一种传输系统的制作方法

本技术涉及镀膜设备，具体是一种传输系统。

背景技术：

1、镀膜的效率成为行业的一项重要指标，针对镀膜效率的各种技术也在不断发展、不断进步，固对镀膜的效率以及质量要求也就越来越高。

2、半导体制造过程中，晶圆需要在高洁净、高真空环境下于多个工艺腔室之间进行传输。现有技术中，晶圆传输系统普遍存在结构复杂、传输效率低、定位精度差、维护困难等问题。尤其是在真空环境下的传输过程中，由于缺少有效的位置检测与纠偏机制，容易导致晶圆偏移、划伤甚至破损，影响产品良率。

3、此外，传统传输系统中各腔室之间的连接结构复杂，制造与装配误差难以补偿，导致系统整体稳定性差，维护成本高。因此，一种结构简易、传输高效、定位精准、维护便捷的真空晶圆传输系统是后续的主要目标方向。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种传输系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种传输系统，包括晶圆前端模组以及传输部，所述传输部通过晶圆装载腔、晶圆卸载腔与所述晶圆前端模组连通，所述传输部包括依次连接的单传输腔体、双传输腔体，所述单传输腔体与所述双传输腔体之间连接还要有校准腔体、冷却腔体，所述校准腔体、冷却腔体与所述双传输腔体之间通过波纹管连通。

4、作为本实用新型进一步的方案：所述晶圆装载腔、晶圆卸载腔结构相同，晶圆装载腔、晶圆卸载腔通过门阀与所述晶圆前端模组、单传输腔体连通，所述晶圆装载腔上连接有分子泵，所述分子泵通过角阀与所述晶圆装载腔连通，所述晶圆装载腔、晶圆卸载腔上的分子泵通过管道连接有第一抽真空系统。

5、作为本实用新型进一步的方案：所述晶圆装载腔、晶圆卸载腔内均设置有晶圆支撑杆，所述晶圆支撑杆的上端设置变径的支撑端，所述支撑端的顶端套接有o型圈，所述晶圆支撑杆下端为锥形的定位端。

6、作为本实用新型进一步的方案：所述单传输腔体为正六边形几个，所述单传输腔体内设置有真空机械手，所述单传输腔体连接有第二抽真空系统。

7、作为本实用新型进一步的方案：所述双传输腔体内设置有第一传输腔、第二传输腔，所述第一传输腔、第二传输腔均为正六边形结构，所述第一传输腔、第二传输腔内均设置有真空机械手。

8、作为本实用新型进一步的方案：所述第一传输腔、第二传输腔之间通过过渡腔体连通。

9、作为本实用新型进一步的方案：所述双传输腔体连接有第三抽真空系统。

10、作为本实用新型进一步的方案：所述单传输腔体、双传输腔体、冷却腔体、校准腔体均为铝合金材质。

11、作为本实用新型进一步的方案：所述晶圆装载腔、晶圆卸载腔、单传输腔体、冷却腔体、校准腔体、双传输腔体上均设置有手动观察窗。

12、作为本实用新型进一步的方案：所述单传输腔体、双传输腔体外侧均通过门阀连接有工艺腔。

13、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

14、1、本申请的传输腔室采用正多边形，通过多个传输腔室串联，腔体采用铝合金整体加工，实现轻量化设计，通过波纹管误差补偿结构，波纹管消除±1mm制造误差，解决多腔室装配累积偏差问题；

15、2、本申请的传输腔室采用证多边形结构，且接口都是采用一样的门阀进行连接，便于实现互换与扩展；

16、3、本申请传输系统后端设计为双传输腔，且设置中间过渡位，通过两个真空机械手单独分离传输，与传统的单腔单机械手相比，减少往返传输导致工艺等待，用以实现连续作业，吞吐量提升约30%；

17、4、本申请设置有校准腔体，提高晶圆在传输过程中的纠偏精度调整。

1.一种传输系统，包括晶圆前端模组(1)以及传输部，所述传输部通过晶圆装载腔(2)、晶圆卸载腔(3)与所述晶圆前端模组(1)连通，其特征在于，所述传输部包括依次连接的单传输腔体(4)、双传输腔体(8)，所述单传输腔体(4)与所述双传输腔体(8)之间连接还要有校准腔体(7)、冷却腔体(6)，所述校准腔体(7)、冷却腔体(6)与所述双传输腔体(8)之间通过波纹管(12)连通。

2.根据权利要求1所述的一种传输系统，其特征在于，所述晶圆装载腔(2)、晶圆卸载腔(3)结构相同，晶圆装载腔(2)、晶圆卸载腔(3)通过门阀(11)与所述晶圆前端模组(1)、单传输腔体(4)连通，所述晶圆装载腔(2)上连接有分子泵(16)，所述分子泵(16)通过角阀(15)与所述晶圆装载腔(2)连通，所述晶圆装载腔(2)、晶圆卸载腔(3)上的分子泵通过管道连接有第一抽真空系统(21)。

3.根据权利要求1所述的一种传输系统，其特征在于，所述晶圆装载腔(2)、晶圆卸载腔(3)内均设置有晶圆支撑杆(17)，所述晶圆支撑杆(17)的上端设置变径的支撑端(18)，所述支撑端(18)的顶端套接有o型圈(19)，所述晶圆支撑杆(17)下端为锥形的定位端(20)。

4.根据权利要求1所述的一种传输系统，其特征在于，所述单传输腔体(4)为正六边形几个，所述单传输腔体(4)内设置有真空机械手(10)，所述单传输腔体(4)连接有第二抽真空系统(22)。

5.根据权利要求1所述的一种传输系统，其特征在于，所述双传输腔体(8)内设置有第一传输腔(13)、第二传输腔(14)，所述第一传输腔(13)、第二传输腔(14)均为正六边形结构，所述第一传输腔(13)、第二传输腔(14)内均设置有真空机械手(10)。

6.根据权利要求5所述的一种传输系统，其特征在于，所述第一传输腔(13)、第二传输腔(14)之间通过过渡腔体(9)连通。

7.根据权利要求1所述的一种传输系统，其特征在于，所述双传输腔体(8)连接有第三抽真空系统(23)。

8.根据权利要求1所述的一种传输系统，其特征在于，所述单传输腔体(4)、双传输腔体(8)、冷却腔体(6)、校准腔体(7)均为铝合金材质。

9.根据权利要求1所述的一种传输系统，其特征在于，所述晶圆装载腔(2)、晶圆卸载腔(3)、单传输腔体(4)、冷却腔体(6)、校准腔体(7)、双传输腔体(8)上均设置有手动观察窗。

10.根据权利要求1所述的一种传输系统，其特征在于，所述单传输腔体(4)、双传输腔体(8)外侧均通过门阀(11)连接有工艺腔(5)。