mocvd设备尾气冷却装置
技术领域
1.本发明涉及的是一种高温超导材料加工设备领域的技术，具体是一种mocvd设备尾气冷却装置。
背景技术：
2.第二代高温超导薄膜制作过程中，如采用mocvd工艺路线的生产设备，则需要四氢呋喃作为工艺物质载体，该物质在工艺中会和其他物质(铱、钡、铜、氧等)生成聚合物，同时因为mocvd工艺需要高温加热衬底，让载气物质也具有了一定的温度，在经过dv5000莱宝真空泵时会产生更高的温度，从而出现焦化现象，这样的物质具有很强的粘性，进而影响真空设备运行，导致设备不能长时稳定运行，同时也会增加设备维护难度，减损真空泵的使用寿命。
3.为了解决现有技术存在的上述问题，本发明由此而来。
技术实现要素：
4.本发明针对现有技术存在的上述不足，提出了一种mocvd设备尾气冷却装置，通过增设冷却装置，降低运输气体进泵前的初始温度，从而避免出现气体焦化现象。
5.本发明包括两端开口的冷却筒，用于尾气冷却；
6.冷却筒中沿轴向设有内管，内管上固定有涡旋叶片，内管两端设有内进液管和内出液管，内进液管和内出液管，内进液管和内出液管穿设在冷却筒筒壁上并与冷却筒筒壁密封连接；
7.冷却筒在筒壁外侧套设有外管，外管上设有外进液管和外出液管，外管与冷却筒之间形成夹层，外进液管和外出液管分别与夹层连通。
8.优选地，内管在两端设有开口，对应开口设有排污堵头；在生产中，采用排污堵头塞住开口，避免内管中液体泄漏；在需要维护保养时，取下排污堵头，对内管进行排污清洁。技术效果
9.与现有技术相比，本发明具有如下技术效果：
10.1)尾气自冷却筒两端开口进出，内管和夹层均可通入低温液体对冷却筒中尾气进行冷却，避免出现工艺尾气焦化现象，有利于改善真空泵的使用环境和寿命，提升真空泵的工艺稳定性，降低设备故障率；
11.2)涡旋叶片的设计为尾气在冷却筒中的运动提供了涡旋通道，增加了换热时间和换热面积，有利于降低尾气温度，且结构紧凑。
附图说明
12.图1为实施例1的整体结构示意图；
13.图2为实施例1的剖面结构示意图；
14.图3为实施例1中涡旋叶片结构示意图；
15.图4为实施例1中内进液管结构示意图；
16.图中：冷却筒1，尾气入口11，尾气出口12，凸台13、密封圈14；
17.外管2，外进液管21，外出液管22，夹层23；
18.内管3，内进液管31，圆台311，内出液管32，接头33，排污堵头34；
19.涡旋叶片4。
具体实施方式
20.下面结合附图及具体实施方式对本发明进行详细描述。实施例1
21.如图1、图2和图3所示，本实施例包括两端开口的冷却筒1，一端开口为尾气入口11，一端开口为尾气出口12。
22.冷却筒1在筒壁外侧套设有外管2，外管2上设有外进液管21和外出液管22，外管2与冷却筒1之间形成夹层23，外进液管21和外出液管22分别与夹层23连通，通过外进液管21向夹层23中通入低温冷却介质，通过外出液管22将换热后的冷却介质排出；外层出液管采用下进上出形式，使得夹层中冷却介质沿着筒壁充分流动带走热量。
23.冷却筒1中沿轴向设有内管3，内管3上固定有涡旋叶片4，涡旋叶片4的外缘与冷却管内壁相抵。内管3和涡旋叶片4优选采用高导热系数材料制成，如铝、铝合金等金属，采用焊接固定的方式连接成一体或铸造的方式一体成型。
24.内管3两端分别设有内进液管31和内出液管32；优选地，内进液管31和内出液管32与内管密封连接，方便拆装维护，亦可采用焊接等方式固定成一体，由此可能会损失其维护便利性；内进液管31和内出液管32穿设在冷却筒筒壁上且分别与冷却筒筒壁密封处理。通过内进液管31向内管3通入低温冷却介质，通过内出液管32将换热后的冷却介质排出，内管中的冷却介质可以和夹层中的冷却介质相同，也可以不同。
25.具体地，对于内进液管31和内出液管32，内进液管31和内出液管32上均设有挡板，在冷却筒1上设有凸台13，凸台13上表面设有密封槽，密封槽中放置有密封圈14，挡板顶靠在凸台上，通过压紧密封圈密封；对于内进液管31和内出液管32，内管设有接头33，内进液管和内出液管分别插设在接头中，通过螺纹密封；以内进液管为例，如图4所示，内进液管端部设有圆台311，圆台于周向设有螺纹，起到密封的作用；实现了双重密封。
26.内管3在两端设有开口，对应开口设有排污堵头34。排污堵头在端部优选采用圆台结构，圆台于周向设有螺纹，起到密封封闭的作用。在生产中，采用排污堵头塞住开口，避免内管中液体泄漏；在需要维护保养时，取下排污堵头，对内管进行排污清洁。
27.需要强调的是：以上仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
技术特征：
1.一种mocvd设备尾气冷却装置，其特征在于，包括两端开口的冷却筒；冷却筒中沿轴向设有内管，内管上固定有涡旋叶片；内进液管和内出液管穿设在冷却筒筒壁上并与冷却筒筒壁密封连接；冷却筒在筒壁外侧套设有外管，外管上设有外进液管和外出液管，外管与冷却筒之间形成夹层，外进液管和外出液管分别与夹层连通。2.根据权利要求1所述mocvd设备尾气冷却装置，其特征是，内管在两端设有开口，对应开口设有排污堵头。3.根据权利要求1所述mocvd设备尾气冷却装置，其特征是，冷却筒设有密封凸台，内进液管和内出液管分别穿设在密封凸台中，与冷却筒密封连接。4.根据权利要求1所述mocvd设备尾气冷却装置，其特征是，内管设有接头，内进液管和内出液管分别插设在接头中，通过螺纹密封。5.根据权利要求1所述mocvd设备尾气冷却装置，其特征是，涡旋叶片与内管焊接连接。6.根据权利要求1所述mocvd设备尾气冷却装置，其特征是，涡旋叶片的外缘与冷却管内壁相抵。7.根据权利要求1所述mocvd设备尾气冷却装置，其特征是，内管和涡旋叶片采用高导热系数材料制成。
技术总结
一种MOCVD设备尾气冷却装置，属于高温超导材料加工设备技术领域。该MOCVD设备尾气冷却装置包括两端开口的冷却筒；冷却筒中沿轴向设有内管，内管上固定有涡旋叶片；内进液管和内出液管穿设在冷却筒筒壁上并与冷却筒筒壁密封连接；冷却筒在筒壁外侧套设有外管，外管上设有外进液管和外出液管，外管与冷却筒之间形成夹层，外进液管和外出液管分别与夹层连通。本发明通过增设冷却装置，降低运输气体进泵前的初始温度，从而避免出现工艺尾气焦化现象。象。象。
技术研发人员：周国山 蔡渊 迮建军
受保护的技术使用者：东部超导科技（苏州）有限公司
技术研发日：2021.08.12
技术公布日：2021/11/4
再多了解一些
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