一种镍铂合金靶材的生产装置的制作方法

1.本实用新型涉及合金靶材生产技术领域，具体为一种镍铂合金靶材的生产装置。


背景技术：

2.溅射合金靶材是用物理气相沉积技术制备薄膜的核心材料，溅射合金靶材广泛用于信息技术、太阳能技术、电子光学技术等高技术领域，可应用于真空镀膜、耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。合金靶材主要采用冶炼、轧制等方法加工制成，熔炼法获得合金靶材的工艺包括冶炼、锻造和轧制。
3.传统的靶材制作工艺是热轧、固溶和机加工，但传统的靶材制作工艺的机加工余量大，生产出的靶材表面凸凹、平直度较差，其尺寸精度低，成材率不高。
4.对此，授权公告号为cn106424224a3的中国专利公开了一种合金靶材的纠正装置。该专利虽然在一定程度上实现了提高靶材成材的尺寸精度的效果，但是由于靶材在加工时需要放出大量的热，火星溅射，容易烫伤操作人员；而且需要人为搬运需要加工的靶材，以及将加工好的靶材取下，生产效率不高，安全系数也较低。为此我们提出一种镍铂合金靶材的生产装置用于解决上述问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种镍铂合金靶材的生产装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种镍铂合金靶材的生产装置，包括底板、传送带和纠正箱，所述底板上端两侧固定设有两个限位边框，两个所述限位边框中间固定设有传送带，所述传送带上方设有纠正箱；
7.所述传送带侧面设置有传送机构，且所述传送带上端放置有放置盒，所述放置盒随着所述传送带运动，且所述放置盒内设有下模座；
8.所述纠正箱顶端中部设有驱动电机，所述驱动电机通过支撑柱固定连接在所述纠正箱上，且所述驱动电机的电机轴固定连接有螺纹内杆，所述螺纹内杆贯穿所述纠正箱顶端、并通过螺纹结构连接有螺纹外杆，所述螺纹外杆底端固定连接有上模座；
9.所述纠正箱左右两侧面固定设有套筒，所述套筒内设置有侧面压紧组件，所述侧面压紧组件包括位于所述纠正箱内部的侧压板。
10.优选的，所述传送机构包括伺服电机和放置块，所述放置块位于底板上端，且所述放置块上端固定安装有伺服电机，所述伺服电机的电机轴固定连接有轴杆，所述轴杆贯穿所述传送带内部一侧。
11.优选的，所述放置盒内部两侧固定安装有气缸，所述气缸输出端与所述下模座底端两侧固定连接，所述下模座顶端固定贴和有下垫板，所述放置盒内部中间固定安装有伸缩导杆，所述伸缩导杆上套接有缓冲弹簧。
12.优选的，所述上模座底端固定贴合有上垫板，且所述上模座上端固定安装有加热
组件，所述纠正箱顶端两侧贯穿设有导正杆，所述导正杆底端固定连接在所述上模座上端两侧。
13.优选的，所述加热组件包括加热器和电热丝，所述加热器固定安装在所述上模座上，且所述加热器的输出端固定连接有电热丝，所述电热丝放置在所述上垫板内。
14.优选的，所述侧面压紧组件还包括压紧螺栓，所述压紧螺栓通过螺纹结构贯穿所述套筒，其顶端与所述侧压板固定连接，所述侧压板另一端通过压缩弹簧固定连接有定位板。
15.优选的，所述底板底端四周均固定安装有底座，所述纠正箱前侧面固定设有观察口。
16.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型将需要矫正的靶材放置在下模座上的下垫板上，通过伺服电机带动轴杆转动，使得传送带运动，靶材跟随放置盒一起运动至纠正箱内，避免了人为搬运，提高了工作效率；通过观察口对靶材进行观察，当放置盒运动至合适位置，关闭伺服电机，气缸带动靶材上升，拧紧压机螺栓，侧压板、压缩弹簧、定位板相互配合对靶材进行水平固定；此时启动驱动电机，带动上模座上的上垫板下压靶材，对靶材进行竖直方向的固定，通过加热器对电热丝加热，达到压制需要的温度，对靶材进行精加工，经过此组合模具压制后的靶材，加工余量可比传统工艺大大减少，从而有效提高靶材成材的尺寸精度，并且能够避免人工接触，降低了危险系数。
附图说明
17.图1为本实用新型内部结构示意图；
18.图2为本实用新型图1中a处结构放大结构示意图；
19.图3为本实用新型立体结构示意图；
20.图4为本实用新型图3中b处结构放大结构示意图；
21.图5为本实用新型放置盒内部结构示意图。
22.图中：1底板、101底座、2限位边框、3传送带、4传送机构、401伺服电机、402放置块、403轴杆、5放置盒、6下模座、601下垫板、7气缸、8伸缩导杆、9缓冲弹簧、10纠正箱、1001观察口、11套筒、12侧面压紧组件、1201压紧螺栓、1202侧压板、1203压缩弹簧、1204定位板、13驱动电机、1301支撑柱、14螺纹内杆、15螺纹外杆、16导正杆、17上模座、1701上垫板、18加热组件、1801加热器、1802电热丝。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图1所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或结构必须具有的特定方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
25.请参阅图1
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5，本实用新型提供一种技术方案：一种镍铂合金靶材的生产装置，包括底板1、传送带3和纠正箱10，底板1上端两侧固定设有两个限位边框2，两个限位边框2中间固定设有传送带3，传送带3上方设有纠正箱10；
26.传送带3侧面设置有传送机构4，且传送带3上端放置有放置盒5，放置盒5随着传送带3运动，且放置盒5内设有下模座6；
27.纠正箱10顶端中部设有驱动电机13，驱动电机13通过支撑柱1301固定连接在纠正箱10上，支撑柱1301对驱动电机13起到支撑的作用，能够使驱动电机13有效的进行工作，且驱动电机13的电机轴固定连接有螺纹内杆14，螺纹内杆14贯穿纠正箱10顶端、并通过螺纹结构连接有螺纹外杆15，螺纹外杆15底端固定连接有上模座17；
28.纠正箱10左右两侧面固定设有套筒11，套筒11内设置有侧面压紧组件12，套筒11内的螺纹结构对侧面压紧组件起到固定的作用，方便侧面压紧组件12的压紧与拧松，侧面压紧组件12包括位于纠正箱10内部的侧压板1202。
29.传送机构4包括伺服电机401和放置块402，放置块402位于底板1上端，且放置块402上端固定安装有伺服电机401，伺服电机401的电机轴固定连接有轴杆403，轴杆403贯穿传送带3内部一侧。
30.放置盒5内部两侧固定安装有气缸7，气缸7输出端与下模座6底端两侧固定连接，下模座6顶端固定贴和有下垫板601，放置盒5内部中间固定安装有伸缩导杆8，伸缩导杆8上套接有缓冲弹簧9，伸缩导杆8起到限位的作用，防止下模板6跑偏，缓冲弹簧9起到缓冲的作用。
31.上模座17底端固定贴合有上垫板1701，且上模座17上端固定安装有加热组件18，纠正箱10顶端两侧贯穿设有导正杆16，导正杆16底端固定连接在上模座17上端两侧。
32.加热组件18包括加热器1801和电热丝1802，加热器1801固定安装在上模座17上，且加热器1801的输出端固定连接有电热丝1802，电热丝1802放置在上垫板1701内，电热丝1802能够在挤压过程中提供一定的温度，提高工作效率。
33.侧面压紧组件12还包括压紧螺栓1201，压紧螺栓1201通过螺纹结构贯穿套筒11，其顶端与侧压板1202固定连接，侧压板1202另一端通过压缩弹簧1203固定连接有定位板1204，压缩弹簧1203使得侧面压紧装置12更加稳固的对需要处理的靶材进行固定。
34.底板1底端四周均固定安装有底座101，纠正箱10前侧面固定设有观察口1001，方便操作人员进行观察，避免火星溅射造成危险。
35.工作原理：本实用新型将需要矫正的靶材放置在下模座6上的下垫板601上，通过伺服电机401带动轴杆403转动，使得传送带3运动，靶材跟随放置盒5一起运动至纠正箱10内，避免了人为搬运，提高了工作效率；通过观察口1001对靶材进行观察，当放置盒5运动至合适位置，关闭伺服电机401，气缸7带动靶材上升，拧紧压机螺栓1201，侧压板1202、压缩弹簧1203、定位板1204相互配合对靶材进行水平固定；此时启动驱动电机13，带动上模座17上的上垫板1701下压靶材，对靶材进行竖直方向的固定，通过加热器1801对电热丝1802加热，达到压制需要的温度，对靶材进行精加工，经过此组合模具压制后的靶材，加工余量可比传统工艺大大减少，从而有效提高靶材成材的尺寸精度，并且能够避免人工接触，降低了危险系数。
36.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，
可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。