刷吸部件、天车轨道清洁设备的制作方法

本申请涉及半导体设备，特别是涉及一种刷吸部件、天车轨道清洁设备。

背景技术：

1、在半导体生产车间中，采用自动物料系统实现物料的自动化搬运。自动物料系统主要包括搬运系统以及存储系统。其中，搬运系统则主要包括悬挂在天花板上的天车轨道（又称空中轨道）和行驶在该天车轨道上的天车（又称空中运输车）。天车轨道需要定期保养清洁，以保证天车在天车轨道上的顺利运行。

2、天车轨道是设置在天花板。目前天轨运输设备轨道系统洁净设备缺少，主要以人工清洁为主，定期保养时清洁极其不方便且工作量巨大，人工保养清洁时需等高作业，且对应清洁区域需停止运行严重影响生产效率、人工清洁易造成二次污染、存在安全隐患等。因此，产线上需要自动清洁小车来实现轨道自动清洁功能，提高清洁效率，减少人员投入。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种天车轨道清洁设备，能够实现天车轨道的自动清洁。

2、根据本申请的一个方面，一种刷吸部件，包括：吸嘴，所述吸嘴的底部设有沿第一方向间隔设置的第一子吸嘴和第二子吸嘴，所述第一子吸嘴的顶部设有出尘口，所述出尘口同时与所述第一子吸嘴及第二子吸嘴连通，所述第一方向与所述第一子吸嘴的高度方向垂直；及刷扫部，所述刷扫部连接于所述吸嘴，且位于所述第一子吸嘴与第二子吸嘴之间。

3、一些实施例中，在所述第一子吸嘴的高度方向上，所述第一子吸嘴的吸尘口位于所述第二子吸嘴的吸尘口上方。

4、一些实施例中，在所述第一子吸嘴的高度方向上且自所述第一子吸嘴的顶部指向所述第一子吸嘴的底部，所述第一子吸嘴和第二吸嘴子之间的间距逐渐增大。

5、一些实施例中，所述刷吸部件还包括一对支撑板，分别在第二方向上位于所述第一子吸嘴的两侧，所述支撑板同时与所述第一子吸嘴及第二子吸嘴连接，所述第二方向同时垂直于第一方向及所述第一子吸嘴的高度方向；所述刷扫部与所述支撑板连接；所述刷吸部件还包括与所述支撑板连接的安装架。

6、一些实施例中，所述刷扫部包括旋转电机、由所述旋转电机驱动的滚刷；其中，所述旋转电机为空心杯电机，所述滚刷套在所述空心杯电机的转子上。

7、一些实施例中，所述刷吸部件还包括清扫刷，在所述第一方向上，所述清扫刷位于所述第一子吸嘴的背对所述第二子吸嘴的一侧；在第二方向上，所述清扫刷相对于所述第一子吸嘴的吸尘口的中心偏向一侧；所述第二方向同时垂直于第一方向及所述第一子吸嘴的高度方向。

8、根据本申请的另一个方面，一种天车轨道清洁设备，包括：行走装置，用以在天车轨道的轨道面行走；清扫装置，用以放置在天车轨道的轨道面，与所述行走装置连接且位于行走装置的行走方向的一侧，所述清扫装置包括第一刷吸部件、第二刷吸部件、第三刷吸部件、气路切换部件，所述第一刷吸部件用以清洁所述轨道面，第一刷吸部件采用如所述的刷吸部件，所述第二刷吸部件用以清洁位于所述轨道面下方的线缆之间的上表面，所述第三刷吸部件用以清洁位于所述轨道面上方的、引导所述行走装置转向的引导轨道；及吸尘集尘模块，所述吸尘集尘模块通过所述气路切换部件与第一刷吸部件和第二刷吸部件选择地连通，通过所述气路切换部件与所述第三刷吸部件常连通。

9、一些实施例中，在所述轨道面的宽度方向上，所述行走装置的两侧分别设有第一行走轮，所述清扫装置的两侧分别设有一对第二行走轮，每对第二行走轮在行走装置的行进方向上间隔设置；每对第二行走轮的两第二行走轮之间设有所述第一刷吸部件。

10、一些实施例中，在所述轨道面的宽度方向上，所述第一行走轮的外侧边缘和所述第二行走轮的外侧边缘平齐，所述第一刷吸部件的吸尘口的中心位于所述轨道面的上方；在所述行走装置的行进方向上，所述第一刷吸部件的吸尘口的中心位于两个第二行走轮的轮心之间居中设置。

11、一些实施例中，所述第二刷吸部件包括第二吸嘴、第三刷子和第四刷子，在所述行走装置的行进方向上，所述第三刷子位于所述第二吸嘴的前方，所述第四刷子位于所述第二吸嘴后方；在竖直方向上，所述第三刷子的工作面高于所述第四刷子的工作面；在所述行走装置的行进方向上，所述第二吸嘴包括前高后低的两个吸尘口。通过设置第一子吸嘴、刷扫部、第二子吸嘴，天车轨道清洁设备在工作时，第一刷吸部件能够针对轨道面执行吸附、清扫、吸附的动作，通过两次吸附和一次清扫，实现良好的清洁效果。

1.一种刷吸部件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的刷吸部件，其特征在于，在所述第一子吸嘴的高度方向上，所述第一子吸嘴的吸尘口位于所述第二子吸嘴的吸尘口上方。

3.根据权利要求1所述的刷吸部件，其特征在于，在所述第一子吸嘴的高度方向上且自所述第一子吸嘴的顶部指向所述第一子吸嘴的底部，所述第一子吸嘴和第二吸嘴子之间的间距逐渐增大。

4.根据权利要求1所述的刷吸部件，其特征在于，所述刷吸部件还包括一对支撑板，分别在第二方向上位于所述第一子吸嘴的两侧，所述支撑板同时与所述第一子吸嘴及第二子吸嘴连接，所述第二方向同时垂直于第一方向及所述第一子吸嘴的高度方向；所述刷扫部与所述支撑板连接，所述刷吸部件还包括与所述支撑板连接的安装架。

5.根据权利要求1所述的刷吸部件，其特征在于，所述刷扫部包括旋转电机、由所述旋转电机驱动的滚刷；其中，所述旋转电机为空心杯电机，所述滚刷套在所述空心杯电机的转子上。

6.根据权利要求1所述的刷吸部件，其特征在于，所述刷吸部件还包括清扫刷，在所述第一方向上，所述清扫刷位于所述第一子吸嘴的背对所述第二子吸嘴的一侧；在第二方向上，所述清扫刷相对于所述第一子吸嘴的吸尘口的中心偏向一侧；所述第二方向同时垂直于第一方向及所述第一子吸嘴的高度方向。

7.一种天车轨道清洁设备，其特征在于，包括：

8.根据权利要求7所述的天车轨道清洁设备，其特征在于，在所述轨道面的宽度方向上，所述行走装置的两侧分别设有第一行走轮，所述清扫装置的两侧分别设有一对第二行走轮，每对第二行走轮在行走装置的行进方向上间隔设置；每对第二行走轮的两第二行走轮之间设有所述第一刷吸部件。

9.根据权利要求8所述的天车轨道清洁设备，其特征在于，在所述轨道面的宽度方向上，所述第一行走轮的外侧边缘和所述第二行走轮的外侧边缘平齐，所述第一刷吸部件的吸尘口的中心位于所述轨道面的上方；在所述行走装置的行进方向上，所述第一刷吸部件的吸尘口的中心位于两个第二行走轮的轮心之间居中设置。

10.根据权利要求7所述的天车轨道清洁设备，其特征在于，所述第二刷吸部件包括第二吸嘴、第三刷子和第四刷子，在所述行走装置的行进方向上，所述第三刷子位于所述第二吸嘴的前方，所述第四刷子位于所述第二吸嘴后方；在竖直方向上，所述第三刷子的工作面高于所述第四刷子的工作面；在所述行走装置的行进方向上，所述第二吸嘴包括前高后低的两个吸尘口。