用于真空磁控溅射镀膜设备的除渣装置的制作方法

本技术涉及镀膜设备，特别涉及一种用于真空磁控溅射镀膜设备的除渣装置。

背景技术：

1、在镀膜复合玻璃生产过程中，真空磁控溅射镀膜是当前最普遍且高效的方法。其原理为：在真空环境下，以涂层材料作为阴极靶，借助氩离子轰击靶材产生阴极溅射，使靶材原子或分子溅射到玻璃板，最终形成沉积层。在镀膜过程中，玻璃板在传送辊道上进行横移传送，其中传送辊道包括间隔设置的传送辊以及位于相邻两传送辊之间的辊道底板；由于溅射离子相互碰撞，镀膜腔室内会弥漫着溅射离子并在辊道底板上堆积形成积渣。当积渣厚度超过临界值使其高于传送辊时，其积渣极易划伤玻璃板表面，直接导致产品报废。基于上述原因，亟需一种除渣装置使其能够快速高效清除辊道底板上的积渣，以保证玻璃板成品质量。

2、要说明的是，上述内容仅用于辅助理解本实用新型的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的是提出一种用于真空磁控溅射镀膜设备的除渣装置，旨在实现能够快速高效清除辊道底板上的积渣，以保证玻璃板成品质量。

2、为实现上述目的，本实用新型提出一种用于真空磁控溅射镀膜设备的除渣装置，所述真空磁控溅射镀膜设备包括传送辊道，其中所述传送辊道包括间隔设置的传送辊以及位于相邻两所述传送辊之间的辊道底板；

3、具体地，所述除渣装置包括：

4、除渣板，所述除渣板置于所述传送辊道之上；

5、所述除渣板朝向所述传送辊道的一侧设置有若干凹槽部以及凸起部，若干所述凹槽部与所述凸起部相互平行设置，且所述凹槽部的槽向与所述传送辊道的传送方向相互垂直；所述凸起部设置于所述除渣板沿其移动方向的端部位置，所述凸起部可嵌入至相邻两所述传送辊之间，以使所述除渣板能够沿所述传送辊道的传送方向进行移动的同时进行上下起伏运动。

6、在一实施方式中，所述凸起部包括若干凸起结构，若干所述凸起结构沿所述凸起部的长度方向直线阵列分布；以使每个所述凸起结构的移动方向与所述凹槽部的槽向形成十字网络结构。

7、在一实施方式中，每个所述凸起结构的截面呈倒梯形结构，所述凸起结构的底部面积相对大的一端与所述除渣板固定连接。

8、在一实施方式中，相连两所述凸起结构相互贴合连接。

9、在一实施方式中，所述凸起结构的宽度小于相邻两所述传送辊之间的间距；当所述除渣板水平放置于所述传送辊道之上时，所述凸起结构的凸起端面与所述辊道底板之间留有间隙。

10、在一实施方式中，所述凸起部设置于所述除渣板沿其移动方向的尾端端部。

11、在一实施方式中，所述除渣板设置有至少三十个所述凹槽部。

12、在一实施方式中，所述凹槽部的边角采用倒角处理。

13、在一实施方式中，所述除渣板背向所述传送辊道的一侧设置有若干减重孔，若干所述减重孔呈矩形阵列分布。

14、在一实施方式中，所述减重孔的边角采用倒角处理。

15、本实用新型的技术方案通过在除渣板朝向传送辊道的一侧设置凹槽部以及凸起部。作业时，将除渣板置于真空磁控溅射镀膜设备的传送辊道上，依靠除渣板自身重量以及根据传送辊间距设计的凸起部，随着传送辊的转动，其凸起部能够重复多次嵌入至相邻两所述传送辊之间的动作，以使除渣板在沿传送辊道的传送方向进行横向移动的同时进行上下起伏的运动；在除渣板上下起伏运动的过程中，一方面利用除渣板自重重量对高出于传送辊高度的积渣进行冲击碾压，另一方面利用凸起部嵌入至相邻两传送辊之间，对未高出于传送辊高度的积渣进行压碎。在除渣板横向移动的过程中，一方面通过设置有若干凹槽部以形成凹凸不平的除渣板表面对高出于传送辊高度的积渣进行表面刮除，另一方面利用嵌入至相邻两传动辊之间的凸起部将压碎后的积渣推移至辊道底板与传送辊的缝隙中，以对辊道底板的积渣进行清除；从而确保积渣厚度远低于传送辊的高度，实现快速高效清除辊道底板上的积渣，以保证玻璃板成品质量的技术目的。

1.一种用于真空磁控溅射镀膜设备的除渣装置，所述真空磁控溅射镀膜设备包括传送辊道，其中所述传送辊道包括间隔设置的传送辊以及位于相邻两所述传送辊之间的辊道底板；其特征在于，所述除渣装置包括：

2.如权利要求1所述的除渣装置，其特征在于：所述凸起部包括若干凸起结构，若干所述凸起结构沿所述凸起部的长度方向直线阵列分布；以使每个所述凸起结构的移动方向与所述凹槽部的槽向形成十字网络结构。

3.如权利要求2所述的除渣装置，其特征在于：每个所述凸起结构的截面呈倒梯形结构，所述凸起结构的底部面积相对大的一端与所述除渣板固定连接。

4.如权利要求2所述的除渣装置，其特征在于：相连两所述凸起结构相互贴合连接。

5.如权利要求2所述的除渣装置，其特征在于：所述凸起结构的宽度小于相邻两所述传送辊之间的间距；当所述除渣板水平放置于所述传送辊道之上时，所述凸起结构的凸起端面与所述辊道底板之间留有间隙。

6.如权利要求2至5任一项所述的除渣装置，其特征在于：所述凸起部设置于所述除渣板沿其移动方向的尾端端部。

7.如权利要求1所述的除渣装置，其特征在于：所述除渣板设置有至少三十个所述凹槽部。

8.如权利要求7所述的除渣装置，其特征在于：所述凹槽部的边角采用倒角处理。

9.如权利要求1所述的除渣装置，其特征在于：所述除渣板背向所述传送辊道的一侧设置有若干减重孔，若干所述减重孔呈矩形阵列分布。

10.如权利要求9所述的除渣装置，其特征在于：所述减重孔的边角采用倒角处理。