带电粒子光学模块的制作方法

本发明涉及带电粒子光学模块、多个带电粒子光学设备、带电粒子光学装置、评估装置以及用于操作带电粒子光学模块的方法。

背景技术：

1、例如，在半导体集成电路（ic）芯片或显示器的制造工艺期间，衬底（例如晶片）或掩模上可能会出现不期望的缺陷。此类缺陷可能会减少成品率。缺陷可能由于生产集成电路或显示器所需的各种工艺而出现，例如光刻、蚀刻、沉积或化学机械抛光。缺陷可以包括图案形成缺陷，其中所创建的图案超出该工艺的图案容差，以及粒子。因此，在制造工艺期间监测缺陷的程度是重要的。此类监测（或更一般地，评估）包括确定缺陷的存在，还包括对所发现的缺陷类型进行分类。

2、对于样品的评估，已使用不同类型的检查或计量系统，包括带电粒子系统（诸如电子显微镜）。此类用于检查的评估可以涉及缺陷，例如此类缺陷的存在和分类。电子显微镜通常生成探测束（也常称为初级束），该探测束例如可以跨衬底的一部分被扫描（诸如在扫描电子显微镜（sem）中）。收集由初级束与衬底的该部分的相互作用而产生的相互作用产物，电子显微镜能够收集表示衬底被探测部分的数据。该数据例如可以由电子显微镜处理/渲染，以生成衬底的该部分的图像表示。收集到的数据（例如以所生成的图像表示形式）允许测量衬底的该部分上的结构，或者允许通过将图像表示与参考图像进行比较来标识缺陷性结构。此类测量可以被称为计量；此类缺陷检查可以被称为检查。相互作用产物可以包含带电粒子，其可以被称为信号粒子，（例如信号电子），诸如次级电子和背散射电子，并且可以包含其他相互作用产物，例如x射线辐射。

3、初级束可以源自由源发射的源束。期望使源更紧凑，而不过度地增大电击穿的风险。

技术实现思路

1、根据本发明的一个方面，提供了一种用于带电粒子光学设备的带电粒子光学模块，该带电粒子光学设备被配置为沿着相应的束路径将带电粒子束引导朝向样品位置，该带电粒子光学模块包括：多个发射器，被配置为发射相应的带电粒子源束；多个带电粒子光学板元件，被配置为对该源束进行操作并且限定用于该源束通过的多个束孔径，其中该带电粒子光学板元件中的至少一者为多个该发射器所共有的；以及间隔件，被配置为将该带电粒子光学板元件中的两者彼此间隔开，其中该间隔件包括至少一个接合表面，该接合表面与该带电粒子光学板元件中的一者接合，该接合表面是平面的。

2、根据本发明的另一个方面，提供了一种用于带电粒子光学设备的带电粒子光学模块，该带电粒子光学装置被配置为沿着相应的束路径将带电粒子束引导朝向样品位置，该带电粒子光学模块包括：发射器，被配置为发射带电粒子的源束；多个带电粒子光学板元件，被配置为对该源束进行操作并且限定用于该源束通过的多个束孔径；以及间隔件，被配置为使该带电粒子光学板元件中的两者彼此间隔开，其中该间隔件包括至少一个接合表面，该接合表面与该带电粒子光学板元件中的一者接合，该接合表面是平面的。

3、根据本发明的另一个方面，提供了一种用于操作带电粒子光学模块的方法，该带电粒子光学模块用于带电粒子光学设备，被配置为沿着相应的束路径将带电粒子束引导朝向样品位置，该方法包括：从相应的发射器发射带电粒子的源束；以及利用多个带电粒子光学板元件对该源束进行操作，该带电粒子光学板元件限定用于该源束通过的多个束孔径，其中该带电粒子光学板元件中的至少一者为多个该发射器所共有的；其中该带电粒子光学板元件中的两者由间隔件彼此间隔开，其中该间隔件包括至少一个接合表面，该接合表面与该带电粒子光学板元件中的一者接合，该接合表面是平面的。

4、根据本发明的另一个方面，提供了一种用于操作带电粒子光学模块的方法，该带电粒子光学模块用于带电粒子光学设备，被配置为沿着相应的束路径将带电粒子束引导朝向样品位置，该方法包括：从发射器发射带电粒子的源束；以及利用多个带电粒子光学板元件对该源束进行操作，该带电粒子光学板元件限定用于该源束通过的多个束孔径；其中该带电粒子光学板元件中的两者由间隔件彼此间隔开，其中该间隔件包括至少一个接合表面，该接合表面与该带电粒子光学板元件中的一者接合，该接合表面是平面的。

1.一种带电粒子光学模块，用于带电粒子光学设备，所述带电粒子光学设备被配置为沿着相应的束路径将带电粒子束引导朝向样品位置，所述带电粒子光学模块包括：

2.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子光学模块，其中所述接合表面基本上平行于与所述接合表面接合的所述带电粒子光学板元件。

3.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子光学模块，其中所述接合表面在所述间隔件的上游端或下游端。

4.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子光学模块，其中所述间隔件包括两个接合表面，所述两个接合表面与所述间隔件彼此间隔开的两个所述带电粒子光学板元件接合。

5.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子光学模块，其中所述间隔件包括绝缘体表面，所述绝缘体表面在所述间隔件彼此间隔开的两个所述带电粒子光学板元件之间，其中所述绝缘体表面的至少一部分相对于垂直于所述两个带电粒子光学板元件的方向成角度。

6.根据权利要求5所述的带电粒子光学模块，其中所述绝缘体表面是台阶状的。

7.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子光学模块，其中所述间隔件是平面的。

8.根据权利要求7所述的带电粒子光学模块，其中所述间隔件基本上是圆盘形的。

9.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子光学模块，包括多个间隔件，每个间隔件被配置为将相同的两个所述带电粒子光学板元件彼此间隔开，并且包括至少一个接合表面，所述至少一个接合表面与所述带电粒子光学板元件中的一者接合，所述接合表面是平面的。

10.根据权利要求9所述的带电粒子光学模块，其中所述间隔件被布置在共同平面中。

11.根据权利要求9或10所述的带电粒子光学模块，其中所述间隔件与限定在所述两个带电粒子光学板元件中的所述束孔径相距至少阈值距离。

12.根据权利要求9至11中的任一项所述的带电粒子光学模块，其中所述间隔件与由所述两个带电粒子光学板元件限定的所述束孔径相距基本上相同的距离。

13.根据权利要求9至12中的任一项所述的带电粒子光学模块，其中所述间隔件被布置为：使得邻近间隔件彼此相距基本上相同的距离。

14.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子光学模块，其中透气件被限定在所述带电粒子光学板元件中的一者或多者中，所述透气件被配置为提供通过所述带电粒子光学板元件的气体传导，所述气体传导用于在所述带电粒子光学模块内维持真空。

15.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子光学模块，所述带电粒子光学板元件的至少一者包括特征件，所述特征件位于束孔径和所述间隔件之间，被配置为减少从所述束孔径到达所述间隔件的带电粒子。