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一种残膜回收机防缠绕挑膜装置的制作
一种秧草收获机用电力驱动行走机构的
高深
用氯进行高深宽比电介质蚀刻的制作方法
用氯进行高深宽比电介质蚀刻通过引用并入pct申请表作为本技术的一部分与本说明书同时提交。如在同时提交的pct申请表中所标识的本技术要求享有其权益或优先权的每个申请均通过引用全文并入本文且用于所有目的。
标签:
申请表
电介质
优先权
高深
如在
2023-02-02
一种利用抽气泵抽气的高深腔带封闭坎件模具的制作方法
本实用新型具体涉及浇注技术领域,尤其涉及一种利用抽气泵抽气的高深腔带封闭坎件模具。
标签:
气泵
高深
模具
2022-12-10
具有无穷大选择性的高深宽比蚀刻的制作方法
具有无穷大选择性的高深宽比蚀刻通过引用并入pct申请表作为本技术的一部分与本说明书同时提交。如在同时提交的pct申请表中所标识的本技术要求享有其权益或优先权的每个申请均通过引用全文并入本文且用于所有目的。
标签:
申请表
无穷大
优先权
选择性
高深
2022-11-23
一种高深宽比连接孔的刻蚀以降低接触电阻的方法与流程
本发明涉及半导体技术领域,特别是涉及一种高深宽比连接孔的刻蚀以降低接触电阻的方法。
标签:
特别是
高深
电阻
半导体
方法
2022-11-19
高深宽比3DNAND蚀刻的侧壁凹陷的减少的制作方法
高深宽比3d nand蚀刻的侧壁凹陷的减少通过引用并入pct申请表作为本技术的一部分与本说明书同时提交。如在同时提交的pct申请表中所标识的本技术要求享有其优先权权益的每个申请均通过引用全文并入本文且用于所有目的。技术领域2.本文的实施方案涉及用于制造半导体器件的方法和装置,更具体地,用于将高深宽比特征蚀刻到含电介质材料中,其中侧壁凹陷减少并且没有轮廓折衷(tradeoffs)。
标签:
侧壁
申请表
高深
电介质
本文
2022-10-26
反射膜生长的方法与流程
本公开内容的多个实施方式一般涉及反射层的形成。具体而言,本公开内容的多个实施方式提供了在高深宽比(high aspect ratio,har)结构中生长反射膜的方法和设备。
标签:
多个
反射层
方式
内容
高深
2022-10-26
高深宽比微结构透射式干涉显微无损测量装置及测量方法
本发明涉及精密光学测量工程技术领域,具体涉及一种高深宽比微结构透射式干涉显微无损测量装置及测量方法,针对硅基mems器件沟槽结构的深度和宽度进行测量,特别适用于高深宽比的沟槽结构,通常mems高深宽比微结构宽度为1~10 μm,深度为10~300 μm的微结构,深宽比在5:1到20:1之间。
标签:
微结构
高深
沟槽
测量
宽度
2022-10-26
一种高深宽比三维银基微结构的电化学制备方法
本发明涉及微加工技术领域,尤其涉及一种高深宽比三维银基微结构的电化学制备方法。
标签:
微结构
电化学
高深
制备方法
加工
2022-10-22
针对高深宽比曲面构件面形测量的测量系统及方法
本发明属于曲面构件面形测量技术领域,具体涉及一种针对高深宽比曲面构件面形测量的测量系统及方法。
标签:
测量
曲面
构件
高深
方法
2022-08-17
高深宽比表面微结构的倒退式振动切削加工方法及系统
本发明涉及加工制造技术领域,更为具体地,涉及一种高深宽比表面微结构的倒退式振动切削加工方法及系统。
标签:
微结构
加工
高深
表面
方法
2022-06-12
高深溜井结拱模拟装置及使用方法与流程
本发明属于采矿技术领域,尤其是涉及一种高深溜井结拱模拟装置及使用方法。
标签:
高深
使用方法
装置
溜井结拱
2022-04-27
一种具有高深宽比微/纳复合结构的超亲水性表面及制备方法
本发明涉及加工超亲水微纳复合图案结构技术领域,特别是一种具有跨尺度高深宽比微纳复合图案结构得超亲水表面制备方法。
标签:
图案
亲水
结构
特别是
高深
2022-04-21
一种实用性高的深孔板的制作方法
本发明属于深孔板技术领域,具体涉及一种实用性高的深孔板。
标签:
高深
实用性
深孔板
2022-03-16
高深宽比微结构深度一致性的光学测量与评估方法与流程
本发明涉及微电子器件制造工艺的无损测试技术领域,尤其涉及一种高深宽比微结构深度一致性的光学测量与评估方法。
标签:
微结构
微电子
高深
光学
制造工艺
2022-03-16
用于控制基片上的保护膜的厚度的方法和装置与流程
本公开涉及基片的蚀刻。更具体地,本公开涉及一种方法和装置,其作为蚀刻工艺的一部分,利用保护膜保护凹槽的侧壁,以形成具有高深宽比的凹槽。
标签:
凹槽
侧壁
高深
保护膜
装置
2022-03-01
一种高深冲性超纯铁素体不锈钢及其制造方法与流程
本发明涉及金属加工技术领域,尤其涉及一种高深冲性超纯铁素体不锈钢及其制造方法。
标签:
金属加工
高深
不锈钢
方法
纯铁
2022-02-22
一种高深宽比高保形纳米级负型结构的制备方法与流程
技术领域:本发明涉及一种高深宽比高保形纳米级负型结构的制备方法,可用于光学领域、生物领域。
标签:
比高
高深
光学
制备方法
结构
2021-10-26
一种高深宽比高保形纳米级正型结构的制备方法与流程
技术领域:本发明涉及一种高深宽比高保形纳米级正型结构的制备方法,可用于光学领域、生物领域、声学领域。
标签:
比高
声学
高深
光学
制备方法
2021-10-26
一种制作在半导体芯片上的硅微平面柔性连杆机构的制作方法与工艺
本发明涉及一种制作在半导体芯片上的硅微平面柔性连杆机构,其构件采用多晶硅薄膜或者高深宽比的单晶硅材料制成,结构尺寸在微米到亚毫米之间。
标签:
单晶硅
连杆
柔性
高深
构件
2021-10-26
一种硅微并联五杆机构的制作方法与工艺
本发明涉及一种硅微并联五杆机构,其活动硅微杆件采用硅微加工工艺,以多晶硅薄膜或者高深宽比的单晶硅等半导体材料制成,整个结构尺寸在微米到亚毫米之间。
标签:
单晶硅
并联
高深
薄膜
制成
2021-10-26
一种高深宽高对称性高表面光滑度硅微半球曲面的制备系统及其工艺方法与流程
技术领域:本发明属于微机电系统加工工艺领域,具体涉及一种高深宽高对称性高表面光滑度的硅微半球曲面的制备系统和工艺方法
标签:
系统
曲面
制备
高深
微机
2020-09-23
一种高深宽比纳米光栅的制作方法与流程
本发明涉及微纳器件制作技术领域的一种纳米光栅制作方法,具体涉及一种高深宽比纳米光栅的制作方法。
标签:
光栅
制作方法
纳米
高深
器件
2020-09-01
复合型高深宽比沟槽标准样板及制备方法与流程
本发明属于纳米计量技术领域,更具体地说,是涉及一种复合型高深宽比沟槽标准样板及该标准样板的制备方法。
标签:
样板
标准
沟槽
地说
高深
2020-08-25
一种高深宽比微纳结构及其制作方法与流程
本发明涉及非金属结构工艺制造领域,特别是涉及高深宽比结构的制备。
标签:
结构
制备
高深
非金属
工艺
2019-10-09
一种高深宽比中阻P型宏孔硅结构及其快速制备方法与流程
本发明属于电化学腐蚀与硅微结构制备领域,具体涉及一种高深宽比中阻p型宏孔硅结构及其快速制备方法。
标签:
微结构
电化学
制备
高深
腐蚀
2019-10-09
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