晶圆盒搬运装置的制作方法

本发明属于半导体生产设备，具体涉及一种晶圆盒搬运装置。

背景技术：

1、在半导体晶圆的生产和加工过程中，晶圆盒是常用的晶圆存放容器，用于承载多片晶圆以便在不同设备之间进行转移和加工。在晶圆的封装和测试等工艺环节中，晶圆需要在不同设备之间反复搬运，以完成不同的加工操作，目前晶圆盒的搬运主要有人工搬运和自动化设备搬运两种方式。

2、在传统作业模式中，晶圆盒通常由操作人员直接搬运至设备入口或上下料位置。然而，人工搬运存在诸多弊端：首先，晶圆盒本身具有一定的重量，人工搬运劳动强度大、速度慢、耗时长；其次，人工操作容易引入杂质，如人体携带的灰尘、毛发等可能污染晶圆表面，影响晶圆品质；此外，人员拿取或搬运过程中发生碰撞容易造成晶圆裂片或划伤风险，进而对后续半导体制造工艺产生不良影响，降低产品良率。同时，在人工搬运过程中产品处于不被监控状态，上层系统无法实时确定产品位置，不利于实现产品加工过程的全流程追溯。

3、在一些自动化水平较高的晶圆加工厂中，可利用自动化设备实现晶圆盒的搬运及上下料。然而，现有自动化搬运方案通常需要水平和竖直两个独立的机械模组协同完成晶圆盒的移送和升降操作，不仅占用空间较大、设备成本较高，而且结构复杂、维护不便。此外，现有的一些搬运设备无法与加工设备形成稳定的定位连接，每次搬运时都需要重新寻找定位点进行操作，耗费大量时间和精力。

4、公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本发明的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种晶圆盒搬运装置，以解决晶圆盒的稳定搬运问题。

2、为了实现上述目的，本发明一具体实施例提供一种晶圆盒搬运装置，用于将晶圆盒搬运至待接收晶圆盒设备的出入口，该晶圆盒搬运装置包括框架组件、位移机构和定位连接组件，所述框架组件包括主体框架，以及固定于所述主体框架底部的多个脚轮，所述位移机构固定于所述主体框架上，包括用于固定晶圆盒的钩爪、连接该钩爪并驱动其沿第一方向移动的第一位移组件，以及连接该第一位移组件并驱动其沿竖直方向移动的第二位移组件，所述定位连接组件包括沿第二方向延伸的滑轨，所述滑轨包括用于连接至所述设备的外轨，以及固定于所述主体框架上的内轨，所述内轨和外轨滑动连接，所述第二方向与第一方向不平行。

3、在本发明的一个或多个实施例中，所述位移机构包括底板，所述第一位移组件固定于该底板上，所述第二位移组件包括设置于所述底板下方并固定于所述主体框架上的电机，该电机连接于所述底板，并驱动其沿竖直方向移动。

4、在本发明的一个或多个实施例中，所述第二位移组件还包括固定至电机输出轴上的浮动接头，以及固定至所述底板底部的连接板，所述浮动接头设置有朝上的插孔，所述连接板的底部设置有插设于所述插孔内，且直径小于所述插孔孔径的插轴。

5、在本发明的一个或多个实施例中，所述第二位移组件还包括固定于所述主体框架上并沿竖直方向延伸的第三导轨，以及支撑于第三导轨上的抬升板，所述底板固定于该抬升板上。

6、在本发明的一个或多个实施例中，所述第二位移组件还包括沿竖直方向固定于所述第三导轨两端的两个槽型光电传感器、固定于所述抬升板上并与所述光电传感器配合的感应片，以及与所述电机和光电传感器通信连接的控制器，所述光电传感器用于在感应到所述感应片后向控制器发送感应信号，所述控制器根据该感应信号切断所述电机的运行，和/或所述第三导轨的两端分别设置有挡块。

7、在本发明的一个或多个实施例中，所述定位连接组件包括用于固定至所述设备上的定位框架，以及固定于所述定位框架上的两个第一磁铁，所述滑轨固定于该定位框架上，所述两个第一磁铁设置于所述滑轨的两端，所述主体框架上设置有能够吸附至所述第一磁铁上的第一磁吸件，该第一磁吸件的位置被设置成：当所述滑轨处于伸出状态和收回状态时，所述第一磁吸件分别吸附至滑轨两端的两个第一磁铁上。

8、在本发明的一个或多个实施例中，所述第一位移组件还包括固定于所述底板上的第一导轨，以及支撑于第一导轨上的第二导轨，所述钩爪支撑于所述第二导轨上，所述第一导轨和第二导轨均沿第一方向延伸。

9、在本发明的一个或多个实施例中，所述底板上设置有两个第二磁铁，该两个第二磁铁沿第一方向设置于所述底板上的两端，所述第二导轨上设置有可分别吸附至该两个第二磁铁的第二磁吸件。

10、在本发明的一个或多个实施例中，所述第一位移组件还包括支撑于第二导轨上的钩爪安装板，所述第二导轨上设置有两个第三磁铁，该两个第三磁铁沿第一方向设置于所述第二导轨上的两端，所述钩爪安装板上设置有可分别吸附至该两个第三磁铁的第三磁吸件，所述钩爪固定于该钩爪安装板上。

11、在本发明的一个或多个实施例中，所述钩爪枢转连接于所述钩爪安装板上，且所述钩爪安装板上设置有支撑螺丝，该支撑螺丝设置于所述钩爪和钩爪安装板连接端的下方，并抵住钩爪，所述钩爪和钩爪安装板之间连接有拉簧，和/或所述底板上位于第一导轨的两端，以及第一导轨上位于第二导轨的两端分别设置有缓冲杆，和/或所述晶圆盒上设置有固定螺丝，所述钩爪上开设有容纳该固定螺丝的卡槽。

12、与现有技术相比，本发明的晶圆盒搬运装置在固定晶圆盒后可以同时在水平面和竖直方向上移动，从而实现晶圆盒在待接收晶圆盒设备和传输线等载具之间的转移。该晶圆盒搬运装置结构简单体积小，可随时固定至待接收晶圆盒设备上，或者随时从设备上拆下，对于较重的晶圆盒单人即可操作搬运，灵活性和稳定性较高。

1.一种晶圆盒搬运装置，用于将晶圆盒搬运至待接收晶圆盒设备的出入口，其特征在于，所述晶圆盒搬运装置包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述位移机构包括底板，所述第一位移组件固定于该底板上，所述第二位移组件包括设置于所述底板下方并固定于所述主体框架上的电机，该电机连接于所述底板，并驱动其沿竖直方向移动。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述第二位移组件还包括固定至电机输出轴上的浮动接头，以及固定至所述底板底部的连接板，所述浮动接头设置有朝上的插孔，所述连接板的底部设置有插设于所述插孔内，且直径小于所述插孔孔径的插轴。

4.根据权利要求2所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述第二位移组件还包括固定于所述主体框架上并沿竖直方向延伸的第三导轨，以及支撑于第三导轨上的抬升板，所述底板固定于该抬升板上。

5.根据权利要求4所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述第二位移组件还包括沿竖直方向固定于所述第三导轨两端的两个槽型光电传感器、固定于所述抬升板上并与所述光电传感器配合的感应片，以及与所述电机和光电传感器通信连接的控制器，所述光电传感器用于在感应到所述感应片后向控制器发送感应信号，所述控制器根据该感应信号切断所述电机的运行；和/或

6.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述定位连接组件包括用于固定至所述设备上的定位框架，以及固定于所述定位框架上的两个第一磁铁，所述滑轨固定于该定位框架上，所述两个第一磁铁设置于所述滑轨的两端，所述主体框架上设置有能够吸附至所述第一磁铁上的第一磁吸件，该第一磁吸件的位置被设置成：当所述滑轨处于伸出状态和收回状态时，所述第一磁吸件分别吸附至滑轨两端的两个第一磁铁上。

7.根据权利要求2所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述第一位移组件还包括固定于所述底板上的第一导轨，以及支撑于第一导轨上的第二导轨，所述钩爪支撑于所述第二导轨上，所述第一导轨和第二导轨均沿第一方向延伸。

8.根据权利要求7所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述底板上设置有两个第二磁铁，该两个第二磁铁沿第一方向设置于所述底板上的两端，所述第二导轨上设置有可分别吸附至该两个第二磁铁的第二磁吸件。

9.根据权利要求8所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述第一位移组件还包括支撑于第二导轨上的钩爪安装板，所述第二导轨上设置有两个第三磁铁，该两个第三磁铁沿第一方向设置于所述第二导轨上的两端，所述钩爪安装板上设置有可分别吸附至该两个第三磁铁的第三磁吸件，所述钩爪固定于该钩爪安装板上。

10.根据权利要求9所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述钩爪枢转连接于所述钩爪安装板上，且所述钩爪安装板上设置有支撑螺丝，该支撑螺丝设置于所述钩爪和钩爪安装板连接端的下方，并抵住钩爪，所述钩爪和钩爪安装板之间连接有拉簧；和/或