一种高效的PVD真空物流传输结构的制作方法

本技术涉及pvd设备，尤其涉及一种高效的pvd真空物流传输结构。

背景技术：

1、在半导体、光学元件、平板显示等制造领域，物理气相沉积（pvd）技术被广泛用于在基板表面沉积功能性薄膜。pvd工艺通常在真空环境下进行，涉及将基板从上料腔室传输至一个或多个制程腔室进行镀膜，然后再传输至下料腔室。

2、目前，市场上主流的pvd设备物流传输结构普遍采用单片和逐级传输模式。每次传输前后，相关腔室往往需要经历从破真空到传输最后再抽真空的循环，抽真空过程耗时较长，严重制约了设备的生产节拍和整体效率。并且传统设备腔室多采用线性流水线布局，机械手需要在长条形的布局中往复运动，传输路径长，进一步增加了非生产时间。上料腔室和下料腔室通常为单面堆放基板，单次承载量有限。为了满足连续生产需求，不得不频繁地进行上料或下料操作，每次操作又伴随着腔室的破真空与再抽真空，形成效率瓶颈。而且现在的多数设备采用单臂机械手，一次只能抓取和放置一片基板，传输能力有限。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种高效的pvd真空物流传输结构，解决上述背景技术中所提到的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

3、一种高效的pvd真空物流传输结构，包括上料腔室、制程腔室、下料腔室、机械手腔室和真空泵组，

4、所述上料腔室通过第二阀门与机械手腔室相连通，所述机械手腔室通过第三阀门与制程腔室相连通，所述机械手腔室通过第四阀门与下料腔室相连通，所述上料腔室和下料腔室均设置有四面旋转上料承载机构，所述机械手腔室中设置有双臂的机械手，所述真空泵组通过真空管道分别与所述机械手腔室、制程腔室、上料腔室和下料腔室连接。

5、进一步地，所述四面旋转上料承载机构包括卡匣、升降旋转结构，所述卡匣具有多个用于承载基板夹具的装载面，所述升降旋转结构用于驱动所述卡匣绕其中心轴旋转。

6、进一步地，所述卡匣具有四个装载面。

7、进一步地，所述机械手包括机械手底座、设置于底座上的驱动单元、以及由驱动单元控制的两个独立且上下布置的机械手臂，每个机械手臂末端设有用于抓取基板夹具的夹具。

8、进一步地，所述上料腔室的开口端设置有第一阀门。

9、进一步地，所述下料腔室的开口端设置有第五阀门。

10、进一步地，所述pvd真空物流传输结构还包括传感器，所述传感器设置在各腔室与机械手腔室的连通处。

11、有益效果：

12、本实用新型通过在各关键腔室间设置真空插板阀进行隔离，使机械手腔室和制程腔室能在生产过程中始终保持真空状态。仅需对相对独立的上、下料腔室进行抽真空操作，省去了传统模式下机械手腔室反复抽真空的耗时，大幅缩短了生产节拍。并且采用双臂的机械手，一次传输行程可同时搬运两片基板，传输能力翻倍。

1.一种高效的pvd真空物流传输结构，其特征在于：包括上料腔室、制程腔室、下料腔室、机械手腔室和真空泵组，

2.根据权利要求1所述的高效的pvd真空物流传输结构，其特征在于：所述四面旋转上料承载机构包括卡匣、升降旋转结构，所述卡匣具有多个用于承载基板夹具的装载面，所述升降旋转结构用于驱动所述卡匣绕其中心轴旋转。

3.根据权利要求2所述的高效的pvd真空物流传输结构，其特征在于：所述卡匣具有四个装载面。

4.根据权利要求1所述的高效的pvd真空物流传输结构，其特征在于：所述机械手包括机械手底座、设置于底座上的驱动单元、以及由驱动单元控制的两个独立且上下布置的机械手臂，每个机械手臂末端设有用于抓取基板夹具的夹具。

5.根据权利要求1所述的高效的pvd真空物流传输结构，其特征在于：所述上料腔室的开口端设置有第一阀门。

6.根据权利要求1所述的高效的pvd真空物流传输结构，其特征在于：所述下料腔室的开口端设置有第五阀门。

7.根据权利要求1所述的高效的pvd真空物流传输结构，其特征在于：所述pvd真空物流传输结构还包括传感器，所述传感器设置在各腔室与机械手腔室的连通处。