一种储液罐的制作方法

本技术属于半导体设备，特别是涉及一种储液罐。

背景技术：

1、在蚀刻机清洗工艺中，通常需向碱槽内添加螯合剂以强化清洗效果。此类螯合剂因需与金属离子形成稳定螯合物并适应碱性清洗环境，普遍具有低毒性、强碱性及刺激性等化学特性，其强碱性可能对操作人员皮肤、黏膜造成腐蚀伤害，刺激性气味亦会危害呼吸系统，低毒性则存在长期接触的健康隐患。

2、目前，螯合剂通过储液柜内的储液罐向碱槽投加，在实际操作中，需要开启储液罐的顶盖，再将碱槽的补液管路伸入储液罐的罐口内部，因补液管路需长期留置罐内以保障供液连续性，导致储液罐顶盖无法闭合，始终处于敞口状态。这一现状不仅会使罐内螯合剂与空气长期接触，引发成分氧化、水解等变化，还可能让外部灰尘、杂质通过敞口落入罐内，造成螯合剂污染；同时，螯合剂挥发产生的气体易从敞口处泄漏，既造成原料损耗，又会影响操作环境的安全性。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种储液罐，用于解决现有技术中储液罐在使用过程中处于敞开状态的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种储液罐，所述储液罐至少包括：

3、储液罐壳体；

4、添加装置，用于向所述储液罐添加螯合剂，所述添加装置包括添加口及添加管道，所述添加口的顶部设置有添加口密封盖板，所述添加口的下端与所述添加管道连接，所述添加口密封盖板与所述添加口均设置于所述储液罐壳体的外侧上，所述添加管道自所述储液罐壳体贯穿延伸至所述储液罐壳体的内部；

5、补液管路，所述补液管路延伸至所述储液罐壳体的内部，用于给碱槽进行补液；

6、鼓泡管路，所述鼓泡管路贯穿所述储液罐壳体延伸至所述储液罐壳体的内部。

7、优选地，所述添加装置还包括过滤网，所述过滤网设置于所述添加口内，且所述过滤网的外周轮廓与所述添加口的内壁相适配，以覆盖所述添加口的整个截面。

8、优选地，所述补液管路包括自所述储液罐壳体的顶面贯穿延伸至所述储液罐壳体的内部底端，或自所述储液罐壳体的外侧面底部接入。

9、优选地，所述储液罐设置有n≥1个液位传感器，且当设置n＞1个所述液位传感器时，n个所述液位传感器位于所述储液罐的不同高度处。

10、优选地，所述储液罐还包括至少一个喷淋装置，所述喷淋装置设置于所述储液罐壳体的内侧壁上方，所述喷淋装置安装高度高于所述储液罐正常工作状态下的最大液位线，所述喷淋装置的出水口朝向与安装面相对的一侧。

11、优选地，所述储液罐还包括观察窗，所述观察窗位于所述储液罐壳体的外侧壁上方，且高于所述喷淋装置的高度。

12、优选地，所述储液罐还包括进水管，所述进水管位于所述储液罐壳体的顶面，且所述进水管的出水端与所述储液罐壳体的内部相连通，用于对所述储液罐进行清洗。

13、优选地，所述储液罐还包括排液口，用于对所述储液罐的内部液体的排放，所述排液口设置于所述储液罐壳体的底部。

14、优选地，所述储液罐还包括排风口，所述排风口位于所述储液罐壳体的顶面，且所述排风口的一端与所述储液罐壳体的内部相连通，另一端与排风管路连接。

15、如上所述，本实用新型提供一种储液罐，具有以下有益效果：

16、1、本实用新型通过增设添加装置和补液管路，能够更加便捷地添加螯合剂，同时降低了操作人员接触有害物质的风险。添加装置的添加口顶部设有添加口密封盖板，能够有效抑制螯合剂挥发，防止有毒气体外逸和杂质进入螯合剂中。添加装置中设有过滤网，可对注入的螯合剂进行过滤，有效阻隔杂质进入储液罐，从而避免因杂质堵塞后续管路或阀门而引发的设备故障。

17、2、本实用新型内设有喷淋装置，可对罐体内部进行清洗，同时配置有进水管，能够配合喷淋装置高效清除罐底沉积的杂质与结晶物，避免其对新注入的螯合剂造成污染，从而保证药液的纯度，此外，储液罐还设有排液口，便于将清洗后的液体排出。

18、3、本实用新型内设有观察窗，通过观察窗可观察储液罐内螯合剂的液位情况、是否存在沉淀或分层现象，并可在清洗后检查储液罐内部的清洁状况。

19、4、本实用新型设有排风口，能够及时导出储液罐内挥发的有害气体，避免其在储液罐内积聚造成储液罐体腐蚀，或在开盖操作时因气体突然释放而危害操作人员安全。

20、5、本实用新型设有鼓泡管路，可有效防止螯合剂因长期静置而产生结晶，从而确保其浓度均匀稳定。

1.一种储液罐，其特征在于，所述储液罐至少包括：

2.根据权利要求1所述的储液罐，其特征在于：所述添加装置还包括过滤网，所述过滤网设置于所述添加口内，且所述过滤网的外周轮廓与所述添加口的内壁相适配，以覆盖所述添加口的整个截面。

3.根据权利要求1所述的储液罐，其特征在于：所述补液管路包括自所述储液罐壳体的顶面贯穿延伸至所述储液罐壳体的内部底端，或自所述储液罐壳体的外侧面底部接入。

4.根据权利要求1所述的储液罐，其特征在于：所述储液罐设置有n≥1个液位传感器，且当设置n＞1个所述液位传感器时，n个所述液位传感器位于所述储液罐的不同高度处。

5.根据权利要求1所述的储液罐，其特征在于：所述储液罐还包括至少一个喷淋装置，所述喷淋装置设置于所述储液罐壳体的内侧壁上方，所述喷淋装置安装高度高于所述储液罐正常工作状态下的最大液位线，所述喷淋装置的出水口朝向与安装面相对的一侧。

6.根据权利要求5所述的储液罐，其特征在于：所述储液罐还包括观察窗，所述观察窗位于所述储液罐壳体的外侧壁上方，且高于所述喷淋装置的高度。

7.根据权利要求1所述的储液罐，其特征在于：所述储液罐还包括进水管，所述进水管位于所述储液罐壳体的顶面，且所述进水管的出水端与所述储液罐壳体的内部相连通，用于对所述储液罐进行清洗。

8.根据权利要求1所述的储液罐，其特征在于：所述储液罐还包括排液口，用于对所述储液罐的内部液体的排放，所述排液口设置于所述储液罐壳体的底部。

9.根据权利要求1所述的储液罐，其特征在于：所述储液罐还包括排风口，所述排风口位于所述储液罐壳体的顶面，且所述排风口的一端与所述储液罐壳体的内部相连通，另一端与排风管路连接。