基于多模式闭环控制的群控EC-FFU风速均衡调控方法及系统与流程

本发明涉及洁净室环境控制，尤其涉及一种基于多模式闭环控制的群控ec-ffu风速均衡调控方法及系统。

背景技术：

1、在半导体及生物制药洁净室中，风机过滤单元（ffu）群控系统通常采用集中式控制。现有主流方法是通过监测洁净室关键点的静压或平均风速，统一调节ffu转速。部分改进方案引入了单机反馈，利用电机电流作为风量的间接代理变量进行恒流控制，或采用简单的pid闭环控制。

2、然而，ffu的风量、电流、转速与静压之间存在复杂的非线性耦合。在风机特性曲线的某些区域，相同的电流可能对应不同的风量。现有的恒流控制无法区分“因滤网堵塞导致的电流升高”与“因静压波动导致的电流变化”，在门开关等剧烈扰动下极易产生错误的转速指令，导致系统振荡。 其次，洁净室气流场具有强空间耦合性，单台ffu的风量变化会影响邻近ffu的出风。现有独立控制策略忽略了这种邻接关系，导致相邻ffu之间出现“竞争现象”，难以实现微观层面的风速均匀；而全局平均控制响应滞后，无法消除局部死角。且随着滤网整体老化，固定的控制基准会逐渐失效，导致风量整体衰减。因此，现有方法降低了洁净室内ffu群控出风风速的空间均衡性与动态稳定性。

技术实现思路

1、在半导体及生物制药洁净室中，风机过滤单元（ffu）群控系统通常采用集中式控制。现有主流方法是通过监测洁净室关键点的静压或平均风速，统一调节ffu转速。部分改进方案引入了单机反馈，利用电机电流作为风量的间接代理变量进行恒流控制，或采用简单的pid闭环控制。

2、然而，ffu的风量、电流、转速与静压之间存在复杂的非线性耦合。在风机特性曲线的某些区域，相同的电流可能对应不同的风量。现有的恒流控制无法区分“因滤网堵塞导致的电流升高”与“因静压波动导致的电流变化”，在门开关等剧烈扰动下极易产生错误的转速指令，导致系统振荡。 其次，洁净室气流场具有强空间耦合性，单台ffu的风量变化会影响邻近ffu的出风。现有独立控制策略忽略了这种邻接关系，导致相邻ffu之间出现“竞争现象”，难以实现微观层面的风速均匀；而全局平均控制响应滞后，无法消除局部死角。且随着滤网整体老化，固定的控制基准会逐渐失效，导致风量整体衰减。因此，现有方法降低了洁净室内ffu群控出风风速的空间均衡性与动态稳定性。

1.一种基于多模式闭环控制的群控ec-ffu风速均衡调控方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基于多模式闭环控制的群控ec-ffu风速均衡调控方法，其特征在于，生成目标运行频率的步骤过程包括：

3.根据权利要求2所述的基于多模式闭环控制的群控ec-ffu风速均衡调控方法，其特征在于，所述基于每个联合调节量的调节方向以及频率增加动作和频率减少动作的状态，生成所述目标运行频率，包括：

4.根据权利要求1所述的基于多模式闭环控制的群控ec-ffu风速均衡调控方法，其特征在于，生成快速频率调节量的步骤过程包括：

5.根据权利要求4所述的基于多模式闭环控制的群控ec-ffu风速均衡调控方法，其特征在于，所述基于每个过载扰动单元的瞬时电流残差值和每个欠载扰动单元的瞬时电流残差值，生成所述快速频率调节量，包括：

6.根据权利要求1所述的基于多模式闭环控制的群控ec-ffu风速均衡调控方法，其特征在于，生成区域均衡频率调节量的步骤过程包括：

7.根据权利要求6所述的基于多模式闭环控制的群控ec-ffu风速均衡调控方法，其特征在于，所述基于各个ec-ffu的电流偏差方向状态和均衡动作允许范围，生成各个ec-ffu的区域均衡频率调节量，包括：

8.一种基于多模式闭环控制的群控ec-ffu风速均衡调控系统，其特征在于，用于实现如权利要求1至7任一项所述的基于多模式闭环控制的群控ec-ffu风速均衡调控方法；所述系统包括：

9.一种电子设备，包括：存储器，用于存储计算机程序；处理器，用于读取并执行计算机程序，其特征在于，处理器执行计算机程序时，实现如权利要求1至7任一项所述基于多模式闭环控 制的群控ec-ffu风速均衡调控方法。

10.一种非暂态计算机可读存储介质，所述存储介质中存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时，实现如权利要求1至7任一项所述基于多模式闭环控制的群控ec-ffu风速均衡调控方法。