一种具有多级过滤的洁净室的制作方法

本技术涉及洁净室空气净化，特别是涉及一种具有多级过滤的洁净室。

背景技术：

1、洁净室在电子制造、制药、生物工程以及精密加工等领域中用于提供颗粒物浓度受控的空气环境。为保证室内洁净度，通常采用多级过滤方式，沿送风方向依次布置初效、中效和高效过滤器，并配合回风循环系统降低运行能耗。

2、目前，中国专利cn117073090a公开了一种用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法。该方案通过隔板将洁净室主体分隔为两个相互独立的子洁净腔室，分别设置第一回风构件和第二回风构件进行循环过滤；在隔板上安装连通构件，通过驱动电机和丝杆带动封板滑动，控制两个腔室之间空气交换的速率；两组送风构件安装在顶板上，送风构件包括第三过滤器、吸附件、套筒等，吸附件由多组子m段拼接成环状，并在斜面和最低点处贴设第一硅胶吸附贴片和第二硅胶吸附贴片，用于吸附进入空气的杂质；底部设置底通风构件，形成循环风腔，并配置空气净化器对第二子洁净腔室进一步净化。

3、但是，现有技术的送风过滤主要依靠吸附贴片，容尘量有限，运行一段时间后阻力上升，维护时需停机更换或清洗；并且，回风过滤段之间的气流分配相对固定，局部阻力变化不易及时调整；此外，排风调节结构对室内外压差变化的响应精度有限，高效过滤段以固定方式安装，积尘分布集中，滤材利用率和维护周期仍有优化空间。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种具有多级过滤的洁净室。

2、本技术提供的一种具有多级过滤的洁净室，采用如下的技术方案：包括洁净室主体，所述洁净室主体一侧设置有室门，所述洁净室主体内部上方安装有颗粒物浓度传感器；所述洁净室主体内部左上侧贯穿固定有送风单元，所述送风单元底部紧固有回风单元，所述回风单元贯穿固定于洁净室主体内部左侧。

3、所述送风单元包括贯穿设置于洁净室主体左上壁的送风总管，所述送风总管顶部前后两侧分别通过一安装条与洁净室主体内壁顶侧相紧固，所述送风总管内部从左至右依次设置有五个空腔，从左至右的每个空腔内分别安装有初效过滤段、中效过滤段、高效过滤结构、尾端过滤结构和送风风机，五个所述空腔内部均设置有两个压差传感器，所述送风总管左右两端分别设置有进风口和出风口，所述进风口设置于洁净室主体外部，所述出风口位于送风风机右侧，所述送风总管底部左侧开设有穿口，该穿口底部与回风单元相连接。

4、进一步地，五个所述空腔的前侧对应位置均设置有检修窗，所述进风口和出风口内部均设置有隔离网。

5、进一步地，所述高效过滤结构包括嵌入固定于送风总管内部顶侧的传动腔罩，所述传动腔罩顶部右侧安装有护罩，所述护罩内部锁紧固定有伺服电机，所述伺服电机底部输出端与换向结构相连接，且换向结构设置于传动腔罩内部，所述传动腔罩左下侧一体固定有立罩，所述换向结构贯穿设置于立罩内部，且换向结构穿出立罩前侧的三个传动端分别紧固有一三角过滤段；三组所述三角过滤段的截面均为等边三角形结构，且从上至下依次设置，在左侧接触形成一矩形平面，该矩形平面左侧外围设置有一矩形隔框，所述矩形隔框固定连接于所在的空腔内部中侧。

6、进一步地，所述矩形隔框和三组三角过滤段将所在的空腔分为左右两部，该空腔内的两个压差传感器分别布置于左右两部内侧。

7、进一步地，所述换向结构包括顶部与伺服电机底部输出端相连接的转盘，所述转盘顶部转轴处同轴固定有一拨杆，所述转盘外周接触有三槽盘，且转盘通过拨杆与三槽盘间歇传动配合，所述三槽盘底部中侧同轴固定有接杆，所述接杆底部固定连接有立杆，所述立杆顶部贯穿转动于传动腔罩底部，且立杆底部与立罩转动连接，所述立杆外表面从上至下等距同轴固定有三个主动伞齿轮，三个所述主动伞齿轮底部前侧分别啮合传动有一从动伞齿轮，三个所述从动伞齿轮前部中侧均同轴固定有一转柱，每个转柱均贯穿转动于立罩前侧，且每个转柱前端部均与一三角过滤段相紧固。

8、进一步地，所述转盘设置有一扇形缺口，所述拨杆位于该缺口上方中部。

9、进一步地，所述尾端过滤结构包括紧固于送风总管内部中右侧的罩座，所述罩座内部上下两侧分别形成两个独立的横向通道，位于上部的通道内侧安装有第一超高效过滤段，位于下部的通道内侧安装有第二超高效过滤段，所述罩座左侧竖直滑动有盖板，所述盖板左侧中部紧固有内螺纹块，所述内螺纹块内部螺纹连接有螺杆，所述螺杆顶部与步进电机底部输出端相连接；在盖板位于最底侧时，将位于下部的通道闭合，气流通过位于上部的通道流通；在盖板位于最顶侧时，将位于上部的通道闭合，气流通过位于下部的通道流通。

10、进一步地，所述回风单元包括紧固于洁净室主体内部底侧的回风总管，所述回风总管右侧气流进口处设置有第一过滤段，所述回风总管内部中右侧紧固有回风风机，所述回风风机的左部出气处通过一弯管与第二过滤段相连接，所述第二过滤段设置于回风总管内部左上侧，所述回风总管上部左侧通过一竖管与送风单元相连接，所述竖管左下侧一体成型有横管，且横管贯穿设置于洁净室主体左侧，所述竖管内部上侧嵌入固定有第一排风结构，所述横管内部左侧设置有第二排风结构。

11、进一步地，所述第一排风结构和第二排风结构的结构、大小相同，所述横管左端部内侧和竖管顶端部内侧均设置有一网片。

12、进一步地，所述第一排风结构包括嵌入固定于竖管内部上侧的腔座，所述腔座内部左后侧通过一定位栓与电动推杆转动连接，所述电动推杆呈倾斜状设置，且其右部输出轴与横杆转动连接，所述横杆后部左、中、右侧均转动连接有一挡叶，三个所述挡叶后部左侧均通过一支柱与腔座转动连接；三个所述挡叶在转动至最底侧时，其两两之间顶侧相接触，在顶侧形成一平面结构，该平面结构上部外周与腔座顶侧相接触。

13、综上所述，本技术包括以下有益技术效果：

14、1.本技术的高效过滤结构将三组三角过滤段上下排列，并通过伺服电机、转盘、拨杆、三槽盘及伞齿轮组形成的换向结构驱动各过滤段间歇转动，过滤段截面为等边三角形，每转动一定角度即可使原本迎风的一面转到背风侧或侧面，让附着在滤材表面的积尘在重力或气流作用下脱落，同时另一干净的面转至迎风侧继续过滤，这样过滤面能够交替工作，避免了固定滤材局部持续积尘导致的阻力快速上升，延长了高效过滤结构的使用寿命，也减少了对洁净室进行停机维护的频次；安装高效过滤结构的该空腔左右两侧分别布置有压差传感器，可以实时反映过滤结构前后的阻力变化，为判断滤材堵塞程度和安排维护时机提供了依据。

15、2.本技术的尾端过滤结构在罩座内设置上下两个独立横向通道，分别安装第一超高效过滤段和第二超高效过滤段，并通过步进电机、螺杆、内螺纹块带动盖板上下移动，使两个通道交替导通或关闭；当其中一个通道的过滤器需要更换或检修时，可切换至另一通道继续送风，无需中断洁净室的运行，保证了送风连续性和室内洁净度的稳定；配合前端的初效过滤段和中效过滤段，整个送风管路形成逐级递进的多级过滤体系，对不同粒径的颗粒物均有较好的拦截能力，送入洁净室内部的空气洁净程度得到可靠保障。

16、3.本技术的回风单元在回风总管进口处和风机出口后分别设置第一过滤段和第二过滤段，对循环回风进行两级过滤后再经竖管汇入送风总管，减少了洁净室内部颗粒物在循环过程中的累积；竖管和横管上分别设置结构相同的第一排风结构和第二排风结构，通过电动推杆带动横杆使多个挡叶同步转动，能够较为灵活地调节排风通道的开度，从而控制回风与排风的比例，实际使用时可以根据室内外压差需求，通过第二排风结构排出适量空气，维持洁净室所需的正压或负压环境，整体运行稳定性较好。