一种半导体制程中铝合金部件喷砂保护治具的制作方法

本技术属于金属产品加工，具体地说，本技术涉及一种半导体制程中铝合金部件喷砂保护治具。

背景技术：

1、在金属表面处理过程中经常使用喷砂工艺，喷砂是利用高速气流带动砂材对金属表面进行轰击，使其表面产生粗糙度或光洁度的金属表面处理工艺，半导体物理气相沉积制程中会在部品表面吸附一定厚度的金属、氧化物、有机物等溅镀物质，为了增加部品对这些附着物的吸附能力，降低生产过程中因粘附力不强等原因导致的膜层脱落异常，部品在洗净过程中会进行增粗处理，为了避免在喷砂过程中造成密封面、光滑面等禁止喷砂区域造成破坏，避免客户端机台发生漏气等生产事故，在喷砂前需要对特定位置进行遮蔽保护。

2、专利号为201921488779.0，公告日为2020年5月15日公开的一份公开说明书中，公开了一种喷砂保护治具，包括治具主体，其特征在于，所述治具主体呈环形结构设置，所述治具主体的内壁圆固接有内保护挡圈，所述治具主体的外壁固接有外保护挡圈，所述外保护挡圈与所述内保护挡圈同侧设置，所述治具主体上圆周分布有若干固定孔，所述固定孔为通孔结构。本实用新型结构简单，设计合理，通过设置安有内保护挡圈和外保护挡圈的治具主体，喷砂前，使用内六角螺丝将本实用新型固定在部件上部，解决了拆装耗费工时的问题，提高了加工效率，保证了部件在清洗喷砂过程中不会发生形变，在清洗喷砂过程中，同时保护了无需喷砂的部件顶端壁。

3、以往对该部件的保护方法为胶带遮蔽保护，但由于在喷砂过程中，喷枪压力较大，极易将胶带打飞，失去粘附及保护作用。

技术实现思路

1、本实用新型旨在提供一种保护效果好的半导体制程中铝合金部件喷砂保护治具。

2、为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种半导体制程中铝合金部件喷砂保护治具，用于产品，所述保护治具分为上治具和下治具，所述上治具和下治具包裹在产品的上下两侧，所述产品和所述保护治具均呈环形。

3、所述上治具和所述下治具相靠近的端面相互贴合。

4、所述上治具与产品表面紧贴，所述下治具与产品表面紧贴。

5、所述上治具的外表面横截面呈l型，所述上治具的内壁呈台阶状。

6、所述上治具的边角为圆角。

7、所述下治具的横截面呈l型，所述下治具的内壁表面设有与产品相配合的嵌槽。

8、所述下治具的边角为圆角。

9、本实用新型的技术效果为：无需螺丝连接，即放即用，在自重作用下使得保护治具与产品紧密贴合，无漏砂风险，可以起到有效保护产品的效果，也可以重复使用，有效降低生产成本，且能够批量生产，提高生产效率。

1.一种半导体制程中铝合金部件喷砂保护治具，用于产品（1），其特征在于：所述保护治具分为上治具（2）和下治具（3），所述上治具（2）和下治具（3）包裹在产品（1）的上下两侧，所述产品（1）和所述保护治具均呈环形。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制程中铝合金部件喷砂保护治具，其特征在于：所述上治具（2）和所述下治具（3）相靠近的端面相互贴合。

3.根据权利要求1或2所述的一种半导体制程中铝合金部件喷砂保护治具，其特征在于：所述上治具（2）与产品（1）表面紧贴，所述下治具（3）与产品（1）表面紧贴。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制程中铝合金部件喷砂保护治具，其特征在于：所述上治具（2）的外表面横截面呈l型，所述上治具（2）的内壁呈台阶状。

5.根据权利要求4所述的一种半导体制程中铝合金部件喷砂保护治具，其特征在于：所述上治具（2）的边角为圆角。

6.根据权利要求1所述的一种半导体制程中铝合金部件喷砂保护治具，其特征在于：所述下治具（3）的横截面呈l型，所述下治具（3）的内壁表面设有与产品（1）相配合的嵌槽（4）。

7.根据权利要求6所述的一种半导体制程中铝合金部件喷砂保护治具，其特征在于：所述下治具（3）的边角为圆角。