液冷系统和镀膜设备的制作方法

本申请涉及半导体或光伏，尤其涉及一种液冷系统和镀膜设备。

背景技术：

1、在光伏行业，镀膜设备，例如，低压化学气相沉积（low pressure chemical vapordeposition，lpcvd）设备在工艺过程中，其主炉体，特别是炉口和炉尾的法兰密封区域，会承受极高的温度。为了确保设备长期稳定运行，lpcvd配备有对炉口和炉尾的法兰进行冷却的液冷系统，采用液冷系统对这些法兰进行强制冷却。相关技术中，液冷系统的成本高、结构复杂、占用空间大且运行可靠性差。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例提供了一种液冷系统和镀膜设备，以降低液冷系统的成本，简化液冷系统的结构，减小液冷系统的占用空间，降低液冷系统发生泄露的风险。

2、第一方面，本申请一实施例提供了一种液冷系统，应用于镀膜设备，镀膜设备包括炉体，炉体包括沿其长度方向相对设置的炉口和炉尾；液冷系统包括：进液管和回液管，进液管和回液管均靠近炉口设置，进液管供冷却介质进入；炉口法兰，设置在炉口处，炉口法兰设有第一流道，第一流道的进口与进液管连通；炉尾法兰，设置在炉尾处，炉尾法兰设有第二流道，第一流道的出口与第二流道的进口连通，第二流道的出口与回液管连通。

3、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，液冷系统还包括：第一连通管，沿炉体的长度方向延伸，第一流道的出口通过第一连通管与第二流道的进口连通；第二连通管，沿炉体的长度方向延伸，第二流道的出口通过第二连通管与回液管连通。

4、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，液冷系统还包括：第一柔性管，第一流道的出口通过第一柔性管与第一连通管连通；和/或，第二柔性管，第一连通管通过第二柔性管与第二流道的进口连通；和/或，第三柔性管，第二流道的出口通过第三柔性管与第二连通管连通。

5、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，液冷系统还包括：第四柔性管，进液管通过第四柔性管与第一流道的进口连通；和/或，第五柔性管，第二连通管通过第五柔性管与回液管连通。

6、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，进液管与第一流道之间和/或回液管与第二流道之间设有控制阀，控制阀用于控制冷却介质的通断；和/或，进液管与第一流道之间和/或回液管与第二流道之间设有流量传感器，流量传感器用于检测冷却介质的流量。

7、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，在炉口法兰的径向上，第一连通管和第二连通管设置在炉口法兰的同一侧。

8、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，在炉口法兰的径向上，进液管和回液管设置在炉口法兰的同一侧；在炉口法兰的径向上，第一连通管和第二连通管均设置在炉口法兰和进液管之间，第一连通管和第二连通管均设置在炉口法兰和回液管之间。

9、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，炉口法兰包括炉口内法兰和炉口外法兰，第一流道包括相互连通的第一内流道和第一外流道，第一内流道设于炉口内法兰，第一外流道设于炉口外法兰，第一外流道和第一内流道中的一个与进液管连通，第一外流道和第一内流道中的另一个与第二流道的进口连通；和/或，炉口法兰包括炉尾内法兰和炉尾外法兰，第二流道包括相互连通的第二内流道和第二外流道，第二内流道设于炉尾内法兰，第二外流道设于炉尾外法兰，第二外流道和第二内流道中的一个与第一流道连通，第二外流道和第二内流道中的另一个与回液管连通。

10、结合第一方面，在第一方面的某些实现方式中，液冷系统还包括：第六柔性管，第一内流道和第一外流道通过第六柔性管连通；和/或，第七柔性管，第二内流道和第二外流道通过第七柔性管连通。

11、第二方面，本申请一实施例提供了一种镀膜设备，包括：炉体，包括沿其长度方向相对设置的炉口和炉尾；液冷系统，为上述任一项的液冷系统，炉口法兰设置在炉口处，炉尾法兰设置在炉尾处。

12、本实施例提供的液冷系统，冷却介质从进液管进入口，先流入经炉口法兰的第一流道，实现对炉口法兰的冷却散热；然后从第一流道流出的冷却介质再进入炉尾法兰的第二流道，实现对炉尾法兰的冷却散热；最后冷却介质通过回液管流出，完成整个液冷系统的循环。由此，整个液冷系统仅形成一条冷却回路，从而可以减少液冷系统的监控组件和控制组件数量，不仅可以降低液冷系统的成本，而且可以简化液冷系统的结构、减小液冷系统的占用空间。此外，液冷系统的接头数量减少，还可以降低液冷系统的泄露风险，提高液冷系统的运行可靠性。

1.一种液冷系统，其特征在于，应用于镀膜设备，所述镀膜设备包括炉体，所述炉体包括沿其长度方向相对设置的炉口和炉尾；所述液冷系统包括：

2.根据权利要求1所述的液冷系统，其特征在于，还包括：

3.根据权利要求2所述的液冷系统，其特征在于，还包括：

4.根据权利要求3所述的液冷系统，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求1所述的液冷系统，其特征在于，所述进液管与所述第一流道之间和/或所述回液管与所述第二流道之间设有控制阀，所述控制阀用于控制所述冷却介质的通断；和/或，

6.根据权利要求2所述的液冷系统，其特征在于，在所述炉口法兰的径向上，所述第一连通管和所述第二连通管设置在所述炉口法兰的同一侧。

7.根据权利要求6所述的液冷系统，其特征在于，在所述炉口法兰的径向上，所述进液管和所述回液管设置在所述炉口法兰的同一侧；

8.根据权利要求1-7中任一项所述的液冷系统，其特征在于，所述炉口法兰包括炉口内法兰和炉口外法兰，所述第一流道包括相互连通的第一内流道和第一外流道，所述第一内流道设于所述炉口内法兰，所述第一外流道设于所述炉口外法兰，所述第一外流道和所述第一内流道中的一个与所述进液管连通，所述第一外流道和所述第一内流道中的另一个与所述第二流道的进口连通；和/或，

9.根据权利要求8所述的液冷系统，其特征在于，还包括：

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括：