用于真空镀膜设备的传输装置的制作方法

本技术涉及传输装置，尤其涉及用于真空镀膜设备的传输装置。

背景技术：

1、真空镀膜技术作为半导体、光学元件、电子器件等高端产品制造的核心工艺，其镀膜质量与真空腔体内基材传输的稳定性、定位精度直接相关，传输装置中的承载台作为直接承载固定待镀膜工件的核心部件，其使用灵活性对生产效率、工艺适配性至关重要；

2、现有技术中，真空镀膜设备的传输装置在使用时不便对承载台进行便捷拆卸和安装处理，承载台与磁悬浮动子、轨道组件等多采用一体化固定或复杂螺栓连接结构，导致承载台拆装过程繁琐耗时，不同规格工件切换或工艺调整时，需借助专用工具拆解大量部件，甚至破坏真空环境，停机时间较长，严重影响生产连续性，承载台吸附孔堵塞、定位结构磨损等维护需求出现时，复杂拆装不仅增加劳动强度，还易损伤动子、轨道等精密部件，推高使用成本，同时，反复拆装会导致连接部位定位基准偏移，承载台平面度与定位精度下降，引发工件传输偏移，影响薄膜均匀性与附着力，且密封件反复拆装易出现划伤、安装偏差，造成真空泄漏，破坏镀膜环境，因此，本实用新型提出用于真空镀膜设备的传输装置用来解决上述问题。

技术实现思路

1、针对上述问题，本实用新型提出用于真空镀膜设备的传输装置，已解决现有技术中不便对承载台进行便捷拆卸和安装处理的问题。

2、为实现本实用新型的目的，本实用新型通过以下技术方案实现：用于真空镀膜设备的传输装置，包括安装架，所述安装架的上方安装有磁悬浮输送线，所述磁悬浮输送线的上方安装有磁悬浮动子，所述磁悬浮动子的上方设置有安装机构，所述安装机构的顶端安装有承载台，所述承载台的内侧设置有夹持机构；

3、所述安装机构包括安装座、安装腔、安装块、定位孔、定位块和传动结构，所述安装座安装于磁悬浮动子的顶端，所述安装座的内部开设有安装腔，所述安装腔的内部设置有安装块，所述安装块的顶端与承载台的底端连接，所述安装块的内部开设有定位孔，所述定位孔的内部设置有定位块。

4、进一步改进在于：所述传动结构包括固定腔、伺服电机、螺纹杆、螺纹套和限位结构，所述固定腔安装于安装座的一端，所述固定腔的一端安装有伺服电机，所述固定腔内部的下方安装有螺纹杆，所述伺服电机的一端与螺纹杆的一端连接，所述螺纹杆的外侧壁设置有螺纹套，所述螺纹套的一端与定位块的一端连接。

5、进一步改进在于：所述定位孔与定位块之间相互适配，所述定位孔与定位块之间构成卡合结构。

6、进一步改进在于：所述限位结构包括限位杆和限位套，所述限位杆安装于固定腔内部的上方，所述限位杆的外侧壁设置有限位套，所述限位套的一端与定位块的一端连接。

7、进一步改进在于：所述限位杆的横截面小于限位套的横截面，所述限位杆与限位套之间构成滑动结构。

8、进一步改进在于：所述夹持机构包括真空吸附孔、连接管、电动推杆、夹持块、塑胶垫、导向孔和导向杆，所述真空吸附孔开设于承载台的内部，所述连接管安装于承载台的一侧，所述电动推杆安装于承载台的两侧，所述夹持块安装于承载台的内部，所述电动推杆的一端与夹持块的一端连接，所述夹持块的内侧设置有塑胶垫，所述承载台的两侧开设有导向孔，所述导向孔的内部设置有导向杆，所述导向杆的一端与夹持块的一端连接。

9、本实用新型的有益效果为：通过在磁悬浮动子的上方设置有安装机构，利用安装机构的安装座、安装腔、安装块、定位孔、定位块、固定腔、伺服电机、螺纹杆、螺纹套、限位杆和限位套之间的相互配合，可实现承载台快速拆装，大幅缩短工件规格切换与维护停机时间，无需拆解核心驱动部件，降低操作难度与劳动强度，同时，避免反复拆装对动子、轨道的精度损伤，保证承载台定位一致性与真空密封可靠性，减少镀膜缺陷，其适配多规格工件与工艺需求，提升设备灵活性与应用范围，降低维护与生产综合成本，满足高效精密生产需求；通过在承载台的内侧设置有夹持机构，利用夹持机构的真空吸附孔、连接管、电动推杆、夹持块、塑胶垫、导向孔和导向杆之间的相互配合，二者协同互补，真空吸附以均匀负压使工件平整贴合，避免脆硬、柔性工件损伤，无接触设计减少颗粒污染，机械夹持精准锁定定位基准，抑制传输振动与偏移，定位精度较高。该结构适配多规格、材质工件，保障真空密封可靠性，提升镀膜均匀性与合格率，增强设备工艺适配性。

1.用于真空镀膜设备的传输装置，包括安装架（1），其特征在于：所述安装架（1）的上方安装有磁悬浮输送线（2），所述磁悬浮输送线（2）的上方安装有磁悬浮动子（3），所述磁悬浮动子（3）的上方设置有安装机构，所述安装机构的顶端安装有承载台（4），所述承载台（4）的内侧设置有夹持机构；

2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的传输装置，其特征在于：所述传动结构包括固定腔（10）、伺服电机（11）、螺纹杆（12）、螺纹套（13）和限位结构，所述固定腔（10）安装于安装座（5）的一端，所述固定腔（10）的一端安装有伺服电机（11），所述固定腔（10）内部的下方安装有螺纹杆（12），所述伺服电机（11）的一端与螺纹杆（12）的一端连接，所述螺纹杆（12）的外侧壁设置有螺纹套（13），所述螺纹套（13）的一端与定位块（9）的一端连接。

3.根据权利要求2所述的用于真空镀膜设备的传输装置，其特征在于：所述定位孔（8）与定位块（9）之间相互适配，所述定位孔（8）与定位块（9）之间构成卡合结构。

4.根据权利要求3所述的用于真空镀膜设备的传输装置，其特征在于：所述限位结构包括限位杆（14）和限位套（15），所述限位杆（14）安装于固定腔（10）内部的上方，所述限位杆（14）的外侧壁设置有限位套（15），所述限位套（15）的一端与定位块（9）的一端连接。

5.根据权利要求4所述的用于真空镀膜设备的传输装置，其特征在于：所述限位杆（14）的横截面小于限位套（15）的横截面，所述限位杆（14）与限位套（15）之间构成滑动结构。

6.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的传输装置，其特征在于：所述夹持机构包括真空吸附孔（16）、连接管（17）、电动推杆（18）、夹持块（19）、塑胶垫（20）、导向孔（21）和导向杆（22），所述真空吸附孔（16）开设于承载台（4）的内部，所述连接管（17）安装于承载台（4）的一侧，所述电动推杆（18）安装于承载台（4）的两侧，所述夹持块（19）安装于承载台（4）的内部，所述电动推杆（18）的一端与夹持块（19）的一端连接，所述夹持块（19）的内侧设置有塑胶垫（20），所述承载台（4）的两侧开设有导向孔（21），所述导向孔（21）的内部设置有导向杆（22），所述导向杆（22）的一端与夹持块（19）的一端连接。