一种用于三甲基硅烷的储存装置的制作方法

1.本实用新型属于三甲基硅烷生产技术领域，具体地，涉及一种用于三甲基硅烷的储存装置。


背景技术：

2.三甲基硅烷是半导体器件生产中重要的硅源气体，常用于外延化学气相沉积中ge
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c层的生成。同时三甲基硅烷也可在高温条件下分解生成sic，因此也可以用作sic涂层的前驱体材料。三甲基硅烷在电子工业和国防工业中都有极其重要而独特的用途，三甲基硅烷需要灌装到储瓶中实现灵活应用，现有的三甲基硅烷储瓶转运不方便，劳动强度大且安全性低，亟需加以改进。


技术实现要素：

3.为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于三甲基硅烷的储存装置，包括瓶本体，所述瓶本体的底部沿周向均布有多个螺柱，所述螺柱上从上到下依次穿设有缓震垫和滚轮座，所述滚轮座的底部设有螺母孔，所述螺母孔内设有连接螺母，所述连接螺母与螺柱螺纹连接，所述滚轮座的底侧部设有t形槽，所述t形槽内卡接有t形滚轮架，且t形槽的槽口两侧分别设有销轴和卡柱，所述销轴上铰接有卡板，所述卡板远离销轴的一端设有与卡柱相匹配的卡槽，所述卡板通过卡槽与卡柱相卡接，所述卡柱远离滚轮座的一端螺纹连接有压紧螺母，所述t形滚轮架的底部转动连接有滚轮，所述瓶本体上端的两侧壁上对称铰接有拉环。
4.优选的，所述缓震垫采用橡胶垫，用于在装置推动或拉动过程中起到缓震的目的，从而提高装置搬运过程中的安全性。
5.优选的，所述瓶本体的顶部设有充填口，所述充填口上连接有瓶阀，所述瓶阀外套接有瓶帽。瓶帽用于在装置搬运过程中保护瓶阀，瓶阀用于向瓶本体内灌装三甲基硅烷。
6.本实用新型还包括能够使该用于三甲基硅烷的储存装置正常使用的其它装置或组件，均为本领域的常规技术手段；另外，本实用新型中未加限定的装置和组件均采用本领域中的常规技术手段。
7.本实用新型的工作原理是，使用时，先拉动瓶本体上端两侧壁上的拉环，使瓶本体缓缓朝远离t形槽的槽口的一侧倾斜，此时滚轮座远离t形槽的槽口的一侧支撑在地面上，将t形滚轮架从t形槽的槽口处装入t形槽内，搬动卡板，使卡板的卡槽与卡柱相卡接，拧紧压紧螺母，防止卡板与卡槽脱离，然后通过拉环轻微向上抬动瓶本体，使滚轮座脱离地面，向前推动拉环或向后拉动拉环，即可通过滚轮实现瓶本体的快速移动，当装置移动就位后，向下缓缓倾斜瓶本体，再次使滚轮座远离t形槽的槽口的一侧支撑在地面上，松开压紧螺母，旋动卡板，使卡槽与卡柱脱离，即可快速拆卸下t形滚轮架，再通过拉环拉动瓶本体，使滚轮座平置在地面上，从而保证装置放置的稳定性。通过缓震垫，可在装置移动的过程中起到缓震的目的，有利于保证装置的安全性。本装置的t形滚轮架可实现灵活拆卸和安装，便
于多个滚轮座共用一个t形滚轮架，从而有利于降低装置的整体制造成本。
8.本实用新型的有益效果是，装置结构简单，转运方便，有利于降低搬运过程中的劳动强度，并提高搬运作业的安全性。
附图说明
9.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
10.图1是实施例中本实用新型的整体结构示意图。
具体实施方式
11.下面结合本实用新型实施例中的附图以及具体实施例对本实用新型进行清楚地描述，在此处的描述仅仅用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
12.实施例
13.如图1所示，本实用新型提供了一种用于三甲基硅烷的储存装置，包括瓶本体1，所述瓶本体1的底部沿周向均布有多个螺柱2，所述螺柱2上从上到下依次穿设有缓震垫3和滚轮座4，所述滚轮座4的底部设有螺母孔，所述螺母孔内设有连接螺母5，所述连接螺母5与螺柱2螺纹连接，所述滚轮座4的底侧部设有t形槽6，所述t形槽6内卡接有t形滚轮架7，且t形槽6的槽口两侧分别设有销轴8和卡柱9，所述销轴8上铰接有卡板10，所述卡板10远离销轴8的一端设有与卡柱9相匹配的卡槽，所述卡板10通过卡槽与卡柱9相卡接，所述卡柱9远离滚轮座4的一端螺纹连接有压紧螺母，所述t形滚轮架7的底部转动连接有滚轮11，所述瓶本体1上端的两侧壁上对称铰接有拉环12。所述缓震垫3采用橡胶垫，用于在装置推动或拉动过程中起到缓震的目的，从而提高装置搬运过程中的安全性。所述瓶本体1的顶部设有充填口，所述充填口上连接有瓶阀，所述瓶阀外套接有瓶帽13。瓶帽13用于在装置搬运过程中保护瓶阀，瓶阀用于向瓶本体1内灌装三甲基硅烷。
14.本实用新型的工作原理是，使用时，先拉动瓶本体1上端两侧壁上的拉环12，使瓶本体1缓缓朝远离t形槽6的槽口的一侧倾斜，此时滚轮座4远离t形槽6的槽口的一侧支撑在地面上，将t形滚轮架7从t形槽6的槽口处装入t形槽6内，搬动卡板10，使卡板10的卡槽与卡柱9相卡接，拧紧压紧螺母，防止卡板10与卡槽脱离，然后通过拉环12轻微向上抬动瓶本体1，使滚轮座4脱离地面，向前推动拉环12或向后拉动拉环12，即可通过滚轮11实现瓶本体1的快速移动，当装置移动就位后，向下缓缓倾斜瓶本体1，再次使滚轮座4远离t形槽6的槽口的一侧支撑在地面上，松开压紧螺母，旋动卡板10，使卡槽与卡柱9脱离，即可快速拆卸下t形滚轮架7，再通过拉环12拉动瓶本体1，使滚轮座4平置在地面上，从而保证装置放置的稳定性。通过缓震垫3，可在装置移动的过程中起到缓震的目的，有利于保证装置的安全性。本装置的t形滚轮架7可实现灵活拆卸和安装，便于多个滚轮座4共用一个t形滚轮架7，从而有利于降低装置的整体制造成本。
15.以上已经描述了本实用新型的实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的实施例。在不偏离所说明实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。


技术特征：
1.一种用于三甲基硅烷的储存装置，包括瓶本体，其特征在于：所述瓶本体的底部沿周向均布有多个螺柱，所述螺柱上从上到下依次穿设有缓震垫和滚轮座，所述滚轮座的底部设有螺母孔，所述螺母孔内设有连接螺母，所述连接螺母与螺柱螺纹连接，所述滚轮座的底侧部设有t形槽，所述t形槽内卡接有t形滚轮架，且t形槽的槽口两侧分别设有销轴和卡柱，所述销轴上铰接有卡板，所述卡板远离销轴的一端设有与卡柱相匹配的卡槽，所述卡板通过卡槽与卡柱相卡接，所述卡柱远离滚轮座的一端螺纹连接有压紧螺母，所述t形滚轮架的底部转动连接有滚轮，所述瓶本体上端的两侧壁上对称铰接有拉环。2.根据权利要求1所述的用于三甲基硅烷的储存装置，其特征在于：所述缓震垫采用橡胶垫。3.根据权利要求1或2所述的用于三甲基硅烷的储存装置，其特征在于：所述瓶本体的顶部设有充填口，所述充填口上连接有瓶阀，所述瓶阀外套接有瓶帽。

技术总结
本实用新型涉及三甲基硅烷生产技术领域的一种用于三甲基硅烷的储存装置，包括瓶本体，瓶本体的底部沿周向均布有多个螺柱，螺柱上从上到下依次穿设有缓震垫和滚轮座，滚轮座的底部设有螺母孔，螺母孔内设有连接螺母，连接螺母与螺柱螺纹连接，滚轮座的底侧部设有T形槽，T形槽内卡接有T形滚轮架，且T形槽的槽口两侧分别设有销轴和卡柱，销轴上铰接有卡板，卡板远离销轴的一端设有与卡柱相匹配的卡槽，卡板通过卡槽与卡柱相卡接，卡柱远离滚轮座的一端螺纹连接有压紧螺母，T形滚轮架的底部转动连接有滚轮，所述瓶本体上端的两侧壁上对称铰接有拉环。本实用新型结构简单，转运方便，安全性高，且有利于降低搬运过程中的劳动强度。且有利于降低搬运过程中的劳动强度。且有利于降低搬运过程中的劳动强度。


技术研发人员：史隽涛
受保护的技术使用者：沁阳国顺硅源光电气体有限公司
技术研发日：2021.02.25
技术公布日：2021/11/2