检查方法与流程

1.本发明涉及检查方法。


背景技术：

2.在液晶显示装置或有机el显示装置等中使用的偏振板通常通过由两张保护膜夹着偏振片而构成。为了将偏振板粘贴于显示装置，在一方的保护膜层叠有粘合剂层，并进一步在粘合剂层层叠有剥离膜。另外，大多在另一方的保护膜也贴合有保护其表面的剥离膜(表面保护膜)。偏振板在像这样层叠有剥离膜的状态下流通搬运，并在显示装置的制造工序中对显示装置进行贴合时剥离剥离膜。
3.然而，对于偏振板而言，在其制造阶段中存在异物混入偏振片与保护膜之间、残留有气泡、或者在保护膜具有相位差膜的功能时内部具有取向缺陷的情况(以下，有时将这些异物、气泡以及取向缺陷统称为“缺陷”)。在将存在缺陷的偏振板贴合于显示装置的情况下，存在该缺陷的部位被视觉辨认为亮点、图像在缺陷的部位看上去变形的情况。特别是，被视觉辨认为亮点的缺陷在该显示装置的黑显示时容易被视觉辨认到。
4.因此，在将偏振板贴合于显示装置的前阶段(具备剥离膜的状态下的偏振板)中，进行用于对该偏振板的缺陷进行检测的检查。该缺陷的检查通常是利用了偏振板的偏振轴的光检查。具体而言，如专利文献1所示，在作为被检查物的偏振板与光源之间设置偏振滤光片，在此基础上，使该偏振板或偏振滤光片在平面方向上旋转，将它们各自的偏振轴方向设为特定的关系。在偏振轴方向彼此相互正交的情况下(即构成正交尼科耳状态(日文：
クロスニコル
)的配置的情况下)，通过了偏振滤光片的直线偏振光不通过偏振板。然而，若偏振板存在缺陷，则直线偏振光会在该部位透过，因此该光被检测出，从而可知缺陷的存在。另一方面，在偏振板与偏振滤光片的偏振轴方向彼此平行的情况下，通过了偏振滤光片的直线偏振光透过偏振板。然而，若偏振板存在缺陷，则直线偏振光在该部位被阻断，因此检测不到该光，从而可知缺陷的存在。由检查者通过目视对透过偏振板而来的光进行检测、或通过组合ccd相机和图像处理装置而成的图像解析处理值自动地进行检测，从而能够进行偏振板有无缺陷的检查。
5.现有技术文献
6.专利文献
7.专利文献1：日本特开平9-229817号公报


技术实现要素：

8.发明所要解决的课题
9.在偏振板为圆偏振板且剥离膜由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂(pet系树脂)构成的情况下，在该偏振板的检查中使用与该pet系树脂的波长分散在一定程度上相匹配的相位差滤光片(相当于上述偏振滤光片)。在此，在将圆偏振板和相位差滤光片以构成正交尼科耳状态的方式配置的情况下，根据上述原理，缺陷被视觉辨认为亮点，但圆偏振板所具有
的相位差膜的取向缺陷或针孔等相位差值较低的区域中的亮点缺陷有时会被视觉辨认为黑点，在该情况下，与作为亮点进行检测相比，检测判断更为困难。特别是，在圆偏振板包含由聚合性液晶化合物的固化物构成的相位差膜的情况下，该倾向显著。
10.另外，专利文献1所示的检查方法的原理是对透过了被检查物的光进行观察。在该原理中被检查物存在变形缺陷(例如，在圆偏振板的裁切时产生的褶皱)的情况下，光路长度在正常部分和变形缺陷部分中几乎不发生变化，因此难以光学性地检测出变形缺陷。
11.另外，在如上述那样偏振板具备剥离膜的情况下，圆偏振板的偏振特性受到该剥离膜所具有的双折射的阻碍，因此难以利用现有的检查装置高精度地对存在于偏振板中的亮点等缺陷进行检测。
12.因此，本发明的目的在于提供一种检查方法，其是反射型的检查方法，能够容易地判断圆偏振板有无缺陷。
13.用于解决课题的方案
14.本发明提供一种检查方法，其是对具备层叠偏振膜和相位差膜而成的圆偏振板、以及层叠在圆偏振板的相位差膜侧且由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂构成的剥离膜的膜状的被检查物有无缺陷进行判断的检查方法，其中，将光源、透过规定的波长的光的带通滤光片、第一偏振部、以及使剥离膜侧朝向第一偏振部侧的被检查物在光源所发出的光的光路上依次排列，并且，将与第一偏振部构成正交尼科耳状态的第二偏振部配置在被被检查物反射的光的光路上，使光源的光向带通滤光片入射，以使剥离膜所具有的相位差的影响变小的方式使光向被检查物的入射角发生变化，从第二偏振部侧对被被检查物反射的光进行观察，从而判断圆偏振板有无缺陷。
15.在本检查方法中，第一偏振部和第二偏振部以构成正交尼科耳状态的方式配置，因此在被检查物的正常部分反射的光(例如在剥离膜的表面反射的光)被第二偏振部阻断，从而能够充分地使观察视野变暗，在存在缺陷部分的情况下，容易将该缺陷部分观察为亮点。对于在被检查物的内部产生的缺陷部分反射的光或通过了缺陷部分后反射的光而言，由于相位差因该缺陷而与理想相比存在偏差(成为并不希望的椭圆偏振光)，因此该偏差的量透过第二偏振部，从而能够检测为被检查物的缺陷部分。在此，预想到观察视野整体的亮度会由于剥离膜所具有的相位差而增加，进而成为缺陷检测的障碍，但在本检查方法中，以使剥离膜所具有的相位差的影响变小的方式使光向被检查物的入射角发生变化，即，以使通过剥离膜而显现的相位差接近入射光的波长的整数倍的方式使光的入射角发生变化，因此即使在剥离膜具有相位差的情况下也能够充分地使观察视野变暗。另外，这样的反射型的检查方法与透射型的检查方法相比而被检查物中的光路变长，因此也能够容易地检测出利用透射型的检查方法难以检测出的变形缺陷。根据以上的内容，能够利用本发明的检查方法容易地判断圆偏振板有无缺陷。
16.在本检查方法中，优选在使用带通滤光片进行了检查后，使用最易透过波长与所述带通滤光片所最易透过的光的波长不同的光的带通滤光片进行检查。由此，例如，能够对如相位差值是比规定的值大的缺陷的情况(在视觉辨认为缺陷的情况下大多观察为蓝色，故以下称为蓝点斑纹)和相位差值是比规定的值小的缺陷的情况(在视觉辨认为缺陷的情况下大多观察为红色，故以下称为红点斑纹)这样的两种缺陷的有无进行检查。
17.在本发明的检查方法中，优选在进行检查前，准备光源、以及两张结构与被检查物
所具备的圆偏振板相同的圆偏振板的试验片，将两张试验片以相位差膜侧相对置、且相位差膜的慢轴彼此所成的角度在从光源的光路方向进行观察的情况下为90
°
以外的角度的方式进行配置，从试验片的偏振膜的任一侧以使光路通过试验片上的没有缺陷的区域的方式入射各种波长的光，并从其另一侧对偏振膜进行观察，求出透射光量为最小的波长(以下，称为“最小波长”)，优选决定将比该波长大5nm～50nm的波长以及比该波长小5nm～50nm的波长中的至少一个波长采用为规定的波长。通过在检查中使用这样决定出的比最小波长大5nm～50nm的波长以及比最小波长小5nm～50nm的波长的光中的至少一个波长的光，在将观察视野整体的亮度抑制得足够暗的状态下，蓝点斑纹或红点斑纹得到强调而可见。具体而言，通过使用这样决定出的比最小波长大5nm～50nm的波长的光以及比最小波长小5nm～50nm的波长的光这双方进行两次检查，能够分别在蓝点斑纹和红点斑纹得到强调的状况下进行检查。需要说明的是，在此，使用规定的波长的光的检查意味着使用透过该波长的光的带通滤光片。
18.在本发明的检查方法中，第一偏振部以及第二偏振部可以均是圆偏振板，也可以均是直线偏振板。另外，在是圆偏振板的情况下，也可以由共同的一张圆偏振板构成。
19.相位差膜也可以由聚合性液晶化合物的固化物构成。在相位差膜由聚合性液晶化合物的固化物构成的情况下，由于其通常的薄度，观察到黑点缺陷的可能性提高。因此，适合作为应用本发明的对象。
20.发明效果
21.根据本发明，能够提供一种检查方法，其是反射型的检查方法，能够容易地判断圆偏振板有无缺陷。
附图说明
22.图1是用于进行第一实施方式的检查方法的检查装置的结构图。
23.图2是被检查物的剖视图。
24.图3是示出基于透射光测定的波长选定工序中的各构件的配置的图。
25.图4的(a)是示出两张试验片中的慢轴彼此的关系的图。图4的(b)是从光路侧观察图4的(a)时的图。
26.图5是对第一实施方式的检查方法中的剥离膜所具有的相位差的影响进行说明的图。
27.图6是用于进行第二实施方式的检查方法的检查装置的结构图。
具体实施方式
28.以下，参照附图对本发明的优选实施方式详细地进行说明。需要说明的是，在各图中对相同部分或相当部分标注相同附图标记，省略重复的说明。
29.《用语以及符号的定义》
30.本说明书中的用语以及符号的定义如下所述。
31.(1)折射率(nx、ny、nz)
[0032]“nx”是面内的折射率为最大的方向(即，慢轴方向)的折射率，“ny”是在面内与慢轴正交的方向，“nz”是厚度方向的折射率。
[0033]
(2)面内相位差值
[0034]
面内相位差值(re(λ))是指23℃、波长λ(nm)处的膜的面内的相位差值。关于re(λ)，在将膜的厚度设为d(nm)时，通过re(λ)＝(nx-ny)
×
d求出。
[0035]
《第一实施方式》
[0036]
对第一实施方式的检查方法进行说明。
[0037]
(检查装置和被检查物)
[0038]
本实施方式的检查装置对圆偏振板的表面、构成圆偏振板的各层之间、或内部的缺陷的有无进行检查。如图1所示，检查装置100依次配置有光源4、带通滤光片2、相位差滤光片3。另外，检查装置100在从光源4观察时的相位差滤光片3的相反侧也具备用于载置被检查物10的检查台20。检查台20在其表面进行了抑制光的反射的加工。
[0039]
图1示出在检查台20载置有被检查物10的情况。相位差滤光片3是一张宽度比带通滤光片2宽的宽频带的圆偏振板，兼具有作为供透过了带通滤光片2的光入射的区域的第一偏振部3a、以及作为供从后述的被检查物10反射的光入射的区域的第二偏振部3b这双方的功能。即，第一偏振部3a和第二偏振部3b由共同的一张圆偏振板构成，第一偏振部3a和第二偏振部3b相互位于同一平面上。
[0040]
如图2所示，被检查物10为膜状，具备作为检查对象的主体的圆偏振板1、以及相对于圆偏振板1经由粘合剂层15层叠的剥离膜16a。对于圆偏振板1而言，在偏振膜11的两面贴合有保护膜12a、12b，并且，在具备剥离膜16a的一侧的保护膜12a上经由粘合剂层13形成有相位差膜14。并且，在圆偏振板1中的不具备剥离膜16a的一侧的面层叠有表面保护膜16b。圆偏振板1通常用于显示装置、例如液晶显示装置或有机el显示装置，在使用时将剥离膜16a剥离，并经由粘合剂层15粘贴于显示装置。
[0041]
需要说明的是，在本说明书中，“圆偏振板”包括圆偏振板以及椭圆偏振板。另外，“圆偏振光”包括圆偏振光和椭圆偏振光。
[0042]
偏振膜11是将从表面保护膜16a侧入射的光转换为直线偏振光或将其吸收的膜。作为偏振膜11，例如，可以列举出碘或二色性色素吸附、取向于聚乙烯醇膜而成的膜；或二色性色素吸附、取向于取向、聚合了聚合性液晶化合物的化合物而成的膜。
[0043]
保护膜12a、12b用于保护偏振膜11。作为保护膜12a、12b，出于得到具有适当的机械强度的偏振板的目的，使用在偏振板的技术领域中通用的保护膜。典型而言，有三乙酰纤维素(tac)膜等纤维素酯系膜、环状烯烃系膜、聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)膜等聚酯系膜：聚甲基丙烯酸甲酯(pmma)膜等(甲基)丙烯酸系膜等。另外，在偏振板的技术领域中通用的添加剂也可以包含于保护膜中。
[0044]
保护膜12a、12b作为圆偏振板1的构成要素而与偏振膜11一起贴合于显示装置，因此要求相位差值的严格的管理等。作为保护膜12a，典型而言，优选使用相位差值极小的膜。另外，作为保护膜12b，例如，考虑到经由偏振光太阳镜对显示装置进行视觉辨认时的易观察性，使用具有λ/4的相位差的膜或相位差值极小的膜。保护膜12a、12b经由粘接剂贴合于偏振膜11。
[0045]
相位差膜14是将从表面保护膜16b侧反射并被偏振膜11转换为直线偏振光的光转换为圆偏振光的膜。若从剥离膜16a侧进行观察，则相位差膜14是将从剥离膜16a侧入射的圆偏振光转换为直线偏振光的膜。相位差膜14只要是具有相位差的膜则没有特别限制，可
以是层叠λ/2膜和λ/4膜而成的膜。在该情况下，可以从接近偏振膜11一方起依次为λ/2膜、λ/4膜。
[0046]
另外，相位差膜14优选由聚合性液晶化合物的固化物构成。对于由聚合性液晶化合物的固化物构成的相位差膜14而言，通常厚度薄到0.2μm～10μm左右，在含有异物等的情况下，相位差值容易在该部分发生变化。在这样的部位中，直线偏振光无法完全转换为理想的圆偏振光，而成为并不希望的椭圆偏振光。另外，如后所述，有时，即使是在检查中本来应作为亮点缺陷被观察到的部位也会成为黑点被观察到。
[0047]
对于能够形成相位差膜14的聚合性液晶化合物而言，例如，能够列举出日本特开2009-173893号公报、日本特开2010-31223号公报、wo2012/147904号公报、wo2014/10325号公报以及wo2017-43438号公报所公开的化合物。这些公报所记载的聚合性液晶化合物能够形成可以在较宽的波长范围进行同样的偏振光转换的、具有所谓的逆波长分散性的相位差膜。例如，通过将含有该聚合性液晶化合物的溶液(聚合性液晶化合物溶液)涂布在适当的基材上并使其进行光聚合，而能够如上述那样形成极薄的相位差膜，因此具有这样的相位差膜的圆偏振板能够形成厚度极薄的圆偏振板。这样的厚度极薄的圆偏振板被用作近年瞩目的柔性显示材料用的圆偏振板。
[0048]
作为涂布聚合性液晶化合物溶液的基材，能够列举出上述的公报所记载的基材。也可以在这样的基材上设置取向膜以用于使聚合性液晶化合物取向。取向膜可以是通过偏振光照射进行光取向的取向膜、或通过摩擦处理机械性地进行取向的取向膜。需要说明的是，这样的取向膜也被记载在上述公报中。
[0049]
然而，在涂布聚合性液晶化合物溶液的基材中存在异物等、或基材自身存在损伤等的情况下，有时涂布聚合性液晶化合物溶液而得到的涂布膜自身会产生缺陷。另外，在对取向膜进行了摩擦处理的情况下，有时摩擦布的碎屑会残留在取向膜上，其也会导致聚合性液晶化合物溶液(液晶固化膜形成用组合物)的涂布膜产生缺陷。这样一来，由聚合性液晶化合物形成的相位差膜虽然能够形成厚度极薄的相位差膜，但也存在产生缺陷的因素。并且，如后所述，对相位差膜的缺陷而言，有时会产生成为黑点被观察到的缺陷。在对具有圆偏振板以及剥离膜的被检查物有无缺陷进行判定的检测中，本实施方式的检查方法尤其有用，其中，该圆偏振板具备具有这样的缺陷的相位差膜。
[0050]
相位差膜14能够通过如下方法制作：在基材上涂布取向膜形成用组合物，并进一步在其上方涂布含有聚合性液晶化合物的液晶固化膜形成用组合物。将这样作成的相位差膜14相对于形成在保护膜12a上的粘合剂层13连同基材一起进行贴合，然后，将基材剥离，从而能够将相位差膜14转印到保护膜12a上。
[0051]
剥离膜16a在向显示装置进行贴合时被从圆偏振板1剥离，通常，剥离后的剥离膜16a被废弃。因此，不同于保护膜12a、12b，并不要求相位差值的严格的管理。因此，在将市售的膜用作剥离膜16a的情况下，若不对其相位差值进行补偿，则有可能在缺陷的检查中导致误动作。即，在贴合有相位差值像这样未得到严格管理的剥离膜16a的圆偏振板1的缺陷检查中，该剥离膜16a的相位差会成为使检查装置100的检查精度降低的原因。
[0052]
需要说明的是，如上述背景技术中所记载的那样，在圆偏振板1中，在剥离膜16a的相反面大多设置有作为剥离膜的一种的表面保护膜16b。在图2所示的圆偏振板1中，在保护膜12b侧贴合有表面保护膜16b。该表面保护膜16b也通常在向显示装置进行贴合时被从圆
偏振板1剥离，从而不同于保护膜12a、12b，并不要求相位差值的严格的管理。需要说明的是，在图2中，保护膜12b和表面保护膜16b也可以经由适当的粘接剂层或粘合剂层而贴合(在图2中，该粘接剂层或粘合剂层未图示)。
[0053]
在本实施方式中，剥离膜16a由pet系树脂构成。另外，表面保护膜16b也使用由pet系树脂构成的膜。由pet系树脂构成的膜(pet系树脂膜)作为剥离膜而通用，且具有廉价这一优点。另一方面，如上所述，廉价的pet系树脂膜并不要求相位差值的严格的管理。因此，例如，有时，相位差值按每个制品批次而存在偏差。另外，即使是同样的pet树脂系膜，有时在面内也存在相位差值的偏差。即使是将这样的廉价的pet树脂系膜作为剥离膜进行了贴合的圆偏振板，通过本实施方式的检查方法，也能够高精度地检测其有无缺陷。
[0054]
本实施方式的剥离膜16a的面内方向的相位差值(re(550))例如为1500nm～3000nm。
[0055]
在此，先示出剥离膜16a的re(550)的求取方法。如上所述，这些剥离膜为pet系树脂膜，这样的膜能够容易从市场入手。从该膜中分取例如40mm
×
40mm左右大小的片(从长条膜中使用适当的切断工具进行分取等)。对该片的re(550)进行3次测定，求取re(550)的平均值。片的re(550)能够使用相位差测定装置kobra-wpr(王子计测机器株式会社制)在测定温度室温(25℃左右)下进行测定。需要说明的是，在求取表面保护膜16b的re(550)的情况下，也进行同样的试验即可。
[0056]
光源4能够使用各种市售品，但例如激光等直线光(也包括接近于直线光的光)是有利的。光源4所发出的光是无偏振光，通过后述的第一偏振部3a而成为圆偏振光。
[0057]
在第一实施方式中，第一偏振部3a和第二偏振部3b都是宽频带的圆偏振板，具有转换为直线偏振光的偏振膜和将直线偏振光转换为圆偏振光的相位差膜。第一偏振部3a和第二偏振部3b在对被检查物10进行检查的情况下始终构成正交尼科耳状态。为了使用圆偏振板构成正交尼科耳状态，在从光源侧进行观察时，在第一偏振部3a所含的相位差膜的慢轴与第二偏振部3b所含的相位差膜的慢轴大致平行的情况下，以使第一偏振部3a所含的偏振膜的吸收轴与第二偏振部3b所含的偏振膜的吸收轴大致平行的方式进行配置即可(配置α)。另外，作为另一结构，也可以是，在从光源侧进行观察时，在第一偏振部3a所含的相位差膜的慢轴与第二偏振部3b所含的相位差膜的慢轴大致正交的情况下，以使第一偏振部3a所含的偏振膜的吸收轴与第二偏振部3b所含的偏振膜的吸收轴大致正交的方式进行配置(配置β)。在通过前者的配置α构成了正交尼科耳状态的情况下，能够使用一张圆偏振板构成第一偏振部3a和第二偏振部3b。该构成第一偏振部3a以及第二偏振部3b的相位差滤光片3采用所谓的无缺陷的相位差滤光片。
[0058]
为了对从被检查物10反射的光进行观察，也可以在反射光的光路上且第二偏振部3b的两侧中的光源4所在的一侧的位置配置包括ccd相机等的检测机构5。例如，通过组合ccd相机和图像处理装置而成的图像处理解析来自动地进行检测，由此能够进行被检查物的检查。或者也可以是，检测机构5并非构件，而由人对第二偏振部3b进行目视观察。另外，也可以适当地在光源4与ccd相机之间设置分隔板。
[0059]
另外，检查装置100优选具备使检查台20倾斜或旋转的机构、或者使光源4、带通滤光片2、相位差滤光片3的配置倾斜或旋转的机构，以使得相对于被检查物10的光的入射角θ发生变化。通过移动上述机构，能够对通过剥离膜16a而显现的相位差进行调整，从而能够
将观察视野的亮度调整得较暗以适合检查。
[0060]
(检查方法)
[0061]
以下，对使用检查装置100的圆偏振板的检查方法进行说明。本实施方式的检查方法具有选定两种波长作为在检查中使用的光的工序(波长选定工序)、以及使用该波长的光进行检查的工序(缺陷检查工序)。
[0062]
·
波长选定工序
[0063]
在开始包括圆偏振板1的被检查物10的检查前，选定在检查中使用的光的波长。如以下说明的那样，在检查中使用的光的波长能够使用作为试验片而准备的圆偏振板的透射光来进行选定。
[0064]
基于透射光测定的波长选定工序(以下，简称为“透射光测定”)能够使用分光光度计(例如，日本分光株式会社制的“v7100”)来进行。在这样的分光光度计中，具有光源(透射系统光源)和透射光量测定机构，通过将样品载置在将该透射系统光源与透射光量测定机构连结的光路上，从透射系统光源对样品进行照射，从而能够对透过了该样品的光(透射光)的光量进行测定。参照图3以及图4对该透射光测定进行说明。如图3所示，在透射光测定中使用的测定器500具有透射系统光源4a以及透射光量测定机构5a。作为在透射光测定中使用的样品，准备两张具备与作为检查对象的被检查物10所具备的圆偏振板1相同的结构的圆偏振板的试验片(试验片1a、1b)。在此，“相同的结构”意味着材料、厚度、层叠结构实质上相同。试验片1a具备偏振膜11a和相位差膜14a，试验片1b具备偏振膜11b和相位差膜14b。
[0065]
将这两张试验片以相位差膜14a、14b侧相对置、且它们的慢轴p、q所成的角度在从透射系统光源4a的光路方向进行观察的情况下为90
°
以外的角度的方式进行配置。图4的(a)是示出试验片1a、1b的载置的主要部分的示意立体图。并且，图4的(b)是示意性地示出在从光路9方向对试验片1a、1b进行观察的情况下慢轴p、q所成的角度θ1为90
°
以外的情况以示出相位差膜14a、14b的慢轴所成的角度的图。该角度θ1优选为10
°
～80
°
，更优选为20
°
～70
°
，进一步优选为30。～60
°
。通过以这样的角度θ1进行配置，容易找出在缺陷检查中有用的波长。
[0066]
然后，从试验片1a、1b的偏振膜11a、11b的任一侧以使光路9通过试验片1a、1b上的没有缺陷的区域的方式入射各种波长的光，并从其另一侧对偏振膜11a、11b进行观察，求出透射光量为最小的波长。这样的市售的分光光度计能够对透射系统光源的波长进行各种变更，能够自动地对各种波长的光时的吸收光量进行分析，因此能够更简便地求出最小波长。
[0067]
该波长的研究优选在500～600nm之间进行。然后，在求出最小波长(透射光量为最小的波长)后，采用比该波长大5nm～50nm的波长以及比该波长小5nm～50nm的波长这两种波长作为在检查中使用的光的波长。例如，在最小波长为565nm的情况下，作为其
±
30nm而采用535nm以及595nm这两种作为在检查中使用的光的波长。即，决定在检查中使用透过波长535nm的光的带通滤光片、以及透过波长595nm的光的带通滤光片这两种带通滤光片。对于上述带通滤光片而言，透过的光的波长的光谱的半值宽度优选为
±
10nm，更优选为
±
5nm。对于上述带通滤光片而言，透过的光的光谱互不相同，最易透过的光的波长也互不相同。对于上述带通滤光片而言，最易透过的波长(峰值波长)的光的半值宽度优选为
±
10nm，更优选为
±
5nm。
[0068]
·
缺陷检查工序
[0069]
在决定了在检查中使用的光的波长后，接下来，进行被检查物10的缺陷检查。
[0070]
如图1所示，在检查装置100的内部中，将被检查物10载置于检查台20。此时，以被检查物10中的具备剥离膜16a或相位差膜14的一侧朝向光源4侧、且圆偏振板1的相位差膜14的慢轴与相位差滤光片3所具备的相位差膜的慢轴所成的角在从光源4侧进行观察时为10
°
～80
°
的方式进行配置。该角度优选为15
°
～50
°
，更优选为20
°
～40
°
。需要说明的是，在本实施方式中，第一偏振部3a和第二偏振部3b由相同的圆偏振板(相位差滤光片3)构成，因此第一偏振部3a和第二偏振部3b关于从被检查物10反射的光而成为正交尼科耳状态的配置。
[0071]
准备作为在波长选定工序中找出的两个带通滤光片中的一方的带通滤光片2并将其配置在检查装置100内。从光源4向带通滤光片2入射光。此时，可以将相对于被检查物10的入射角(以相对于被检查物10的表面的垂线为基准的角度)θ设为例如3
°
～30
°
，也可以设为5
°
～20
°
。在光源4所发出的光为指向性较低的光的情况下，优选来自被检查物10的反射角(或基于检测机构5的观察角度)为上述的角度范围。
[0072]
光源4所发出的光透过带通滤光片2，接着向第一偏振部3a入射，透过第一偏振部3a而成为圆偏振光(光路9a)。透过了第一偏振部3a的光接着向被检查物10入射。然后，透过被检查物10中的剥离膜16a，理想上被构成圆偏振板1的相位差膜14转换为直线偏振光，最终被偏振膜11吸收(光路9a的末端)。在此，透过了第一偏振部3a的光的一部分在被检查物10中的剥离膜16a的表面反射(光路9b)。该反射光由于第一偏振部3a和第二偏振部3b构成正交尼科耳状态而被第二偏振部3b阻断(光路9b的末端)，因此，基于检测机构5的第二偏振部3b的观察视野变暗。
[0073]
另一方面，入射到被检查物10的光的一部分在被检查物10中存在的缺陷(例如存在于相位差膜14与偏振膜11的界面的缺陷d、或相位差膜14中存在的缺陷d’)的部分反射变强(光路9c)。对于该反射光而言，由于相位差因该缺陷d，d’而与理想相比存在偏差(成为并不希望的椭圆偏振光)，因此无法被偏振膜吸收，从而产生在该界面的反射光。该反射光不被第二偏振部3b阻断而透过。当从检测机构5侧对其进行观察时，缺陷部分作为亮点被观察到。
[0074]
在此，剥离膜16a所具有的相位差(面内相位差)有时会成为该检查的障碍。即，在剥离膜16a所显现的相位差为透过了带通滤光片2的光的波长的整数倍的情况下，入射到剥离膜16a的圆偏振光的偏振状态不会被扰乱，但多数情况下剥离膜16a所显现的相位差不会成为透过了带通滤光片2的光的波长的整数倍，因此圆偏振光的偏振状态被扰乱，如图5所示，无法利用相位差膜14转换为直线偏振光，而无法被偏振膜吸收，因此产生该界面处的反射光(光路9d)。因此，透过第二偏振部3b的透射光量增加，观察视野变亮。由此，本来想要观察的缺陷部分的亮点会埋没于观察视野整体的亮度中，从而缺陷的判别变得困难。另外，由于剥离膜16a的相位差值的面内偏差或每个批次的偏差，本来应作为亮点被观察到的缺陷有可能被观察为黑点。
[0075]
为了解决该问题，在本实施方式的检查方法中，使光相对于被检查物10的入射角θ发生变化，从而使剥离膜16a所具有的相位差的影响变小。即，若使入射角θ发生变化，则通过剥离膜16a而显现的相位差发生变化，因此通过寻找成为上述“整数倍”的入射角θ而能够使观察视野进一步变暗。在此，为了使入射角θ发生变化，可以使被检查物10进行各种倾斜
或旋转(也可以连同检查台20进行移动)，也可以使光源4、带通滤光片2、相位差滤光片3侧进行各种倾斜或旋转。这样一来，一边通过调整构成检查装置100的构件的相对位置关系使入射角θ发生各种变化，一边寻找剥离膜16a所具有的相位差的影响变小的角度。在使被检查物10侧倾斜的情况下，可以以圆偏振板1的慢轴方向为轴线方向进行倾斜，也可以以快轴方向为轴线方向进行倾斜。
[0076]
在结束检查后，将带通滤光片2替换为在波长选定工序中找出的两个带通滤光片中的另一方的带通滤光片，并再次进行同样的检查。通过该进行了两次的检查，在检查中使用比第二偏振部3b所透过的光的光量为最小的波长大5nm～50nm的波长的光、以及比第二偏振部3b所透过的光的光量为最小的波长小5nm～50nm的波长的光，因此在一方的带通滤光片中，蓝点斑纹得到强调而可见，在另一方的带通滤光片中，红点斑纹得到强调而可见。因此，在将观察视野整体的亮度抑制得足够暗的状况下，能够检查蓝点斑纹以及红点斑纹这双方的有无。
[0077]
根据以上所示的检查方法，能够容易地判断圆偏振板有无缺陷。另外，由于该检查方法是反射型的检查方法，因此与透射型的检查方法相比，被检查物10中的光路变长，从而也能够容易地检测利用透射型的检查方法难以检测的褶皱等变形缺陷。需要说明的是，在图1中示出了圆偏振板1中的相位差膜14存在缺陷的情况，但在偏振膜11存在缺陷的情况下也能够通过本实施方式的检查方法来检测缺陷。
[0078]
本发明的检查方法为了提高其检测灵敏度而优选在暗室等外部光线被遮挡的状态下进行。另外，从极力抑制透过了被检查物10的光在检查台20反射而成的反射光的观点出发，检查台20的被检查物10的载置面优选实施有低反射处理。
[0079]
《第二实施方式》
[0080]
对第二实施方式的检查方法进行说明。第二实施方式的检查方法与第一实施方式的检查方法不同的点在于，使用直线偏振板来代替第一偏振部3a和第二偏振部3b的圆偏振板。
[0081]
(检查装置和被检查物)
[0082]
如图6所示，检查装置200以如下方式构成：依次配置有光源4、带通滤光片2、第一直线偏振板7a，并且，以排列在第一直线偏振板7a的旁边的方式配置有第二直线偏振板7b。第一直线偏振板(第一偏振部)7a和第二直线偏振板(第二偏振部)7b以面相互平行的方式排列在大致同一面上。检查装置200中的其他结构与第一实施方式中的检查装置100相同。
[0083]
第一直线偏振板7a以及第二直线偏振板7b在对被检查物10进行检查的情况下以始终相互构成正交尼科耳状态的方式调整其朝向。此时，注意向第二直线偏振板7b入射的光为在被检查物10反射的反射光。并且，第一直线偏振板7a以及第二直线偏振板7b采用所谓的无缺陷的直线偏振板。
[0084]
(检查方法)
[0085]
以下，对使用检查装置200的圆偏振板的检查方法进行说明。在开始包括圆偏振板的被检查物10的检查前，选定在检查中使用的光的波长。
[0086]
·
波长选定工序
[0087]
波长选定工序与第一实施方式中的相同。
[0088]
·
缺陷检查工序
[0089]
在决定了在检查中使用的光的波长后，接下来，进行被检查物10的缺陷检查。
[0090]
使用检查装置200的检查方法如下所示。首先，在检查装置100的内部中，将被检查物10载置于检查台20。然后，在从光源4观察为第一直线偏振板7a以及第二直线偏振板7b的对面侧的一侧配置被检查物10。此时，以被检查物10中的具备剥离膜16a或相位差膜14的一侧朝向光源4侧、且偏振膜11的吸收轴与第一直线偏振板7a的吸收轴所成的角在从光源4侧进行观察时为45
°
的方式进行配置。该角度可以采用0
°
以上且90
°
以下的值，超过90
°
的角度以0
°
以上且90
°
以下的值来表现。在此，以第一直线偏振板7a透过向被检查物10入射前的光、且第二直线偏振板7b供被检查物10所反射的光入射的方式对光源4与检测机构5的位置关系进行调整。并且，以第一直线偏振板7a与第二直线偏振板7b构成正交尼科耳状态的方式进行调整。
[0091]
准备作为在波长选定工序中找出的两个带通滤光片中的一方的带通滤光片2并将其配置在检查装置200内。从光源4向带通滤光片2入射光。此时，可以将相对于被检查物10的入射角(以相对于被检查物10的表面的垂线为基准的角度)θ设为例如3
°
～30
°
，也可以设为5
°
～20
°
。在光源4所发出的光为指向性较低的光的情况下，优选来自被检查物10的反射角(或基于检测机构5的观察角度)为上述的角度范围。
[0092]
光源4所发出的光透过带通滤光片2，接着向第一直线偏振板7a入射，透过第一直线偏振板7a而成为直线偏振光(光路9a)。接着向被检查物10入射(光路9a)。然后，透过被检查物10中的剥离膜16a，被构成圆偏振板1的相位差膜14转换为圆偏振光，该圆偏振光的吸收轴方向分量被偏振膜11吸收(光路9a的末端)。在此，透过了第一直线偏振板7a的光的一部分在被检查物10中的剥离膜16a的表面反射(光路9b)。该反射光由于第一直线偏振板7a和第二直线偏振板7b以构成正交尼科耳状态的方式配置而被第二直线偏振板7b阻断(光路9b的末端)。因此，基于检测机构5的第二直线偏振板7b的观察视野变暗至能够观察到缺陷的程度。
[0093]
另一方面，入射到被检查物10的光的一部分在被检查物10中存在的缺陷(例如存在于相位差膜14与偏振膜11的界面的缺陷d、或相位差膜14中存在的缺陷d’)的部分反射变强(光路9c)。对于该反射光而言，由于相位差因该缺陷d、d’而与理想相比存在偏差(成为并不希望的椭圆偏振光)，因此偏振膜11处的光的吸收量或第二直线偏振板7b的光的吸收量与正常部分相比而减少该偏差的量，从而该光透过第二直线偏振板。当从检测机构5侧对其进行观察时，缺陷部分作为亮点被观察到。
[0094]
在本实施方式中，减小剥离膜16a所具有的相位差的影响的方法或起到本实施方式的效果的原理与第一实施方式中的相同。
[0095]
以上，对本发明的优选实施方式进行了说明，但本发明丝毫不被上述实施方式限定。例如，在第一实施方式中，使用一张相位差滤光片3担任第一偏振部3a和第二偏振部3b，但也可以将第一偏振部3a和第二偏振部3b准备为分别不同的相位差滤光片。
[0096]
另外，在上述实施方式的波长选定工序中，利用透射光求出了最小波长，但也可以作为替代地利用反射光来求取最小波长。例如，准备在镜子等反射板配置有圆偏振板1的层叠体，从光源向所述层叠体入射任意波长的光。使用检测机构对从所述层叠体反射的光进行观察，确认透射光量。接着，照射改变了波长的光，确认其透射光量。这样一来，能够使用波长发生了各种变化的光来测定透射光量，从而求出其透射光量为最小的波长。
[0097]
工业实用性
[0098]
本发明能够用于圆偏振板的品质检查。
[0099]
附图标记说明
[0100]1…
圆偏振板；1a、1b
…
试验片(圆偏振板)；2
…
带通滤光片；3
…
相位差滤光片；3a
…
第一偏振部；3b
…
第二偏振部；4
…
光源；4a
…
透射系统光源；5
…
检测机构；5a
…
透射光量测定机构；7a
…
第一直线偏振板(第一偏振部)；7b
…
第二直线偏振板(第二偏振部)；9(9a、9b、9c)
…
光路；10
…
被检查物；11(11a、11b)
…
偏振膜；12a、12b
…
保护膜；13
…
粘合剂层；14(14a、14b)
…
相位差膜；15
…
粘合剂层；16a
…
剥离膜；16b
…
表面保护膜；20
…
检查台；100、200
…
检查装置；500
…
测定器；d、d
’…
缺陷；p、q
…
相位差膜的慢轴方向；θ
…
入射角；θ1
…
慢轴彼此所成的角度。