一种固体蜡自动涂覆装置的制作方法

本技术涉及半导体制造设备，尤其涉及一种固体蜡自动涂覆装置。

背景技术：

1、在当前碳化硅晶锭的激光加工与剥离工艺中，晶锭需与工装底座进行有效粘接，以确保加工过程的稳定性和加工质量。现有技术中，该粘接过程主要依赖人工方式完成，即由作业人员手动在工装底座表面涂抹粘接蜡，再将碳化硅晶锭压合至其上。然而，该人工涂蜡方式存在明显的局限性。

2、首先，人工操作的稳定性差，难以实现粘接蜡的精确控制。涂抹范围往往不可控，导致粘接蜡溢出至晶锭侧边，蜡液一旦凝固将难以去除，严重影响晶锭侧面的洁净度，甚至可能对后续工序造成干扰。其次，涂蜡厚度不均会导致粘接面出现空隙或局部过厚的问题，在粘接过程中容易产生气泡，降低晶锭与工装底座之间的粘接强度。此外，气泡的存在也可能在激光加工过程中引起局部热不均匀，从而影响加工效果。

3、综上，现有碳化硅晶锭粘接工艺缺乏自动化控制手段，操作质量高度依赖人工经验，不仅降低了生产效率，还带来了较大的质量波动性，制约了碳化硅晶锭激光加工与剥离工艺的整体性能与产能水平。因此，亟需一种能够实现粘接蜡自动精准涂布的新型工艺或装置，以提高粘接质量的一致性和工艺自动化程度。

技术实现思路

1、为了解决现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种自动加热、精准控制和可编程路径执行能力的固体蜡自动涂覆装置。

2、基于上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

3、一种固体蜡自动涂覆装置，包括加热装置和机械臂，其中：加热装置包括工装底座和加热盘，工装底座可拆卸地设置在加热盘上，加热盘用于对工装底座进行加热；机械臂包括升降组件、联动旋转的多级摆臂和夹持组件；升降组件与多级摆臂连接，用于驱动多级摆臂沿竖直方向移动；多级摆臂包括顺次枢接的第一摆臂和第二摆臂，第一摆臂的一端与升降组件连接，第二摆臂的一端与第一摆臂连接；夹持组件设置于第二摆臂的另一端，用于夹持固体蜡棒；机械臂被配置为，带动固体蜡棒，使其末端在工装底座表面形成平面内的螺旋轨迹，并在升降组件的同步驱动下，使固体蜡棒在螺旋运动过程中持续接触工装底座表面，以实现固体蜡的均匀涂覆。

4、进一步地，加热盘顶面设有吸附结构，用于通过真空吸附方式固定工装底座。

5、进一步地，吸附结构包括多个环形沟槽和多个互相垂直的直线沟槽，环形沟槽和直线沟槽交叉设置，沟槽呈倒三角形截面，且吸附接口设置于加热盘中心。

6、进一步地，加热装置设有对射式到位传感器，对位传感器的接收端与发射端分别安装于加热盘顶部两侧，沿其径向对置设置，用于在工装底座放置到位时发出检测信号，以控制加热盘启动吸附功能。

7、进一步地，加热装置包括温度传感器，温度传感器安装于加热盘上，用于检测加热盘的温度。

8、进一步地，升降组件包括安装基板、电动丝杆、两个导向轴以及升降底板；电动丝杆的固定端安装在安装基板的底部，动作端穿设安装基板与升降底板连接；安装基板上设有两个导向轴承，两个导向轴穿设导向轴承，并通过设置于升降底板底部的导向轴支座与升降底板连接；第一摆臂安装在升降底板上。

9、进一步地，第一摆臂通过第一中空旋转平台与升降底板连接，第一中空旋转平台安装在升降底板，其后侧安装有有第一旋转电机上；第一摆臂连接于第一中空旋转平台；第一旋转电机与第一摆臂连接。

10、进一步地，第一摆臂远离升降组件的一端设有第二旋转电机和第二中空旋转平台，第二摆臂连接于第二中空旋转平台；第二旋转电机用于驱动第二摆臂相对第一摆臂旋转。

11、进一步地，第二摆臂的底面在靠近夹持组件的一端设有接近传感器，用于在固体蜡棒下降至预定最低位置时发出警示信号。

12、上述固体蜡自动涂覆装置通过配置升降组件、多级摆臂和夹持组件的联动机构，使得固体蜡棒能够在工装底座表面形成均匀的螺旋涂覆轨迹，并在涂覆过程中保持与加热后的底座表面持续接触，从而实现固体蜡的自动化、精确化涂覆，解决了现有技术中人工涂蜡导致涂覆范围不可控、厚度不均、蜡液溢出和粘接不牢等问题，有效提升了碳化硅晶锭激光加工与剥离工艺的粘接质量和效率。

1.一种固体蜡自动涂覆装置，包括加热装置（1）和机械臂（2），其特征在于：

2.如权利要求1所述固体蜡自动涂覆装置，其特征在于，所述加热盘（12）顶面设有吸附结构，用于通过真空吸附方式固定所述工装底座（11）。

3.如权利要求2所述固体蜡自动涂覆装置，其特征在于，所述吸附结构包括多个环形沟槽（121）和多个互相垂直的直线沟槽（122），所述环形沟槽（121）和所述直线沟槽（122）交叉设置，所述沟槽呈倒三角形截面，且吸附接口设置于所述加热盘（12）中心。

4.如权利要求1所述固体蜡自动涂覆装置，其特征在于，所述加热装置（1）设有对射式到位传感器（13），所述到位传感器（13）的接收端与发射端分别安装于所述加热盘（12）顶部两侧，沿其径向对置设置，用于在工装底座（11）放置到位时发出检测信号，以控制加热盘（12）启动吸附功能。

5.如权利要求1所述固体蜡自动涂覆装置，其特征在于，所述加热装置（1）包括温度传感器（14），所述温度传感器（14）安装于所述加热盘（12）上，用于检测所述加热盘（12）的温度。

6.如权利要求1所述固体蜡自动涂覆装置，其特征在于，所述升降组件（21）包括安装基板（211）、电动丝杆（212）、两个导向轴（213）以及升降底板（214）；

7.如权利要求6所述固体蜡自动涂覆装置，其特征在于，所述第一摆臂（221）通过第一中空旋转平台（51）与所述升降底板（214）连接，所述第一中空旋转平台（51）安装在所述升降底板（214），其后侧安装有有第一旋转电机（52）上；所述第一摆臂（221）连接于第一中空旋转平台（51）；所述第一旋转电机（52）与所述第一摆臂（221）连接。

8.如权利要求1所述固体蜡自动涂覆装置，其特征在于，所述第一摆臂（221）远离所述升降组件（21）的一端设有第二旋转电机（223）和第二中空旋转平台（224），所述第二摆臂（222）连接于所述第二中空旋转平台（224）；所述第二旋转电机（223）用于驱动所述第二摆臂（222）相对所述第一摆臂（221）旋转。

9.如权利要求1所述固体蜡自动涂覆装置，其特征在于，所述第二摆臂（222）的底面在靠近所述夹持组件（23）的一端设有接近传感器（225），用于在固体蜡棒（4）下降至预定最低位置时发出警示信号。