一种便捷式磁吸固定工件架的制作方法

本技术涉及物理气相沉积，特别涉及一种便捷式磁吸固定工件架。

背景技术：

1、物理气相沉积（physical vapor deposition，简称 pvd）技术是一项重要的现代工业技术，采用物理方法（蒸发、溅射、离子轰击等）将材料源气化成气态原子、分子或部分电离成离子，然后通过低压气体（或等离子体）过程，在基片（工件）表面沉积具有某种特殊功能的薄膜技术。通过物理气相沉积技术能够制备光学薄膜、电子器件、耐磨与防护涂层、装饰涂层以及应用于稀土永磁体晶界扩散技术中的晶界扩散源膜等，其镀膜厚度及均匀性可控、薄膜致密性好、粘结力强等优点，已成为制备各种功能薄膜的重要手段。

2、物理气相沉积工艺在样品表面沉积薄膜时，需要将实验样品固定在样品盘上。一般固定样品的方式是使用压片夹及螺母将样品固定在样品盘上。压片夹在固定样品时所占空间较大，导致样品盘的利用率不高；且压片夹一端压在样品表面，沉积薄膜时，样品表面形成压点空白，不利于均匀成膜，且可能导致膜脱落等问题；其次对于较厚或较薄的样品，压片夹很难夹稳，会导致样品从样品盘上脱落。以上问题造成实验及生产的时间及经济成本大大增加。

技术实现思路

1、鉴于上述情况，本实用新型旨在提供一种便捷式磁吸固定工件架，用于解决采用现有技术机械固定方式导致的存在被遮挡、压点和效率低下等问题之一。

2、本实用新型的目的主要是通过以下技术方案实现的：

3、本实用新型提供了一种便捷式磁吸固定工件架，包括：自下而上设置的磁性底板1和限位盘2，以及磁吸磁体3和固定螺母4；

4、具体的，磁吸磁铁3装配于限位盘2上；

5、具体的，底板与限位盘2通过所述固定螺母4固定连接；

6、具体的，磁吸磁铁3的装配侧位于所述限位盘2一侧，所述底板连接于所述限位盘2的另一侧；固定螺母4的开口端装配于所述限位盘2本体内部。

7、进一步的，所述底板1与所述限位盘2的外围形状可根据沉积薄膜设备内样品架的工作形式不同进行设计及选择，且外围轮廓能够重叠。

8、进一步的，所述限位盘2上开设有用于容纳所述磁吸磁体的限位孔5。

9、进一步的，所述限位孔5为通孔或盲孔。

10、进一步的，所述限位孔5轮廓为圆形、矩形或者正方形。

11、进一步的，所述限位盘2上的多个所述限位孔5的排布方式为旋转对称式排布、网格状矩阵排布、同心圆排布或放射状排布中的一种。

12、进一步的，所述限位盘2上进行密排打孔，且限位孔5大小及数目根据需要固定的样品情况确定。

13、进一步的，所述磁吸磁体3位于限位孔5中且限位孔5的高度及外径均大于等于磁吸磁体的高度及外径。

14、进一步的，所磁吸磁体3的形状可为圆形或方形。

15、进一步的，磁吸固定工件架还包括辅助结构，所述辅助结构为设置在非磁性样品的挂点或者固定点。

16、与现有技术相比，本实用新型至少可实现如下有益效果之一：

17、a）本实用新型磁吸磁铁3位于限位盘2,“一放即稳”的磁吸磁体3固定样品，安装拆卸样品操作快速、简单、无损；磁吸方式固定样品时候占用空间小，样品架利用率较高；而且制备简单、成本低。

18、b）本实用新型通过可以设计形状的底板1、限位盘2可根据沉积薄膜设备内样品架的工作形式不同进行设计及选择，磁吸磁铁3也可以根据样品重量、所需磁力等进行更换，一个工件架可以适应不同形状、尺寸和重量的样品，可实现不同规格磁性样品的大批量快速固定，能够满足不同尺寸及形状规格的磁性基体同时沉积镀膜。

19、c）本实用新型的工件架采用磁吸的方式，避免了样品镀膜面被遮挡的问题，彻底消除了“压点空白”，取代了传统的压片式固定。

20、d）本实用新型在镀膜过程中无需反复装夹且不破坏基体自身性能，避免了拆卸过程中对样品表面膜的影响，且用磁吸的办法对铁磁性材料进行快速固定，节省了样品安装固定的时间。

21、e）本实用新型的磁性样品工件架限位盘2上进行密排打孔，且限位孔5大小及数目根据需要固定的样品情况确定，能够满足大批量样品同时镀膜，增加实验样品量，减少实验次数，减小批次间实验差异，大大降低实验的经济、人工及时间成本。

22、本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分的从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在所写的说明书、以及附图中所特别指出的内容来实现和获得。

1.一种便捷式磁吸固定工件架，其特征在于，包括：自下而上设置的磁性底板（1）和限位盘（2），以及磁吸磁铁（3）和固定螺母（4）；

2.根据权利要求1所述的一种便捷式磁吸固定工件架，其特征在于，所述底板（1）与所述限位盘（2）的外围形状可根据沉积薄膜设备内样品架的工作形式不同进行设计及选择，且外围轮廓能够重叠。

3.根据权利要求1所述的一种便捷式磁吸固定工件架，其特征在于，所述限位盘（2）上开设有用于容纳所述磁吸磁铁的限位孔（5）。

4.根据权利要求3所述的一种便捷式磁吸固定工件架，其特征在于，所述限位孔（5）为通孔或盲孔。

5.根据权利要求3所述的一种便捷式磁吸固定工件架，其特征在于，所述限位孔（5）轮廓为圆形、矩形或者正方形。

6.根据权利要求3所述的一种便捷式磁吸固定工件架，其特征在于，所述限位盘（2）上的多个所述限位孔（5）的排布方式为旋转对称式排布、网格状矩阵排布、同心圆排布或放射状排布中的一种。

7.根据权利要求3所述的一种便捷式磁吸固定工件架，其特征在于，所述限位盘（2）上进行密排打孔，且限位孔（5）大小及数目根据需要固定的样品情况确定。

8.根据权利要求3所述的一种便捷式磁吸固定工件架，其特征在于，所述磁吸磁铁（3）位于限位孔（5）中且限位孔（5）的高度及外径均大于等于磁吸磁铁的高度及外径。

9.根据权利要求7所述的一种便捷式磁吸固定工件架，其特征在于，所述磁吸磁铁（3）的形状为圆形或方形。

10.根据权利要求1-9任一项所述的一种便捷式磁吸固定工件架，其特征在于，磁吸固定工件架还包括辅助结构，所述辅助结构为设置在样品的挂点或者固定点。