带电粒子光学模块的制作方法

本发明涉及带电粒子光学模块、多个带电粒子光学设备、带电粒子光学装置、评估装置以及用于制造带电粒子光学模块的方法。

背景技术：

1、例如，在半导体集成电路（ic）芯片或显示器的制造工艺期间，衬底（例如晶片）或掩模上可能会出现不期望的缺陷。此类缺陷可能会减少成品率。缺陷可能由于生产集成电路或显示器所需的各种工艺而出现，例如光刻、蚀刻、沉积或化学机械抛光。

2、缺陷可以包括图案形成缺陷，其中所创建的图案超出该工艺的图案容差，以及粒子。因此，在制造工艺期间监测缺陷的程度是重要的。此类监测（或更一般地评估）包括确定缺陷的存在，还包括对所发现的缺陷类型进行分类。

3、对于样品的评估，已使用不同类型的检查或计量系统，包括带电粒子系统（诸如电子显微镜）。此类用于检查的评估可以涉及缺陷，例如此类缺陷的存在和分类。电子显微镜通常生成探测束（也常称为初级束），该探测束例如可以跨衬底的一部分被扫描（诸如在扫描电子显微镜（sem）中）。收集由初级束与衬底的该部分的相互作用而产生的相互作用产物，电子显微镜能够收集表示衬底被探测部分的数据。

4、该数据例如可以由电子显微镜处理/渲染，以生成衬底的该部分的图像表示。收集到的数据（例如以所生成的图像表示形式）允许测量衬底的该部分上的结构，或者允许通过将图像表示与参考图像进行比较来标识缺陷性结构。此类测量可以被称为计量；此类缺陷检查可以被称为检查。相互作用产物可以包含带电粒子，其可以被称为信号粒子，（例如信号电子），诸如次级电子和背散射电子，并且可以包含其他相互作用产物，例如x射线辐射。

5、初级束可以源自由源发射的源束。可以提供多个源。可能难以对准源的各种部件。期望减少执行对准所需要的时间。

技术实现思路

1、根据本发明的一个方面，提供了一种用于多个带电粒子光学设备的带电粒子光学模块，该带电粒子光学设备被配置为沿着相应的束路径将带电粒子束引导朝向样品位置，该带电粒子光学模块包括：至少一个发射器，被布置在发射器层的发射表面处，每个发射器被配置为发射用于源束的带电粒子；用于该至少一个发射器的至少一个提取器电极，其中该至少一个提取器电极是平面的，并且在每个提取器电极中限定用于由相应的发射器发射的带电粒子的束孔径；以及间隔件，被配置为将每个提取器电极与该发射表面间隔开，其中该间隔件是电绝缘体，并且包括位于该提取器电极与该发射表面之间的绝缘体表面，其中该绝缘体表面的至少一部分相对于垂直于该发射表面的方向成角度。

2、根据本发明的另一方面，提供一种用于制造带电粒子光学模块的方法，该带电粒子光学设备被配置为沿着束路径将带电粒子束引导朝向样品位置，该方法包括：在发射器层的发射表面处布置至少一个发射器，每个发射器被配置为发射用于源束的带电粒子；在用于该至少一个发射器的至少一个提取器电极中的每一者中限定用于由相应的发射器发射的带电粒子的束孔径，其中该至少一个提取器电极是平面的；以及用间隔件将每个提取器电极与该发射表面间隔开，其中该间隔件是电绝缘体并且包括位于该提取器电极与该发射表面之间的绝缘体表面，其中该绝缘体表面的至少一部分相对于垂直于该发射表面的方向成角度。

1.一种带电粒子光学模块，用于多个带电粒子光学设备，所述多个带电粒子光学设备被配置为沿着相应的束路径将带电粒子束引导朝向样品位置，所述带电粒子光学模块包括：

2.根据权利要求1所述的带电粒子光学模块，其中所述绝缘体表面为阶梯状的。

3.根据权利要求1或2所述的带电粒子光学模块，其中所述至少一个提取器电极相对于所述至少一个发射器对准。

4.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子光学模块，包括多个发射器。

5.根据权利要求4所述的带电粒子光学模块，包括用于所述多个发射器的多个提取器电极。

6.根据权利要求4或5所述的带电粒子光学模块，包括用于所述多个发射器的多个间隔件。

7.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子光学模块，其中所述间隔件包括多个间隔件层，所述多个间隔件层由不同材料形成。

8.根据权利要求7所述的带电粒子光学模块，其中所述间隔件层中的至少一者包括二氧化硅。

9.根据权利要求7或8所述的带电粒子光学模块，其中所述间隔件层中的至少一者包括氧化铪。

10.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子光学模块，其中所述至少一个提取器电极是非磁性的。

11.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子光学模块，包括：

12.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子光学模块，包括：

13.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子光学模块，其中所述绝缘体表面在所述绝缘体表面的发射表面端处与由所述发射器发射的所述带电粒子的束路径的轴线之间的距离大于所述绝缘体表面在所述绝缘体表面的提取器电极端处与所述轴线之间的距离。

14.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子光学模块，其中所述间隔件是平面的。

15.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子光学模块，其中所述至少一个发射器包括雪崩二极管结构。