一种镀镍装置的制作方法

本技术涉及半导体加工，尤其涉及一种镀镍装置。

背景技术：

1、在设备零部件制造领域尤其是工艺设备方面，铝合金以其加工方便、密度低、强度高等优势，成为各类精密零部件的优先选择。由于半导体制程涉及较多的真空腔体，所以在半导体精密零部件上会设置有很多凹槽结构，用于一些密封圈或者导电线圈的布置，但是常规设计中，直接使用裸铝面作为接触面，会导致铝制加工件表面出现划痕。

2、为克服铝合金表面硬度、耐磨损性能的不足，或生产工艺中需求的导电导热性能，安装密封圈特殊的需求位置上通，通常会设计增加一层均匀的镍层来增加耐磨性能和导电性能，从而提升铝制产品相关性能。

3、刷镀镍工艺是电刷镀的一种，借助电化学方法,以浸满镀液的镀头为阳极,使金属离子在负极(工件)表面上也就是铝制加工件上放电结晶,形成金属覆盖层的工艺过程。镀头一般设计为不溶性阳极,镀镍液采用有机络合物的含镍金属盐水溶液,刷镀时镀头与工件表面接触且不断地移动。此时溶液中的金属离子在零件表面与阳极相接触的各点上发生放电结晶，并随时间增长逐渐加厚，在电流及化学液的双重作用下，持续反应最终在表面上累积生长形成一层致密的镍层材料。

4、但由于铝制加工件上的凹槽结构相对比较微小且复杂，常规刷镀镍工艺很难保证槽底的镍层质量，现有技术下直接采用方形刷块对待加工工件进行大面积覆盖，促成工件的表面结晶，但是由于凹槽的结构限制，凹槽底部距离刷头较远，导致凹槽底部结晶较薄，最终成膜并不均匀，导致密封效果较正常位置波动较大，最终导致产品质量差异。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种镀镍装置，解决现有技术下刷头无法刷到凹槽底部，导致最终成膜并不均匀的问题。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：本实用新型提供一种镀镍装置，包括刷板，所述刷板上在移动方向的两端安装有导向组件，所述导向组件两侧与零件凹槽的内壁抵接，所述导向组件下侧与所述凹槽底部抵接，所述刷板下端与所述凹槽底部之间形成间隙，所述刷板下侧形成有镀头，所述镀头上沾有镀镍液，所述刷板与电源正极连接。

3、作为优选地，所述刷板中段安装有辅助件，所述辅助件与所述凹槽的底面抵接。

4、作为优选地，所述导向组件包括前导向锥，垂直于零件上表面进行投影，所述前导向锥的呈三角型，所述前导向锥的两边抵接在所述凹槽的侧壁上。

5、作为优选地，所述导向组件还包括后导向锥，垂直于零件上表面进行投影，所述后导向锥呈三角形，所述后导向锥的两边抵接在所述凹槽的侧壁上。

6、作为优选地，所述刷板的材质为钛合金或不锈钢。

7、作为优选地，所述刷板的厚度为0.4~0.8mm。

8、作为优选地，所述导向组件的材质为特氟龙。

9、作为优选地，所述前导向锥上设置有第一安装槽，所述后导向锥上设置有第二安装槽，所述刷板的两端插接在第一安装槽和第二安装槽内。

10、作为优选地，所述刷板与所述凹槽底部之间的间隙为2-3mm。

11、作为优选地，所述辅助件的材质为特氟龙，所述辅助件开设有第三安装槽，所述刷板插接在所述第三安装槽内。

12、有益效果：通过设置刷板使刷板插接在零件的凹槽内，刷板下侧的镀头就会与凹槽底部发生电化学反应，能够在零件的凹槽底部进行结晶，提升凹槽底部的刷镍效果。

1.一种镀镍装置，其特征在于，包括刷板(1)，所述刷板(1)上在移动方向的两端安装有导向组件，所述导向组件两侧与零件(4)的凹槽(41)的内壁抵接，所述导向组件下侧与所述凹槽(41)底部抵接，所述刷板(1)下端与所述凹槽(41)底部之间形成间隙，所述刷板(1)下侧形成有镀头(11)，所述镀头(11)上沾有镀镍液，所述刷板(1)与电源正极连接。

2.根据权利要求1所述的镀镍装置，其特征在于，所述刷板(1)中段安装有辅助件(5)，所述辅助件(5)与所述凹槽(41)的底面抵接。

3.根据权利要求1所述的镀镍装置，其特征在于，所述导向组件包括前导向锥(2)，垂直于零件(4)上表面进行投影，所述前导向锥(2)的呈三角型，所述前导向锥(2)的两边抵接在所述凹槽(41)的侧壁上。

4.根据权利要求3所述的镀镍装置，其特征在于，所述导向组件还包括后导向锥(3)，垂直于零件(4)上表面进行投影，所述后导向锥(3)呈三角形，所述后导向锥(3)的两边抵接在所述凹槽(41)的侧壁上。

5.根据权利要求1所述的镀镍装置，其特征在于，所述刷板(1)的材质为钛合金或不锈钢。

6.根据权利要求1所述的镀镍装置，其特征在于，所述刷板(1)的厚度为0.4~0.8mm。

7.根据权利要求1所述的镀镍装置，其特征在于，所述导向组件的材质为特氟龙。

8.根据权利要求4所述的镀镍装置，其特征在于，所述前导向锥(2)上设置有第一安装槽，所述后导向锥(3)上设置有第二安装槽，所述刷板(1)的两端插接在第一安装槽和第二安装槽内。

9.根据权利要求1所述的镀镍装置，其特征在于，所述刷板(1)与所述凹槽(41)底部之间的间隙为2-3mm。

10.根据权利要求2所述的镀镍装置，其特征在于，所述辅助件(5)的材质为特氟龙，所述辅助件(5)开设有第三安装槽，所述刷板(1)插接在所述第三安装槽内。