一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置的制作方法

1.本发明涉及原子层沉积设备技术领域，具体涉及一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置。


背景技术：

2.银饰品是一种以金属银打造的饰品，质地光滑，富有色泽。但银饰品在保存中容易氧化导致变色甚至发黑。而用电镀、无机钝化膜、有机钝化膜等常规处理方法会破坏银饰品的色泽，也存在污染问题。原子层沉积是一种可以实现将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。相对于其他原子层沉积的常规衬底，比如硅片、玻璃以及金属等，银饰品表面处理具有以下特点：1)种类多样，形状不规则，有耳环、耳钉、项链这样的小银饰、也有银帽这样的大银饰，一些棱角处很难进行表面处理；2)银饰品是具有银光泽的饰品，表面镀膜的厚度不能产生色差。
3.如果采用传统的原子层沉积装置对饰品进行沉积反应时，会出现以下问题：
4.1、前驱体源输出角度有限，不能保证对饰品的各个角度进行喷射，影响美观效果。
5.2、原子层沉积产生的薄膜不够均匀，局部地方的厚度较大，造成色差较大也会造成资源浪费。
6.3、前驱体源流向混乱，造成大量的浪费。
7.为此，我们提出一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置。


技术实现要素：

8.本发明的目的在于解决或者至少缓解现有技术中存在的问题。
9.为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：
10.一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置，其特征在于，包括：
11.外筒；
12.连接在外筒下端的底盖；
13.连接在底盖下端的用于支撑的底座；
14.盖设在外筒上端的上盖，上盖的上端设置有加热顶座，
15.设置在外筒内部的内筒，内筒的内底壁上设置有沉槽，且沉槽上盖设有匀气盘；
16.环绕置于外筒和内筒之间的加热管；
17.设置在内筒内侧上方的进气装置，进气装置包括匀气环，匀气环通过连接装置与前驱体源输入管贯通连接，匀气环的内侧开设有多排环形等距分布的出气孔。
18.可选地，所述加热顶座内设置有第一加热器。
19.可选地，所述底盖内设置有第二加热器。
20.可选地，所述底座上设置有多个升降装置，且多个升降装置的上端均连接在上盖上。
21.可选地，所述连接装置包括第一连接管和第二连接管，第一连接管与前驱体源输
入管贯通连接，第二连接管与匀气环贯通连接，第一连接管和第二连接管均开设有相互对应的阶梯状坡口，第一连接管和第二连接管通过扣件和螺丝相互固定。
22.可选地，所述第一连接管上的阶梯状坡口方向朝上，且第二连接管上的阶梯状坡口方向朝下。
23.可选地，还包括置于内筒内部并用于放置饰品的料架；所述托架的底部由两个上下分布且相互连接的圆环组成，位于下方的圆环放置在匀气盘上，位于上方的圆环两侧连接有方便提取的挂环，位于上端的圆环中心通过连杆连接有向上延伸的载物托架，饰品置于托架上。
24.可选地，所述内筒的上端盖设有筒盖。
25.可选地，所述沉槽的下端贯通连接有支撑管，支撑管连接在底盖上，底盖上连接有与支撑管贯通连接的回收管
26.本发明实施例提供了一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置。具备以下有益效果：
27.本发明提供一种银饰品表面处理的原子层沉积装置：采用内外筒的保温设计，配合全面加热的方式，提高了银饰品在沉积反应时的温度要求，再通过匀气环、匀气盘的结构设计，能够提高对银饰品的沉积效果，使得生成的薄膜更加均匀、完整，同时还能满足对不同大小料架的加工以及对多余前驱体源废气进行收集，具有很强的实用性。
附图说明
28.图1为本发明立体结构示意图；
29.图2为本发明结构正视剖视示意图；
30.图3为本发明结构侧视剖视示意图；
31.图4为本发明进气装置与内筒连接结构放大示意图。
具体实施方式
32.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
33.参照附图1
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4，一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置，
34.一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置，包括保温隔热作用的外筒1，连接在外筒1下端的底盖9，连接在底盖9下端的用于支撑的底座2，以及盖设在外筒1上端的上盖4，上盖4的上端设置有加热顶座5，加热顶座5内设置有第一加热器5.1，底盖9内设置有第二加热器9.1，从对内筒6的顶部加热，所述外筒1内设置有内筒6，内筒6为反应室，原子层沉积发生在内筒6内部，内筒6的上端盖设有筒盖6.1，提高的密封效果，内筒6的内底壁上设置有沉槽，且沉槽上盖设有匀气盘6.2，匀气盘6.2有两个作用，其一是能够将气流均匀的向下传输，达到匀气的效果；其二能够对前驱体源进行收集。
35.沉槽的下端贯通连接有支撑管7，支撑管7连接在底盖9上，且回收管8穿过底盖9并与支撑管7贯通连接，通过设置沉槽，配合上匀气盘6.2、支撑管7和回收管8，能够对多余的
前驱体源进行回收，减少资源浪费，回收管8和支撑管7之间套设有密封膜，提高密封效果。
36.本实施例中，所述底座2上设置有多个升降装置3，且多个升降装置3的上端均连接在上盖4上，通过设置升降装置3，能够更好的打开上盖4。
37.可选地，所述外筒1和内筒6之间还设置有加热管10，且加热管10呈蛇形分布，能够对内筒6的侧壁进行加热，配合第一加热器5.1和第二加热器9.1，能够提高对内筒6的全面加热效果，同时受热更加均匀。
38.采用内外筒的结构设计，能够提高很好的保温效果，同时也能提高密封效果。
39.所述内筒6的内侧上方设置有进气装置11，进气装置11包括匀气环11.2和前驱体源输入管11.1，前驱体源输入管11.1通过连接装置与匀气环11.2贯通连接，方便将前驱体源输送到匀气环11.2内，匀气环11.2的内侧开设有多排环形等距分布的出气孔，能够确保前驱体源能够从匀气环11.2多角度均匀的喷出，继而提高对饰品进行沉积反应，提高沉积薄膜的均匀度，同时采用环形的匀气环11.2能够方便小型号的料架12进入；
40.连接装置包括第一连接管11.3和第二连接管11.4，第一连接管11.3与前驱体源输入管11.1贯通连接，第二连接管11.4与匀气环11.2贯通连接，第一连接管11.3和第二连接管11.4均开设有相互对应的阶梯状坡口，采用阶梯状坡口能够更大限度的避免泄露，同时配合上扣件11.5，能够提高密封效果，且第一连接管11.3和第二连接管11.4通过相对应的阶梯状坡口能够形成密封管道，第一连接管11.3和第二连接管11.4通过扣件11.5和螺丝相互固定，第一连接管11.3上的阶梯状坡口方向朝上，且第二连接管11.4上的阶梯状坡口方向朝下，方便快速将匀气环11.2从上方快速的取下，以便于配合料架12使用，或者单独对匀气环11.2进行清洗更换零部件。
41.料架12放置在内筒6内，有托架12的底部由两个上下分布且相互连接的圆环组成，位于下方的圆环放置在匀气盘6.2上，位于上方的圆环两侧连接有方便提取的挂环，位于上端的圆环中心通过连杆连接有向上延伸的载物托架，饰品置于托架12上，当前驱体源通过匀气环11.2上的多排出气孔对饰品进行全面的沉积反应，而多余的前驱体源会顺着匀气盘6.2向下移动，使得气流更加均匀，提高薄膜的效果。
42.工作时，通过升降装置3打开上盖4，同时打开筒盖6.1，将挂有饰品的料架12放入内筒6内，当料架12小于匀气环11.2时，可以直接放入，当料架12较大时，可以通过连接装置拆下匀气环11.2，继而方便放入料架12，料架12放在匀气盘6.2上，整体更加灵活多变，适合不同的饰品或料架12的加工，然后关闭筒盖6.1和上盖4，然后打开加热管10、第一加热器5.1和第二加热器9.1，同时通过第一连接管11.3和第二连接管11.4配合扣件11.5的将匀气环11.2进行快速组装，然后通过前驱体源输入管11.1，将前驱体源经匀气环11.2多角度均匀的喷射在饰品上，再配合匀气盘6.2，使得前驱体源更加均匀的流动，提高薄膜的成型效果，多余的前驱体源废气能够经支撑管7和回收管8收集。
43.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在
包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
44.以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。