一种内置主动冷却系统的镀膜吊具的制作方法

本技术涉及镀膜吊具，更具体地说，本技术涉及一种内置主动冷却系统的镀膜吊具。

背景技术：

1、真空镀膜技术是一种在高度真空环境下，通过物理或化学方法在基材表面沉积薄膜的技术，该技术广泛应用于光电系统、光学仪器、半导体、微机电系统、建筑玻璃、汽车工业、装饰品等多个领域，例如，数码相机、望远镜、投影机、激光器、滤光片、眼镜片等产品的制造过程中，均离不开真空镀膜技术，通常使用镀膜吊具对工件进行定位，以进行镀膜加工。

2、在实际使用时，在pvd镀膜过程中，工件会暴露在高温等离子体或反应气体中，温度急剧升高，过高的温度会导致；其一，基体微观结构变化：工件材料会发生回火、退火，导致硬度下降、尺寸变形；其二，膜层与基体间产生脆性相：高温会促进膜层材料与基体材料之间的相互扩散，形成脆性的中间相，严重降低膜层的附着力。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种内置主动冷却系统的镀膜吊具，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种内置主动冷却系统的镀膜吊具，包括定位杆，以及环形阵列设置在定位杆外侧的多列挂杆，所述定位杆底端固定连接有存储箱，所述存储箱下表面固定连接有多个垫块，所述存储箱内侧设置有存放冷却液的空腔，所述存储箱上表面连通有进水管，所述定位杆和存储箱内设置有主动导流机构；所述主动导流机构包括设置在存储箱内部的水泵，所述水泵输出端固定连接有输水管一，所述输水管一一端固定连接有输水圆管；所述定位杆内部设置有用于回收冷却液的导流道，所述导流道底端与存储箱内侧空腔相连通；所述定位杆和多列挂杆内部开设有相连通的通道，且其通道内部布设有导热铜管，所述导热铜管一端与输水圆管相连通，所述导热铜管另一端延伸至导流道顶端且与其相连通，多列所述挂杆以导流道为中心呈环形阵列分布在定位杆的外侧面上，且多个所述导热铜管均匀分布在定位杆和多列挂杆内部，所述定位杆底端固定连接有出水管，所述出水管一端延伸至存储箱内侧，且连通有出水盒，所述出水盒一侧与存储箱空腔内壁固定连接，所述出水盒底部设置有出水口，且出水口内壁固定连接有多个分流板，多个所述分流板均匀分布在出水口内侧；所述存储箱内侧设置有冷却机构。

4、通过采用上述技术方案：利用多个导热铜管将冷却液注入到定位杆和多列挂杆当中，从而间接对套在挂杆表面的工件进行吸热，进而保持定位杆、挂杆和工件的温度，确保膜层的附着力。

5、作为上述技术方案的进一步描述：所述冷却机构包括设置在存储箱侧面的隔框，所述隔框内侧设置有半导体制冷片，所述半导体制冷片冷端固定连接有导热鳍片，且导热鳍片延伸至存储箱内侧空腔内部，所述半导体制冷片热端固定连接有散热鳍片，所述隔框一侧固定连接有风扇。

6、通过采用上述技术方案：利用导热鳍片与携带热量的冷却液进行多点接触，并通过风扇和散热鳍片对半导体制冷片的热端进行散热，从而使冷却液得到降温，确保冷却液的持续循环利用。

7、本实用新型的技术效果和优点：

8、1、通过设置主动导流机构，与现有技术相比，利用多个导热铜管和导流道可以将冷却液逐渐沿着定位杆和多列挂杆内部进行流动，能将定位杆、挂杆和工件处于相对稳定的温度，保证了膜层与基体之间具有牢固的化学键合，而非脆性结合，从而极大地提高了膜层的附着力、硬度和耐磨性；

9、2、通过设置冷却机构，与现有技术相比，利用半导体制冷片冷端和导热鳍片对携带热量的冷却液进行分散降温，使冷却液在循环流动的过程中保持相对稳定的温度，确保镀膜吊具和工件的冷却稳定。

1.一种内置主动冷却系统的镀膜吊具，包括定位杆（1），以及环形阵列设置在定位杆（1）外侧的多列挂杆（2），其特征在于：所述定位杆（1）底端固定连接有存储箱（3），所述存储箱（3）下表面固定连接有多个垫块（4），所述存储箱（3）用于存放冷却液，所述存储箱（3）上表面连通有进水管（5），所述定位杆（1）和存储箱（3）内设置有主动导流机构；

2.根据权利要求1所述的内置主动冷却系统的镀膜吊具，其特征在于：多列所述挂杆以导流道（10）为中心呈环形阵列分布在定位杆（1）的外侧面上，且多个所述导热铜管（9）均匀分布在定位杆（1）和多列挂杆（2）内部。

3.根据权利要求1所述的内置主动冷却系统的镀膜吊具，其特征在于：所述定位杆（1）底端连通有出水管（11），所述出水管（11）一端延伸至存储箱（3）内侧，且连通有出水盒（12），所述出水盒（12）一侧与存储箱（3）空腔内壁固定连接。

4.根据权利要求3所述的内置主动冷却系统的镀膜吊具，其特征在于：所述出水盒（12）底部设置有出水口，且出水口内壁固定连接有多个分流板（18），多个所述分流板（18）均匀分布在出水口内侧。

5.根据权利要求1所述的内置主动冷却系统的镀膜吊具，其特征在于：所述冷却机构包括设置在存储箱（3）侧面的隔框（13），所述隔框（13）内侧设置有半导体制冷片（14）。

6.根据权利要求5所述的内置主动冷却系统的镀膜吊具，其特征在于：所述半导体制冷片（14）冷端固定连接有导热鳍片（15），且导热鳍片（15）延伸至存储箱（3）内侧空腔内部。

7.根据权利要求5所述的内置主动冷却系统的镀膜吊具，其特征在于：所述半导体制冷片（14）热端固定连接有散热鳍片（16），所述隔框（13）一侧固定连接有风扇（17）。