衍射光学组件及获取方法、光学系统与流程

技术特征：
1.一种衍射光学组件，其特征在于，所述衍射光学组件包括：第一基础元件，所述第一基础元件具有第一透光区及第一非透光区；第二基础元件，所述第二基础元件具有第二透光区及第二非透光区，所述第一基础元件与所述第二基础元件层叠设置，所述第一非透光区覆盖至少部分所述第二透光区，所述第二非透光区覆盖至少部分所述第一透光区，并使剩余的所述第一透光区与剩余的所述第二透光区形成目标透光区。2.如权利要求1所述的衍射光学组件，其特征在于，所述第一非透光区覆盖至少部分所述第二非透光区，并使所述第一非透光区与剩余的所述第二非透光区形成目标非透光区。3.如权利要求1所述的衍射光学组件，其特征在于，所述第一基础元件与所述第二基础元件间隔设置。4.如权利要求1所述的衍射光学组件，其特征在于，所述第一基础元件与所述第二基础元件的面积相等，且所述第一非透光区的面积大于所述第二非透光区的面积；所述第一基础元件相较于所述第二基础元件靠近光源。5.如权利要求4所述的衍射光学组件，其特征在于，所述第二基础元件的数量为多个，所述多个第二基础元件均层叠设于所述第一基础元件的一侧。6.如权利要求5所述的衍射光学组件，其特征在于，相邻的两个所述第二基础元件间隔设置。7.一种衍射光学组件的获取方法，其特征在于，所述获取方法包括：获取预设图像，并根据所述预设图像得到目标光源图像与模拟光源图像；判断所述目标光源图像与所述模拟光源图像中特征值的差值；以及当所述差值小于预设值时，根据所述模拟光源图像得到第一基础元件与第二基础元件，并将所述第一基础元件与所述第二基础元件组合形成衍射光学组件。8.如权利要求7所述的获取方法，“判断所述目标光源图像与所述模拟光源图像中特征值的差值”包括：判断所述目标光源图像与所述模拟光源图像中线宽的差值。9.一种光学系统，其特征在于，包括依次排列设置的光源、如权利要求1
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6任一项所述的衍射光学组件、掩模、投影透镜组、光学接收器。10.如权利要求9所述的光学系统，其特征在于，所述光学系统还包括装夹件，所述装夹件上开设有组合槽，所述组合槽用于装设所述第一基础元件与所述第二基础元件。

技术总结
本申请提供了衍射光学组件及获取方法、光学系统。其中衍射光学组件包括第一基础元件，第一基础元件具有第一透光区及第一非透光区。第二基础元件，第二基础元件具有第二透光区及第二非透光区，第一基础元件与第二基础元件层叠设置，第一非透光区覆盖至少部分第二透光区，第二非透光区覆盖至少部分第一透光区，并使剩余的第一透光区与剩余的第二透光区形成目标透光区。通过第一基础元件与第二基础元件的组合，使原本复杂的衍射光学元件分解成几个简单的基础元件，从而降低衍射光学元件的制备难度与制备时间，降低了检测成本。另外，由于第一基础元件与第二基础元件可重复使用，可进一步降低衍射光学元件的成本。步降低衍射光学元件的成本。步降低衍射光学元件的成本。


技术研发人员：方红 姜鹏
受保护的技术使用者：长江存储科技有限责任公司
技术研发日：2021.04.13
技术公布日：2021/10/18