定位粘贴，通过人工撕离，耗时耗力，严重影响加工效率，为此，现需要一种晶圆贴附 daf膜的装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种晶圆贴附daf膜的装置，可自动将daf 膜与离型纸分离，并通过活动工作台的传动，使daf膜精准定位，解决了上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆贴附daf膜的装置，包括机架，所述机架包括底板以及固定安装在底板两侧的左侧板和右侧板，所述底板、左侧板和右侧板形成框体，所述底板上设置有导杆气缸和控制电机，所述导杆气缸上设有活动工作台底部设有滑轨，该滑轨与导杆气缸上端滑动连接，所述活动工作台上安装有可拆卸的衬片和可拆卸的工作盘，所述工作盘上方设置有分离刀，所述控制电机和活动工作台联动连接。
6.优选的，所述右侧板后端连接有固定板，所述固定板与左侧板之间设有可转动的送料卷筒和收料卷筒，且送料卷筒位于收料卷筒上方，所述送料卷筒和收料卷筒贯穿左侧板连接有同步轮，该两个同步轮通过皮带联动连接，所述送料卷筒前方设有第一导向杆，所述第一导向杆前方设有第一转向杆，所述第一转向杆前方设有第二导向杆，所述第二导向杆前方设有传感器，所述传感器前方与第一导向杆下方均设置有滚轴组件，所述传感器下方设置有第二转向杆，所述第二转向杆前方设有主滚轴，所述左侧板内侧设有伺服电机，两组所述滚轴组件与所述伺服电机贯穿左侧板连接有齿轮，三个齿轮通过传动带联动连接，所述左侧板上设有张紧轮，该张紧轮与传动带相接触。
7.优选的，每组所述滚轴组件包括固定滚轴、活动滚轴和两个压紧气缸，所述固定滚轴两端分别与左侧板和右侧板可转动连接，两个压紧气缸分别安装在左侧板和右侧板上，且所述活动滚轴在两个压紧气缸上活动连接，所述固定滚轴与活动滚轴相接触。
8.优选的，所述左侧板外侧设置有电气罩，该电气罩与左侧板包覆两个同步轮和三个齿轮和其它的电气元件和控制电路。
9.优选的，所述底板下端设有多个支撑脚。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
11.本实用新型通过设置活动工作台，通过可拆卸的衬片和可拆卸的工作盘，可根据加工物尺寸大小可透过预制不同尺寸的衬片和工作盘拆换，通过伺服电机配合滑轨和导杆
气缸，可使活动工作台前后上下传动调节位置，使产品和daf精准定位。
附图说明
12.图1为本实用新型的结构示意图；
13.图2为本实用新型的部分结构示意图一；
14.图3为本实用新型的部分结构示意图二。
具体实施方式
15.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
16.请参阅图1至图3，本实用新型提供的一种实施例：一种晶圆贴附daf膜的装置，包括机架，机架包括底板1以及固定安装在底板1两侧的左侧板2 和右侧板3，底板1、左侧板2和右侧板3形成框体，底板1上设置有控制电机5和导杆气缸4，导杆气缸4上设有活动工作台底部设有滑轨(图未示)，该滑轨与导杆气缸4上端滑动连接，活动工作台6上安装有可拆卸的衬片7 和可拆卸的工作盘8，工作盘8上方设置有分离刀，控制电机5和活动工作台 6联动连接。
17.具体的，右侧板3后端连接有固定板9，固定板9与左侧板2之间设有可转动的送料卷筒10和收料卷筒11，且送料卷筒10位于收料卷筒11上方，送料卷筒10和收料卷筒11贯穿左侧板2连接有同步轮12，该两个同步轮12通过皮带13联动连接，送料卷筒10前方设有第一导向杆14，第一导向杆14前方设有第一转向杆15，第一转向杆15前方设有第二导向杆16，第二导向杆 16前方设有传感器17，传感器17前方与第一导向杆14下方均设置有滚轴组件，传感器17下方设置有第二转向杆18，第二转向杆18前方设有主滚轴19，左侧板2内侧设有伺服电机20，两组滚轴组件与伺服电机20贯穿左侧板2连接有齿轮21，三个齿轮21通过传动带22联动连接，左侧板2上设有张紧轮 23，该张紧轮23与传动带22相接触。送料卷筒10用于挂装卷状物料，物料依次绕过第一导向杆14、第一转向杆15、第二导向杆16、传感器17前方的滚轴组件、分离刀、第二转向杆18、第一导向杆14下方的滚轴组件和收料滚筒11上，两个滚轴组件通过伺服电机20带动物料传动，其中分离刀将离型纸和daf膜分离。张紧轮23用于将传动带22置于预紧状态，消除传动间隙。
18.具体的，每组滚轴组件包括固定滚轴24、活动滚轴25和两个压紧气缸 26，固定滚轴24两端分别与左侧板2和右侧板3可转动连接，两个压紧气缸 26分别安装在左侧板2和右侧板3上，且活动滚轴25在两个压紧气缸26上活动连接，固定滚轴24与活动滚轴25相接触，物料带穿过固定滚轴24与活动滚轴25之间，压紧气缸26推动活动滚轴25，使固定滚轴24与活动滚轴 25紧压物料带，增加摩擦力，方便拖动物料带。
19.具体的，左侧板2外侧设置有电气罩27，该电气罩27与左侧板2包覆两个同步轮12和三个齿轮21，该电气罩27防止灰尘掉落到传动带22和皮带 13，影响传动。
20.具体的，底板1下端设有多个支撑脚28，本实施例设置有6个支撑脚28，该支撑脚28用于支撑机架。
21.工作原理：本实用新型工作时，控制电机5转动，活动工作台6向前端移动，活动工作台6移动至机架前方，人工将产品放置在工作盘8上，控制电机5带动活动工作台6复位，通过两组滚轴组件拖动物料带，其中送料卷筒10用于放料，收料卷筒11用于将离型纸收回，物料带经过分离刀时，分离刀将离型纸和daf膜撕离，daf膜粘至产品上，导杆气缸4带动活动工作台 6上升，控制电机5带动活动工作台6向前端移动，daf膜通过主滚轴19滚压在产品上，daf贴覆在产品上，人工将贴覆完成的产品取出，再放置尚未贴膜产品，重复循环作业。
22.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。