一种晶圆清洗干燥设备的制作方法

本申请属于晶圆生产设备，尤其是涉及一种晶圆清洗干燥设备。

背景技术：

1、晶圆在各制程环节中不可避免地与有机物、粒子及金属杂质等污染物接触。这些污染物会附着于表面，因此在每道工序后均需进行清洗处理。再通过引入异丙醇蒸汽来带走晶圆表面残留的去离子水可以有效防止水印缺陷的产生。

2、晶圆清洗干燥设备是一种同时能够完成清洗和干燥的设备，清洗槽设置在底部，清洗槽上方为干燥工位，但是干燥工位是开放式结构，导致干燥气体要充满整个晶圆清洗干燥设备的内部空间，进而导致异丙醇的使用量较大，干燥效率较低。

技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种干燥效率高的晶圆清洗干燥设备。

2、本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种晶圆清洗干燥设备，包括：

4、外槽体，所述外槽体内设置有清洗槽；

5、盖体，用于密封所述外槽体的开口；

6、围绕所述清洗槽外壁设置有隔板，所述隔板的设置高度低于所述清洗槽顶部开口的高度；

7、所述外槽体内设置有干燥气体喷管，所述干燥气体喷管位于所述隔板上方的区域。

8、优选地，本发明的晶圆清洗干燥设备，所述外槽体两个相对的内壁上设置有安装板，所述安装板上设置有支撑块，所述支撑块上设置有定位块，所述定位块上设置有开口向上的定位槽，所述清洗槽的外壁上设置有横向设置的定位杆，所述定位杆放置在所述定位槽中。

9、优选地，本发明的晶圆清洗干燥设备，所述定位槽开口处设置有固定件。

10、优选地，本发明的晶圆清洗干燥设备，所述支撑块上设置有第一安装孔和第二安装孔，螺钉穿过第一安装孔将支撑块与安装板连接；螺钉穿过第二安装孔和定位块上的第三安装孔将支撑块与定位块连接。

11、优选地，本发明的晶圆清洗干燥设备，第三安装孔为长腰孔。

12、优选地，本发明的晶圆清洗干燥设备，两个所述定位块的两侧还分别安装有两块搭接板。

13、优选地，本发明的晶圆清洗干燥设备，所述清洗槽外壁上成型有凸出部，凸出部至少设置所述清洗槽的两个相对的外壁上，所述隔板为四块，分别通过螺钉安装到两个所述定位块以及两个相对边的所述凸出部上。

14、优选地，本发明的晶圆清洗干燥设备，所述隔板的顶面为斜面，所述隔板的顶面的高度向着远离所述清洗槽的方向逐渐减小。

15、优选地，本发明的晶圆清洗干燥设备，所述干燥气体喷管为若干根，若干根所述干燥气体喷管沿高度方向排布。

16、优选地，本发明的晶圆清洗干燥设备，所述安装板焊接在所述外槽体的内壁上，且位于同一侧的所述外槽体的内壁上的所述安装板分为若干段。

17、本发明的有益效果是：

18、（一）本发明提供的晶圆清洗干燥设备，围绕所述清洗槽外壁设置有隔板，通过设置隔板将外槽体的内部空间分割成两部分，干燥气体被集中在隔板的上方，使得干燥气体不会大量流动到分隔板的下方，降低了干燥气体的流动空间，提高了干燥气体的使用效率。

19、（二）清洗槽通过"安装板—支撑块—定位块—定位槽"的承托结构与横向定位杆配合，定位杆自上而下落入开口向上的定位槽后即在水平方向（横向与纵向）同时受约束，完成清洗槽在外槽体内的定位；定位槽开口向上，安装时只需将清洗槽由上向下落放，无需在槽底另设支撑座或对准紧固件，装配简便。

20、该连接为可拆卸的分体式连接，清洗槽可整体吊出单独清洗、检修或更换，便于日常维护，也便于在同一外槽体内更换不同规格的清洗槽。安装板与定位块之间经支撑块转接，使清洗槽及其清洗液载荷沿"定位杆→定位槽→定位块→支撑块→安装板→外槽体内壁"逐级传递至外槽体，受力路径明确、承载可靠，避免清洗槽底部集中承载影响槽体结构强度。定位块同时作为隔板的安装基座，一个零件兼顾"承托定位清洗槽"与"安装隔板"两项功能，减少零件数量与装配工序。

21、（三）定位杆落入定位槽后，固定件封闭槽口，限制定位杆沿开口方向脱出，将清洗槽可靠锁定在定位槽内。在升降机构动作引起的振动、以及清洗液注入/排出时液流对清洗槽的冲击下，清洗槽不会跳动或错位，保证清洗槽与外槽体、隔板之间的相对位置稳定，进而保证隔板分隔出的干燥空间不被破坏，使"干燥气体被集中限制在隔板上方"的效果得以持续保持。固定件可拆卸，既可靠锁定又不妨碍清洗槽吊出与复位，兼顾定位可靠性与可维护性。

22、（四）支撑块以两组独立安装孔分别连接安装板与定位块，成为两者间的过渡连接件；装配时可分别调整支撑块相对安装板、定位块相对支撑块的位置，从而降低安装板焊接位置偏差与各零件制造公差对最终装配的影响，容差能力提高、装配可调性增强。采用螺钉可拆卸连接，便于装配、调整与后期更换；与焊接相比，避免焊接热输入引起零件变形而影响定位精度。连接与承载集中于支撑块一个零件，结构紧凑、装配工序少，且支撑块损坏时可单独更换而不影响安装板与定位块。

23、（五）长腰孔为定位块相对支撑块提供沿孔长方向的调节余量，安装时可微调定位块及其上隔板相对清洗槽的位置，补偿安装板焊接偏差与制造公差。

24、（六）两块搭接板与两个定位块首尾相接围成环绕清洗槽外壁的框架，使原本独立的两个定位块相互约束、彼此定位，防止其在清洗槽载荷或设备振动下偏移，提高清洗槽定位稳定性。

25、（七）凸出部与清洗槽外壁一体成型，无需增加零件即提供隔板螺钉连接的着力部位，避免直接在槽壁攻丝而削弱槽壁厚度、影响结构强度与密封性能。

26、（八）落在隔板顶面或在其上凝结的液体（清洗液、冷凝异丙醇等）可沿斜面自动向远离清洗槽一侧流下，避免液体在隔板上方积存，保持顶面干燥。

27、（九）若干喷管沿高度排布，在晶圆高度方向形成覆盖全高的气幕，避免出现喷不到的盲区，使晶圆表面各处获得基本一致的干燥气体供给。

28、（十）安装板焊接固定，无需在外槽体壁板开连接孔，避免开孔影响外槽体密封性与结构强度；分段后单段长度小，便于减少材料。

1.一种晶圆清洗干燥设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗干燥设备，其特征在于，所述外槽体（1）两个相对的内壁上设置有安装板（140），所述安装板（140）上设置有支撑块（141），所述支撑块（141）上设置有定位块（151），所述定位块（151）上设置有开口向上的定位槽（1511），所述清洗槽（111）的外壁上设置有横向设置的定位杆（1115），所述定位杆（1115）放置在所述定位槽（1511）中。

3.根据权利要求2所述的晶圆清洗干燥设备，其特征在于，所述定位槽（1511）开口处设置有固定件（1512）。

4.根据权利要求2所述的晶圆清洗干燥设备，其特征在于，所述支撑块（141）上设置有第一安装孔（1411）和第二安装孔（1412），螺钉穿过第一安装孔（1411）将支撑块（141）与安装板（140）连接；螺钉穿过第二安装孔（1412）和定位块（151）上的第三安装孔（1514）将支撑块（141）与定位块（151）连接。

5.根据权利要求4所述的晶圆清洗干燥设备，其特征在于，所述第三安装孔（1514）为长腰孔。

6.根据权利要求4所述的晶圆清洗干燥设备，其特征在于，两个所述定位块（151）的两侧还分别安装有两块搭接板（1513）。

7.根据权利要求2所述的晶圆清洗干燥设备，其特征在于，所述清洗槽（111）外壁上成型有凸出部（1114），所述凸出部（1114）至少设置所述清洗槽（111）的两个相对的外壁上，所述隔板（161）为四块，分别通过螺钉安装到两个所述定位块（151）以及两个相对边的所述凸出部（1114）上。

8.根据权利要求1所述的晶圆清洗干燥设备，其特征在于，所述隔板（161）的顶面为斜面，所述隔板（161）的顶面的高度向着远离所述清洗槽（111）的方向逐渐减小。

9.根据权利要求1所述的晶圆清洗干燥设备，其特征在于，所述干燥气体喷管（121）为若干根，若干根所述干燥气体喷管（121）沿高度方向排布。

10.根据权利要求1所述的晶圆清洗干燥设备，其特征在于，所述安装板（140）焊接在所述外槽体（1）的内壁上，且位于同一侧的所述外槽体（1）的内壁上的所述安装板（140）分为若干段。