带电粒子光学模块的制作方法

本发明涉及带电粒子光学模块、多个带电粒子光学设备、带电粒子光学装置、评估装置、用于提供源束的方法、组装带电粒子光学模块的方法以及多源模块。

背景技术：

1、例如，在半导体集成电路（ic）芯片或显示器的制造工艺中，不期望的缺陷可能出现在衬底（例如晶片）或者掩模上。此类缺陷可以会降低良率。缺陷可能作为生产集成电路或者显示器所需的各种工艺（例如光刻、蚀刻、沉积或者化学机械抛光）的后果出现。缺陷可以包括图案化缺陷（其中所创建的图案超出了工艺的图案容差）和颗粒物。因此，在制造工艺中监测缺陷的程度是重要的。此类监测（或者更一般地评估）不仅包括对是否存在缺陷的确定，还包括对所发现缺陷的类型进行分类。

2、为了对样品进行评估，不同类型的检查或量测系统已经被使用，包括带电粒子系统（诸如电子显微镜）。此类用于检查的评估可能与缺陷有关，例如此类缺陷的存在和对此类缺陷的分类。电子显微镜通常生成例如可以在衬底的一部分上进行扫描（诸如在扫描电子显微镜（sem）中）的探测束（也常被称为初级束）。收集初级束与衬底的该部分的相互作用所产生的相互作用产物，使电子显微镜能够收集表示衬底被探测部分的数据。数据可以通过例如电子显微镜被处理/渲染，以生成衬底的该部分的图像表示。所收集的数据（例如所生成的图像表示）允许对衬底的该部分上的结构进行测量，或者允许通过将图像表示与参考进行比较来识别缺陷性结构。此类测量可以被称为量测；此类缺陷检查可以被称为检查。相互作用产物可以包括诸如次级电子和背散射电子等可以称为信号粒子（例如信号电子）的带电粒子，并且可以包括诸如x射线辐射之类的其他相互作用产物。

3、初级束可以从由源所发射的源束导出。多个源可以被设置。对准源的各种部件可以是困难的。期望减少执行对准所要求的时间和精力。

技术实现思路

1、根据本发明的一个方面，提供了用于多个带电粒子光学设备的带电粒子光学模块，被配置为将带电粒子束沿相应的束路径引导向样品位置，该带电粒子光学模块包括：多个发射器，该多个发射器被配置为沿相应的源路径发射带电粒子的相应的源束；以及多个带电粒子光学板元件，该多个带电粒子光学板元件被配置为对源束进行操作，并且被配置用于源束的通过的多个束孔径被限定在其中，其中至少一个带电粒子光学板元件为多个发射器所共用，其中带电粒子光学板元件包括被配置为对源束进行单独操作的提取器布置。

2、根据本发明的另一方面，提供了用于为被配置为沿着相应的束路径将带电粒子束引导至样品位置的多个带电粒子光学设备提供源束的方法，该方法包括：从多个发射器沿着相应的源路径发射带电粒子的相应的源束；以及用多个带电粒子光学板元件对源束进行操作，被配置用于源束的通过的多个束孔径被限定在其中，其中带电粒子光学板元件中的至少一个带电粒子光学板元件为多个发射器所共用，其中操作包括利用带电粒子光学板元件的提取器布置对源束进行单独操作。

3、根据本发明的另一方面，提供了组装被配置为将带电粒子束沿相应的束路径引导向样品位置的用于带电粒子光学设备的带电粒子光学模块的方法，该带电粒子光学模块包括：用于发射源束的多个发射器，用于对由发射器所发射的带电粒子进行操作的多个带电粒子光学板元件，以及被交织在邻接的带电粒子光学板元件之间的间隔件，用于支撑并且电隔离带电粒子光学板元件，包括在叠层中的带电粒子光学板元件和间隔件，该方法包括：将叠层的元件相对于发射器对准，并且将叠层的元件彼此固定，并且将该叠层固定至发射器。

4、根据本发明的另一方面，提供了用于多柱电子束系统的多源模块，该模块包括：被配置为发射相应的电子的源束的多个发射器，以及被配置对源束进行操作的多个板电极，被限定在不同板电极中的多个束孔径；两个或更多板电极为发射器中的多于一个发射器所共用。

1. 一种用于多柱电子束系统的多源模块，所述模块包括：

2.根据权利要求1所述的多源模块，其中所述多个板电极包括提取器层，所述提取器层被配置为对不同的源束进行单独操作。

3.根据权利要求1或2所述的多源模块，还包括间隔件，所述间隔件被配置为支撑并且隔离所述板电极。

4.根据权利要求3所述的多源模块，其中所述间隔件被配置为具有相对于所述束路径的相应位置，所述间隔件使得所述提取器层能够被局部成形，以对不同的所述源束进行单独操作。

5.根据权利要求3或4所述的多源模块，其中所述间隔件的位置被配置为：在操作期间，使所述提取器层在热负载下成形。

6.根据权利要求4或5所述的多源模块，还包括致动器，所述致动器被配置为致动对所述提取器的局部成形。

7.根据权利要求3至6中的任一项所述的多源模块，所述间隔件是平面的、圆盘形的、和/或具有阶梯式边缘。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的多源模块，其中所述提取器层包括为多个所述源束所共用的提取器电极。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的多源模块，其中所述提取器层包括不同的提取器电极，所述不同的提取器电极用于不同的源束。

10.根据权利要求9所述的多源模块，其中所述不同的提取器电极是能够独立控制的。

11.根据权利要求9或10所述的多源模块，其中所述间隔件相对于所述束路径的位置在所述提取器层上，期望地至少三个间隔件支撑相应的提取器电极。

12.根据权利要求1至11中的任一项所述的多源模块，其中透气孔被限定在一个或多个平面电极中，所述透气孔被配置为提供穿过叠层的传导，所述叠层包括多个电极板，所述传导用于在所述多源模块内维持真空。