液态前驱体源的存储及输送系统的制作方法

本申请涉及输送，更加具体来说，本申请涉及一种液态前驱体源的存储及输送系统。

背景技术：

1、原子层沉积（atomic layer deposition， ald）是一种特殊的化学气相沉积技术，是通过将气相前驱体脉冲交替通入反应室并在沉积基体表面发生化学吸附反应形成薄膜的一种方法。原子层沉积（ald）技术作为一种优异的镀膜技术，因其沉积的薄膜纯度高、均匀性及保行性好，还能十分精确地控制薄膜的厚度与成分，被广泛应用于半导体、光学、光电子、太阳能等诸多领域。

2、液态前驱体源需先进入源瓶内，然后通过载气携带的方式输送到反应腔室内。前驱体源的价格昂贵，更换源瓶前，理论上需要将源瓶内部的前驱体源消耗完，但是目前源瓶的结构形式导致源瓶最底部会残留前驱体源，导致前驱体源的浪费。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本申请创新地提供了一种液态前驱体源的存储及输送系统，通过在源瓶的底部设置凹槽并将最底部的液位传感器的检测点设计为不高于凹槽的槽口，可控制更换源瓶时，剩余的前驱体源的体积小于或等于凹槽的体积，减少前驱体源的浪费，节省前驱体源。

2、为实现上述的技术目的，本申请公开了一种液态前驱体源的存储及输送系统，包括源瓶、进气组件、出气组件和液位检测组件，

3、所述源瓶用于存储前驱体源，所述源瓶上设置有进气口和出气口，所述源瓶的内底部开设有凹槽，所述凹槽的面积小于所述源瓶的横截面积，所述源瓶的进气口连通有进气插底管，所述进气插底管设置在所述源瓶内部，所述进气插底管的底端伸入所述凹槽内，

4、所述进气组件包括进气管和所述进气管上设置的进气控制阀，所述进气控制阀用于控制所述进气管的通断，所述进气管的出气口与所述源瓶的进气口连通，

5、所述出气组件包括出气管和所述出气管上设置的出气控制阀，所述出气控制阀用于控制所述出气管的通断，所述出气管的进气口与所述源瓶的出气口连通，

6、所述液位检测组件包括多个液位传感器，所述多个液位传感器设置在所述源瓶内并沿所述源瓶的高度方向排布，最底部的所述液位传感器的底部伸入所述凹槽内使得所述液位传感器的检测点不高于所述凹槽的槽口。

7、进一步地，还包括加热组件，所述加热组件包括加热层和导热层，所述加热层包括导热面板和加热丝，所述加热丝嵌在所述导热面板内并均匀缠绕设置，所述导热层设置在所述导热面板的内层，所述导热层与所述导热面板的内表面贴合，

8、所述源瓶外套设有所述加热组件，所述导热层与所述源瓶外壁贴合，

9、所述进气管外套设有所述加热组件，所述导热层与所述进气管的外壁贴合，

10、所述进气控制阀的阀体外套设有所述加热组件，所述导热层与所述进气控制阀的阀体外壁贴合，

11、所述出气管外套设有所述加热组件，所述导热层与所述出气管的外壁贴合，

12、所述出气控制阀的阀体外套设有所述加热组件，所述导热层与所述出气控制阀的阀体外壁贴合。

13、进一步地，还包括保温层，所述保温层套设在所述导热面板外。

14、进一步地，所述进气控制阀包括第一气动阀和第一手阀，所述第一手阀设置在所述第一气动阀远离所述源瓶的进气口的一侧。

15、进一步地，所述出气控制阀包括第二气动阀和第二手阀，所述第二手阀设置在所述第二气动阀远离所述源瓶的出气口的一侧。

16、进一步地，还包括吹扫组件，所述吹扫组件包括吹扫管和所述吹扫管上设置的第三气动阀，所述第三气动阀用于控制所述吹扫管的通断，所述吹扫管的进气口与所述进气管连通，所述吹扫管的出气口与所述出气管连通。

17、进一步地，还包括补液组件和排气组件，所述补液组件包括补液管和所述补液管上设置的补液控制阀，所述补液控制阀用于控制所述补液管的通断，所述源瓶上设置有补液口，所述补液管的出液口与所述补液口连通，

18、所述排气组件包括排气管和所述排气管上设置的排气阀，所述排气阀用于控制所述排气管的通断，所述排气管的进气口与所述补液管连通。

19、进一步地，还包括加热组件，所述加热组件包括加热层和导热层，所述加热层包括导热面板和加热丝，所述加热丝嵌在所述导热面板内并均匀缠绕设置，所述导热层设置在所述导热面板的内层，所述导热层与所述导热面板的内表面贴合，

20、所述补液管外套设有所述加热组件，所述导热层与所述补液管的外壁贴合，

21、所述补液控制阀的阀体外套设有所述加热组件，所述导热层与所述补液控制阀的阀体贴合。

22、进一步地，所述补液控制阀包括第四气动阀和第三手阀，所述第三手阀设置在所述第四气动阀远离所述补液口的一侧，所述排气管与所述补液管的连通处位于所述第四气动阀和所述第三手阀之间。

23、进一步地，所述源瓶的补液口连通有补液插底管，所述补液插底管设置在所述源瓶内，所述补液插底管的底端伸入所述凹槽内。

24、本申请的有益效果为：

25、本申请的液态前驱体源的存储及输送系统，通过在源瓶的底部设置凹槽并将最底部的液位传感器的检测点设计为不高于凹槽的槽口，可控制更换源瓶时，剩余的前驱体源的体积小于或等于凹槽的体积，减少前驱体源的浪费，节省前驱体源。

1.一种液态前驱体源的存储及输送系统，其特征在于，包括源瓶、进气组件、出气组件和液位检测组件，

2.根据权利要求1所述的液态前驱体源的存储及输送系统，其特征在于，还包括加热组件，所述加热组件包括加热层和导热层，所述加热层包括导热面板和加热丝，所述加热丝嵌在所述导热面板内并均匀缠绕设置，所述导热层设置在所述导热面板的内层，所述导热层与所述导热面板的内表面贴合，

3.根据权利要求2所述的液态前驱体源的存储及输送系统，其特征在于，还包括保温层，所述保温层套设在所述导热面板外。

4.根据权利要求1所述的液态前驱体源的存储及输送系统，其特征在于，所述进气控制阀包括第一气动阀和第一手阀，所述第一手阀设置在所述第一气动阀远离所述源瓶的进气口的一侧。

5.根据权利要求1所述的液态前驱体源的存储及输送系统，其特征在于，所述出气控制阀包括第二气动阀和第二手阀，所述第二手阀设置在所述第二气动阀远离所述源瓶的出气口的一侧。

6.根据权利要求1-5任一项所述的液态前驱体源的存储及输送系统，其特征在于，还包括吹扫组件，所述吹扫组件包括吹扫管和所述吹扫管上设置的第三气动阀，所述第三气动阀用于控制所述吹扫管的通断，所述吹扫管的进气口与所述进气管连通，所述吹扫管的出气口与所述出气管连通。

7.根据权利要求1所述的液态前驱体源的存储及输送系统，其特征在于，还包括补液组件和排气组件，所述补液组件包括补液管和所述补液管上设置的补液控制阀，所述补液控制阀用于控制所述补液管的通断，所述源瓶上设置有补液口，所述补液管的出液口与所述补液口连通，

8.根据权利要求7所述的液态前驱体源的存储及输送系统，其特征在于，还包括加热组件，所述加热组件包括加热层和导热层，所述加热层包括导热面板和加热丝，所述加热丝嵌在所述导热面板内并均匀缠绕设置，所述导热层设置在所述导热面板的内层，所述导热层与所述导热面板的内表面贴合，

9.根据权利要求7或8所述的液态前驱体源的存储及输送系统，其特征在于，所述补液控制阀包括第四气动阀和第三手阀，所述第三手阀设置在所述第四气动阀远离所述补液口的一侧，所述排气管与所述补液管的连通处位于所述第四气动阀和所述第三手阀之间。

10.根据权利要求7所述的液态前驱体源的存储及输送系统，其特征在于，所述源瓶的补液口连通有补液插底管，所述补液插底管设置在所述源瓶内，所述补液插底管的底端伸入所述凹槽内。