一种处理节拍均衡化的分组集成式酸碱腐蚀产线及方法与流程

本发明涉及玻璃通孔酸碱腐蚀加工领域，尤其涉及一种处理节拍均衡化的分组集成式酸碱腐蚀产线及方法。

背景技术：

1、在精密玻璃通孔（tgv）等微细加工领域，酸碱腐蚀工序是决定产品最终质量的核心环节之一。早期的酸碱腐蚀产线采用单槽间歇式作业模式，操作人员手动将产品篮依次放入各个功能槽中，完成一道工序后再转移至下一槽体，此种方式劳动强度大、人为干预因素多，批次间一致性难以保证。随着自动化技术的发展，产线演进为开放式长线串联布局，即从首端上料至末端下料，沿线依次排布十余个功能槽体，产品篮被机械臂按固定顺序逐槽夹送，依次经历清洗、酸碱腐蚀、喷淋、漂洗、超声、烘干等完整工序，部分产线允许针对特定工艺需求进行跳跃式加工，例如仅需使用第1、3、5号槽位时，机械臂便越过第2、4号槽位进行选择性夹送，无论采取顺序加工还是跳跃加工，该类产线均为单通道串行流转模式，同一时刻产线内仅能有一个产品篮处于完整的工序流转周期之中。

2、然而，上述串行流转模式在面临酸碱腐蚀工序时暴露出显著的效率瓶颈。酸碱腐蚀，尤其是碱性腐蚀，其单次工艺时间可长达十余小时，而与之配套的清洗、喷淋、漂洗及烘干等后处理工序合计仅需数十分钟，这种前后工序时间量级的巨大差异导致整条产线的生产节拍完全受制于腐蚀环节的漫长周期；在单通道串行模式下，后一个产品必须等待前一个产品走完包括腐蚀在内的全部工序后方可上料，使得产线在后处理环节出现大量空闲等待时间，设备利用率极低，更为棘手的是，若试图缩短上料间隔以提高产出，则会因前一产品尚未完成腐蚀而后一产品已完成其前序清洗工序，导致机械臂不得不将后一产品篮夹持悬停于空中以待腐蚀槽释放，产品在空气中长时间暴露将引发表面氧化、沾尘乃至药液结晶等品质风险，此外，长线串联布局中十余个槽体依次排布，占地面积庞大，且各槽体密封性良莠不齐，酸碱高温蒸汽易从槽口逸散，对作业环境及人员安全构成威胁。对于研发试验场景而言，该产线仅能固定执行一种腐蚀工艺路线，无法在同一批次中灵活配置酸性和碱性两种腐蚀条件并行测试，严重制约了工艺开发的效率。

3、因此，发明人亟需一种处理节拍均衡化的分组集成式酸碱腐蚀产线及方法以解决上述问题。

技术实现思路

1、针对上述现有技术的缺陷，本发明提供一种处理节拍均衡化的分组集成式酸碱腐蚀产线及方法，旨在解决现有技术中酸碱腐蚀产线因单通道串行流转模式导致腐蚀长周期工序与短周期后处理工序之间节拍严重失衡、设备利用率低下、上料间隔受限以及产品被迫在空中暴露等待进而影响加工品质的问题。

2、为实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：一种处理节拍均衡化的分组集成式酸碱腐蚀产线，包括机架以及安装于所述机架上的三槽装置和上下料装置，所述三槽装置包括第一腐蚀槽组件、第二腐蚀槽组件以及位于所述第一腐蚀槽组件与第二腐蚀槽组件之间的多功能槽组件，所述上下料装置包括对应于所述第一腐蚀槽组件设置的第一上料传送组件、对应于所述第二腐蚀槽组件设置的第二上料传送组件以及设置于所述第一上料传送组件与所述第二上料传送组件之间的机械臂夹送组件，所述机械臂夹送组件用于将所述第一上料传送组件或所述第二上料传送组件上的产品篮夹送至所述第一腐蚀槽组件或所述第二腐蚀槽组件中进行腐蚀作业，并将完成腐蚀作业后的产品篮夹送至所述多功能槽组件中进行后处理，所述机械臂夹送组件的夹送时序配置为使所述第一腐蚀槽组件和所述第二腐蚀槽组件内完成腐蚀加工的产品篮交替进入所述多功能槽组件，且所述第一腐蚀槽组件与所述第二腐蚀槽组件完成腐蚀加工的时刻之差不小于所述多功能槽组件单次后处理所需时间。

3、基于上述，一种处理节拍均衡化的分组集成式酸碱腐蚀产线的有益效果为解决了现有技术中酸碱腐蚀产线因单通道串行流转模式导致腐蚀长周期工序与短周期后处理工序之间节拍严重失衡、设备利用率低下、上料间隔受限以及产品被迫在空中暴露等待进而影响加工品质的问题；主要体现在：

4、1、本发明通过设置第一腐蚀槽组件和第二腐蚀槽组件分别独立承接来自第一上料传送组件和第二上料传送组件的产品篮，并使第一腐蚀槽组件和第二腐蚀槽组件能够同时对各自的产品篮中所承载的产品进行长时间的腐蚀加工，实现了腐蚀工序的并行化作业，从而打破了传统单通道产线中腐蚀与后处理工序必须串行流转的刚性约束，从根源上消除了腐蚀长周期与后处理短周期之间的节拍失衡问题；

5、2、本发明通过在三槽装置中将多功能槽组件布置于第一腐蚀槽组件和第二腐蚀槽组件之间，并由机械臂夹送组件按照预设的夹送时序将已完成腐蚀加工的产品从腐蚀槽组件中连同产品篮一同交替送入多功能槽组件中进行后处理，同时将该时序配置为第一腐蚀槽组件与第二腐蚀槽组件完成腐蚀加工的时刻之差不小于多功能槽组件单次后处理所需时间，使得第一腐蚀槽组件和第二腐蚀槽组件释放已完成腐蚀的产品的时刻相互错开，确保任一时刻至多只有一个产品篮的产品需要占用多功能槽组件进行后处理，从而完全避免了两侧产品同时完成腐蚀后争抢同一多功能槽组件的情形，消除了因争抢导致的产品被迫悬停于空中等待槽位释放的隐患；

6、3、本发明通过配置第一上料传送组件和第二上料传送组件分别独立上料，并借由机械臂夹送组件在两组上料传送组件与两个腐蚀槽组件之间进行独立调度，使任一上料传送组件的新产品篮被夹送至对应腐蚀槽组件后，其加工进程完全独立于另一侧，而不受另一侧产品所处工序阶段的制约，由此实现了上料间隔的自由调节，彻底解除了传统串行产线中前序产品必须走完全部工序后方可进行下次上料的限制；

7、4、本发明通过机械臂夹送组件将完成腐蚀加工的产品连同产品篮从腐蚀槽组件直接夹送至多功能槽组件进行连续的后处理，期间产品篮始终被机械臂稳定夹持并快速转移至密闭槽体环境中，配合夹送时序对两个腐蚀槽组件释放产品节奏的交错控制，避免了两个产品篮同时争夺多功能槽组件而导致任一产品篮被迫悬停于空中等待槽位释放的情形，从而有效杜绝了产品在腐蚀完成后因等待后处理而长时间暴露于空气中所引发的表面污染及品质劣化风险。

8、进一步的，定义所述第一腐蚀槽组件单次腐蚀加工所需时间为t_1，所述第二腐蚀槽组件单次腐蚀加工所需时间为t_2，所述多功能槽组件单次后处理所需时间为t，相邻两次上料的时间差为δt，且所述第一腐蚀槽组件先于所述第二腐蚀槽组件上料，则所述时间差δt满足：δt≥t+max(0,t_1-t_2)，从而使所述第一腐蚀槽组件与所述第二腐蚀槽组件完成腐蚀加工的时刻之差不小于t。

9、基于上述，第一腐蚀槽组件与第二腐蚀槽组件完成腐蚀加工的时刻之差不小于t的有益效果为实现了使两个腐蚀槽组件的产品依次进入多功能槽，从根本上避免了两侧产品争抢同一后处理槽位，从而消除产品因等待而悬停于空中的风险，并确保整条产线在多品种、变节拍工况下仍能保持有序、连续的流转。

10、进一步的，所述第一腐蚀槽组件和/或所述第二腐蚀槽组件包括腐蚀槽内槽体、鼓泡补液一体结构、u型架以及抖动驱动装置，所述鼓泡补液一体结构设置于所述腐蚀槽内槽体的底部，所述u型架架设于所述腐蚀槽内槽体内，用于承载产品篮，所述抖动驱动装置设置于所述腐蚀槽内槽体的外部，所述u型架与所述抖动驱动装置的输出端连接。

11、基于上述，腐蚀槽内槽体的有益效果为将高温强酸或强碱溶液约束于槽内，防止药液外溅和腐蚀性蒸汽逸散至周边环境，保障设备长期运行安全并减少对操作人员的健康威胁；鼓泡补液一体结构的有益效果为将补液、补水、循环回流与鼓泡发生四种功能集中整合于同一底部构件中，实现了大幅减少槽体侧壁及底部的贯通开孔数量，从根源上降低因开孔焊接处腐蚀疲劳而引发的泄漏失效概率，同时通过内部流道设计使各鼓泡出口压力均衡稳定，避免局部冲击过强损伤产品微孔形态；u型架的有益效果为承载产品篮并使产品悬空定位于腐蚀槽内槽体的中部区域，实现了确保产品上下两面均能与腐蚀液充分接触；抖动驱动装置的有益效果为在腐蚀加工过程中间歇性地驱动u型架连带产品篮作上下往复抖动，实现了借助机械振动力将玻璃微孔内被腐蚀松脱的粉屑强制抖落，防止碎屑二次附着于孔壁，从而提升孔内壁的光洁度和腐蚀均匀性。

12、进一步的，所述鼓泡补液一体结构包括鼓泡主板、鼓泡底板以及输入管道，所述鼓泡主板的底部设置有鼓泡容纳槽，所述鼓泡容纳槽包括液体输入区和鼓泡区，所述液体输入区位于所述鼓泡容纳槽的一端，所述鼓泡区位于所述鼓泡容纳槽的其余区域，所述鼓泡区设置有多个长条凸台，各所述长条凸台沿从所述液体输入区向所述鼓泡容纳槽另一端的方向延伸，多个所述长条凸台在垂直于所述延伸方向的方向上依次间隔排列，相邻所述长条凸台之间以及位于边缘侧的所述长条凸台与所述鼓泡容纳槽的槽壁之间形成多条相互独立的鼓泡流道，各所述鼓泡流道内沿自身延伸方向间隔设置有多个贯穿所述鼓泡主板的鼓泡小孔，所述液体输入区设置有液体输入口，所述输入管道的一端与所述液体输入口连接，所述输入管道的另一端用于与外部气液供给系统连接，所述鼓泡底板设置于所述鼓泡主板的底部，各所述长条凸台均与所述鼓泡底板固定连接并密封所述鼓泡容纳槽，各所述鼓泡流道的截面积大于各所述鼓泡流道内的各所述鼓泡小孔的面积之和。

13、基于上述，鼓泡主板的有益效果为将补液、补水、循环回流和鼓泡发生所需的流道及孔口集成于同一板体，实现了大幅减少槽体侧壁及底部的贯通开孔数量，降低因焊接和开孔导致的腐蚀泄漏风险，同时为各功能介质的分配提供稳固的基体平台；鼓泡底板的有益效果为与鼓泡主板固定连接并共同封闭鼓泡容纳槽，实现了将各鼓泡流道分隔为相互独立的密封腔室，防止不同流道之间的液体串流，确保每条流道内的压力独立建立且互不干扰；输入管道的有益效果为将外部供给的液体或气体导入液体输入区，实现了仅通过单一管路接口即可按时序切换输送补液、补水、循环液或压缩空气，取代传统多个独立接口，从源头减少管路焊接点和密封面；鼓泡容纳槽的有益效果为在鼓泡主板底部形成容纳分流介质的内凹空间，实现了为来自输入管道的流体提供缓冲和暂存区域，使高速进入的流体先在槽内减速稳压，再平稳分配至后续各流道；液体输入区的有益效果为承接输入管道来液并作为流体分配的首站，实现了将单一来流初步扩撒，消除射流冲击效应，避免局部流速过高直接涌入鼓泡区而影响出口压力均匀性；鼓泡区的有益效果为集中布置多条长条凸台以形成阵列化流道网络，实现了将流体均匀铺展至整个腐蚀槽底面的对应区域，确保鼓泡作用范围能够覆盖产品篮的全部投影面积；长条凸台的有益效果为与鼓泡底板贴合后形成隔离各流道的分隔脊，实现了在增强鼓泡主板结构刚度的同时，将鼓泡区分割为多个并行流路，使每条流道的流体独立行进、互不串通；鼓泡流道的有益效果为引导流体沿自身延伸方向输送至各鼓泡小孔，实现了通过流道截面积与小孔总面积之间的面积差关系建立稳定的背压，使每个小孔前获得近似相等的静压，从而保证出泡速率和气泡尺寸的一致性；鼓泡小孔的有益效果为将流道内的液体或气体以细密气泡的形式释放入腐蚀槽内，实现了在槽底形成均匀分布的微小气泡群，对产品表面产生轻柔且稳定的冲刷力，避免因冲击力不均而损伤玻璃通孔的圆度和孔径；液体输入口的有益效果为连通输入管道与鼓泡容纳槽的入口通道，实现了将来流从外部管路平稳过渡至鼓泡主板内部腔体；外部气液供给系统的有益效果为根据工序排序需求向输入管道选择性供给补酸、补碱、补水、循环液或压缩气体，实现了在同一输入管道内按时间顺序切换不同介质，满足补液、补水、循环和鼓泡功能的分时独立运行。

14、进一步的，所述第一腐蚀槽组件和/或所述第二腐蚀槽组件还包括蛇形盘管和抽样盒体，所述蛇形盘管设置于所述腐蚀槽内槽体中，所述蛇形盘管呈三维立体蛇形弯折，依次沿所述腐蚀槽内槽体的内后壁、内底壁及内前壁迂回布置，所述蛇形盘管的两端分别用于连接冷冻水供应管路，所述抽样盒体设置于所述腐蚀槽内槽体的外壁，所述抽样盒体的内部与所述腐蚀槽内槽体的内部液体连通。

15、基于上述，蛇形盘管的有益效果为通过其内部流动的冷冻水对腐蚀槽内的高温腐蚀液进行强制换热降温，实现了在排液前将槽内高温溶液快速冷却至安全温度范围内，避免高温溶液流经回收管道或设备时因超温而引发金属腐蚀加剧或非金属材料软化变形，从而保障回收系统的结构完整性和长期使用可靠性；抽样盒体的有益效果为提供一个与腐蚀槽内液体实时连通的独立取样腔室，实现了在不中断腐蚀加工进程且无需打开腐蚀槽密封盖的前提下，操作人员可跟随腐蚀槽内开始对产品进行腐蚀的相同时间节点置入若干测试片，并预设间隔时间内定期取出一片测试片并观察腐蚀效果，从而对腐蚀进度进行实时监控和工艺调整，避免因频繁开盖取样导致槽内温度波动和蒸汽泄漏；冷冻水供应管路的有益效果为向蛇形盘管持续输送低温冷却介质，实现了为蛇形盘管的换热功能提供稳定的冷源保障，确保降温过程可控、连续且满足排液前的降温速率要求。

16、进一步的，所述机架的上部设置有分别对应所述第一腐蚀槽组件、所述多功能槽组件和所述第二腐蚀槽组件的三个槽体密封盖组件，所述槽体密封盖组件包括架设于所述机架上的直驱机构以及设置于所述直驱机构输出端的密封门，所述第一腐蚀槽组件、所述多功能槽组件和所述第二腐蚀槽组件的上表面两侧分别设置有导向结构，所述密封门的两侧导向配合于所述导向结构上，所述第一腐蚀槽组件、所述多功能槽组件和所述第二腐蚀槽组件的上部两侧面还分别设置有密封盖压紧机构，所述密封盖压紧机构包括下压气缸和设置于所述下压气缸输出端的下压块，当所述密封门被驱动至对应的槽体上表面时，所述下压气缸驱动所述下压块压在所述密封门的上表面上。

17、基于上述，槽体密封盖组件的有益效果为每个槽体分别独立配置各自的密封盖及驱动与压紧单元，实现了三个槽体的密封盖可独立启闭、互不干涉，使两侧腐蚀槽在长时间保温腐蚀期间保持可靠密闭，同时中间多功能槽可根据后处理节奏灵活开关，避免单一槽体操作对其他槽体密封状态造成干扰；直驱机构的有益效果为直接驱动密封门沿导向结构作直线平移运动，实现了无需中间传动转换即可快速、平稳地开启和关闭槽口，简化了机架顶部的结构布局，并为密封门提供精确的行程终点定位，确保每次关闭均能准确对正槽口；密封门的有益效果为在直驱机构的推动下覆盖于槽体上表面开口，实现了将槽内高温酸碱蒸汽及挥发性侵蚀性气体有效封闭于槽体内部，防止有害气体逸散至车间环境，从而保障作业区域空气质量及人员操作安全；导向结构的有益效果为对密封门的两侧进行滑动限位与运动导向，实现了确保密封门在平移全过程中始终与槽口上表面保持平行对正，防止密封门偏斜或翘曲导致闭合不到位或密封圈局部压合不匀，从而维持密封的稳定性和可重复性；密封盖压紧机构的有益效果为在密封门平移到位后对其施加补充的垂直下压力，实现了强化密封门与密封圈之间的接触压紧力，补偿密封圈因长期高温工作而可能产生的压缩永久变形或松弛，确保槽体在腐蚀加工全程及排液降温阶段均保持气密状态；下压气缸的有益效果为在密封门到位后输出直线下压力并在需要开启时快速撤除，实现了压紧动作与释放动作的快速切换，使密封门既能获得足够的压紧力保障密封，又能在工序转换时及时解除锁定，不影响产线流转节拍；下压块的有益效果为将下压气缸输出的集中推力分散传递至密封门的上表面，实现了避免局部压强过大导致密封门变形，同时使压紧力均匀分布于密封门两侧，提升密封接触面的受力一致性。

18、进一步的，所述第一腐蚀槽组件和/或所述第二腐蚀槽组件还包括加热系统、循环过滤结构、超声波发生装置、液位传感器和浓度传感器，所述加热系统和所述超声波发生装置设置于所述腐蚀槽内槽体内，所述循环过滤结构的输入端与所述腐蚀槽内槽体的中上部连通，所述循环过滤结构的输出端与所述输入管道连通。

19、基于上述，加热系统的有益效果为对腐蚀槽内槽体中的腐蚀液进行升温并维持于工艺所需温度，实现了在碱腐蚀或酸腐蚀过程中提供稳定的热化学反应条件，确保腐蚀速率和均匀性不受环境温度波动影响，同时满足特定高温腐蚀工艺对温度的严苛要求；循环过滤结构的有益效果为将腐蚀槽中上部的液体抽出并经过滤后通过鼓泡补液一体结构重新输入槽内，实现了在腐蚀加工过程中持续清除悬浮于液中的玻璃粉屑和反应沉淀物，防止杂质二次附着于产品表面和微孔内壁，同时保持槽内液体流动更新，延缓药液老化速度；超声波发生装置的有益效果为在腐蚀过程中向槽内施加超声波振动能量，实现了通过空化效应和微射流作用将玻璃微孔内被腐蚀松脱的粉屑及反应产物强制剥离并分散于液体中，提升微孔内部腐蚀的均匀性和清洁度，减少因粉屑堆积导致的局部腐蚀阻滞；液位传感器的有益效果为实时监测腐蚀槽内液体的高度变化，实现了在液体因高温蒸发而下降时及时发出补液信号，确保产品始终浸没于有效液位之下，防止液位过低导致产品部分暴露于液面以上而腐蚀不均或报废；浓度传感器的有益效果为实时检测腐蚀液中酸或碱的有效浓度，实现了在浓度因水分蒸发或反应消耗而偏移工艺范围时触发补酸或补碱动作，将浓度稳定维持在预设区间，保证批次间腐蚀效果的一致性和可重复性。

20、进一步的，本发明提供了一种处理节拍均衡化的分组集成式酸碱腐蚀方法，包括以下步骤：

21、s1：所述机械臂夹送组件将第一个承载有产品的产品篮从所述第一上料传送组件夹送至所述第一腐蚀槽组件中，经上料时间差δt的时间间隔后，所述机械臂夹送组件再将第二个承载有产品的产品篮从所述第二上料传送组件夹送至所述第二腐蚀槽组件中；

22、s2：所述第一腐蚀槽组件对第一个产品篮中的产品进行腐蚀加工，所述第二腐蚀槽组件对第二个产品篮中的产品进行腐蚀加工，所述第一腐蚀槽组件与所述第二腐蚀槽组件各自独立地选择酸性腐蚀或碱性腐蚀；

23、s3：第一个产品篮中的产品完成腐蚀加工后，所述机械臂夹送组件将所述产品篮从所述第一腐蚀槽组件夹送至所述多功能槽组件中；第二个产品篮中的产品完成腐蚀加工后，所述机械臂夹送组件将所述产品篮从所述第二腐蚀槽组件夹送至所述多功能槽组件中；

24、s4：所述多功能槽组件对被夹送至其中的产品篮进行后处理；

25、s5：所述机械臂夹送组件将完成后处理的产品篮夹送至所述第一上料传送组件或所述第二上料传送组件下料。

26、基于上述，步骤s1的有益效果为实现了两个产品篮错峰进入各自的腐蚀槽，使两侧腐蚀作业的起始时刻相互错开，为后续交替完成腐蚀并依次进入多功能槽建立时间基础，避免两侧产品在对方没完成后处理时争夺同一后处理槽位；步骤s2的有益效果为实现了在同一产线中两个产品篮能够并行经历不同腐蚀工艺路线的同步加工，既不相互等待也不相互干扰，同时满足同一批次中酸性和碱性两种腐蚀条件的灵活配置需求；步骤s3的有益效果为实现了腐蚀完工产品与后处理工序的无缝衔接，产品自腐蚀槽取出后立即被转移至密闭的多功能槽中，避免其在空气中悬停暴露，有效保障产品转移过程中的表面洁净度和加工品质；步骤s4的有益效果为实现了将传统产线中十余个分散槽体各自承担的后处理功能集中集成于单一槽位内依次完成，大幅缩减了产品在腐蚀完成后至干燥下料前的搬运路径和转移次数，同时使后处理环节的占用时间保持短周期且高度可控；步骤s5的有益效果为实现了产品从腐蚀、后处理到出料的完整流转闭环，使已完工产品及时脱离加工区域，为上料传送组件腾出空间接纳下一批待加工产品，保障产线连续循环运转。

27、进一步的，所述步骤s5中，所述多功能槽组件对被夹送至其中的产品篮进行后处理，包括喷淋清洗工序、纯水喷淋工序、超声漂洗工序、热水慢拉工序以及热风烘干工序，当所述产品篮中的产品经过碱性腐蚀加工时，所述后处理在所述纯水喷淋工序之前还包括热水喷淋工序和弱酸中和喷淋工序。

28、基于上述，喷淋清洗工序的有益效果为通过喷淋方式对腐蚀后的产品表面进行初步冲洗，实现了快速去除产品表面及产品篮上残留的大量腐蚀液，防止高浓度酸或碱液携带至后续纯水喷淋槽中造成交叉污染，同时缩短整体后处理时长；纯水喷淋工序的有益效果为使用高纯水对产品进行充分漂洗，实现了将产品表面和微孔内残留的药液离子置换并清除至工艺允许的残余量以下，保障产品表面洁净度并为后续干燥提供低离子浓度的湿润基底；超声漂洗工序的有益效果为在漂洗过程中施加超声波振动，实现了通过空化效应将产品微孔深处和表面缝隙中残余的药液、反应产物及颗粒物强制剥离并分散于漂洗液中，提升微细结构的清洗彻底性；热水慢拉工序的有益效果为将产品在热水中缓慢提升并停留一定时间，实现了利用热水对产品进行最终温浴的同时，通过慢速提拉过程中的表面张力作用使水膜均匀地从产品表面流下，减少干燥前表面水珠残留，降低后续烘干能耗并防止水渍形成；热风烘干工序的有益效果为向产品表面吹送加热后的洁净热风，实现了将产品及产品篮彻底干燥至无液态水残留，使产品达到可直接下料包装的干燥状态，完成整条产线的最终加工环节；热水喷淋工序的有益效果为在产品经过碱性腐蚀后先用热水进行喷淋冲洗，实现了快速去除产品表面黏附的高温浓碱液并提升产品本体温度，为后续弱酸中和工序提供热态过渡，避免冷热冲击对玻璃产品造成损伤，同时减少浓碱液被大量带入后续中和液中；弱酸中和喷淋工序的有益效果为使用低浓度酸性溶液对碱腐蚀后的产品进行喷淋中和处理，实现了将产品表面和微孔内残留的碱性物质通过酸碱反应转化为中性盐类并随喷淋液带走，防止碱性残留物在后续纯水喷淋和烘干过程中析出结晶或继续腐蚀产品表面。

29、进一步的，所述步骤s3中，所述第一腐蚀槽组件与所述第二腐蚀槽组件的腐蚀加工模式选自酸-酸组合、碱-碱组合或酸-碱组合中的任意一种；腐蚀加工过程中，所述抖动驱动装置间隔性地驱动所述u型架上下往复运动，同时通过所述输入管道向所述鼓泡补液一体结构输入气体，气体经各所述鼓泡流道从各所述鼓泡小孔鼓出，在所述腐蚀槽内槽体中形成鼓泡。

30、基于上述，酸-酸组合的有益效果为第一腐蚀槽组件与第二腐蚀槽组件均运行酸性腐蚀工艺，实现了同一产线中两个通道可同时并行加工两批产品的酸腐蚀需求，使两侧腐蚀时长相近，便于节拍同步和交替进入多功能槽的时序规划；碱-碱组合的有益效果为第一腐蚀槽组件与第二腐蚀槽组件均运行碱性腐蚀工艺，实现了两个产品篮同时进行碱性长周期腐蚀的并行作业，由于碱腐蚀时长显著大于后处理时长，进一步拓宽了上料间隔的调节余量，使两侧产品完工时间自然错开的概率更高；酸-碱组合的有益效果为第一腐蚀槽组件与第二腐蚀槽组件分别独立运行酸性腐蚀和碱性腐蚀，实现了在同一产线中同时进行两种不同腐蚀药液路线的并行加工，满足研发试验或小批量多品种场景下酸性和碱性腐蚀效果的直接对比需求，无需分批次单独运行，大幅提升工艺开发效率。

31、为使本发明的上述特征及其所要想达到的目的更清晰的阐述出来，下文结合附图与具体实施例来对本发明作进一步说明。