透明导电性薄膜的制作方法

1.本发明涉及在透明塑料薄膜基材上层叠了铟-锡复合氧化物的透明导电膜的透明导电性薄膜，特别是涉及在电阻膜式触摸面板中使用时的轻快的操作性以及优异的笔输入稳定性以及优异的笔滑动耐久性的透明导电性薄膜。


背景技术：

2.在透明塑料薄膜基材上层叠透明且电阻小的薄膜而成的透明导电性薄膜，作为利用其导电性的用途例如液晶显示器、电致发光(el)显示器等那样的平板显示器、触摸面板的透明电极等，被广泛用于电气/电子领域的用途。
3.电阻膜式触摸面板是将在玻璃、塑料的基板上涂布透明导电性薄膜的固定电极、和在塑料薄膜上涂布透明导电性薄膜的可动电极(＝薄膜电极)组合而成的触摸面板，重合在显示体的上侧来使用。用手指、笔按压薄膜电极，使固定电极与薄膜电极的透明导电性薄膜彼此接触成为用于触摸面板的位置识别的输入。特别是在用笔输入时，要求笔滑动耐久性。
4.此外，近年来，由于静电电容式触摸面板普及，因此在电阻膜式触摸面板中也与静电电容式触摸面板同样地，要求即使轻轻地触摸也能够输入。例如，认为：对于由于年龄、疾病、其他理由而用手指按压的力弱的人、笔压小的人，即使轻轻地触摸也能够输入。此外，对于触摸面板，在从用笔等触摸起至离开为止的期间，还要求向触摸面板的输入稳定(定义为“笔输入稳定性”)。
5.但是，在电阻膜式触摸面板中，为了用手指、笔等按压薄膜电极，使固定电极与薄膜电极的透明导电性薄膜彼此接触，需要某种程度的输入载荷，因此没有静电电容式触摸面板那样的轻快的操作感。此外，笔输入稳定性优异的透明导电性薄膜的特性也不明确。为了解决这些问题，期望具有轻快的操作性、具有优异的笔输入稳定性的透明导电性薄膜。
6.在先技术文献
7.专利文献
8.专利文献1：日本特开2004-071171号公报
9.专利文献1所示的以往的透明导电性薄膜通过控制铟-锡复合氧化物的晶体性来尝试提高笔滑动耐久性。但是，以往的透明导电性薄膜若实施后述的输入载荷试验及笔输入稳定性试验，则无法兼顾操作性和笔输入稳定性。
10.进而，在触摸面板等用途中，要求降低速记性例如连续地输入文字时可能产生的文字模糊。


技术实现要素：

[0011]-发明所要解决的课题-[0012]
鉴于上述以往的问题点，本发明的目的在于提供一种具有轻快的操作性以及优异的笔输入稳定性以及优异的笔滑动耐久性的透明导电性薄膜。
[0013]
进而，能够减少速记性、例如在连续地输入文字时可能产生的文字模糊。
[0014]-用于解决课题的手段-[0015]
本发明是鉴于上述那样的状况而完成的，能够解决上述课题的本发明的透明导电性薄膜由以下的结构构成。
[0016]
一种透明导电性薄膜，在透明塑料薄膜基材上的至少一面侧层叠铟-锡复合氧化物的透明导电膜，
[0017]
以下的基于输入载荷试验的透明导电膜的输入开始载荷为3g以上且15g以下，进而，基于以下的笔输入稳定性试验的透明导电性薄膜的失压时间为
[0018]
0.00毫秒以上且0.40毫秒以下。
[0019]
(输入载荷试验方法)
[0020]
将透明导电性薄膜(尺寸：220mm
×
135mm)用作为一个面板，作为另一个面板，使用包含通过溅射法在玻璃基板(尺寸：232mm
×
151mm)上形成且厚度为20nm的铟-锡复合氧化物薄膜(氧化锡含量：10质量％)的透明导电性薄膜a。
[0021]
在带铟-锡复合氧化物薄膜的玻璃基板、以下也称为ito玻璃的透明导电性薄膜a侧，以4mm间距的正方格子状配置环氧树脂(纵60μm
×
横60μm
×
高5μm)，以作为点间隔件。
[0022]
接下来，以ito玻璃的四角的角的任意一个为起点，在ito玻璃的透明导电性薄膜a侧粘贴双面胶带(厚度：105μm、宽度6mm)，使得能够形成190mm
×
135mm的长方形。
[0023]
接下来，在粘贴于ito玻璃的双面胶带上粘贴透明导电性薄膜的透明导电膜b侧，层叠成透明导电性薄膜a与透明导电膜b面对。
[0024]
此时，透明导电性薄膜的一个短边侧从ito玻璃露出。
[0025]
接下来，用测试器连接ito玻璃和透明导电性薄膜。
[0026]
接下来，从透明导电性薄膜侧利用聚缩醛制的笔(前端的形状：0.8mmr)施加载荷，将由测试器计测出的电阻值稳定时的载荷值设为输入开始载荷。
[0027]
用笔施加载荷的位置是由四个点间隔件包围的中心区域，计算3点处的输入开始载荷的平均值。
[0028]
(笔输入稳定性试验方法)
[0029]
将透明导电性薄膜(尺寸：220mm
×
135mm)用作为一个面板，作为另一个面板，使用包含通过溅射法在玻璃基板(尺寸：232mm
×
151mm)上形成且厚度为20nm的铟-锡复合氧化物薄膜(氧化锡含量：10质量％)的透明导电性薄膜a。
[0030]
在带铟-锡复合氧化物薄膜的玻璃基板、以下也称为ito玻璃的透明导电性薄膜a侧，以4mm间距的正方格子状配置环氧树脂(纵60μm
×
横60μm
×
高5μm)，以作为点间隔件。
[0031]
接下来，以ito玻璃的四角的角的任意一个为起点，在ito玻璃的透明导电性薄膜a侧粘贴双面胶带(厚度：105μm、宽度6mm)，使得能够形成190mm
×
135mm的长方形。
[0032]
接下来，在粘贴于ito玻璃的双面胶带上粘贴透明导电性薄膜的透明导电膜b侧，层叠成透明导电性薄膜a与透明导电膜b面对。
[0033]
此时，透明导电性薄膜的一个短边侧从ito玻璃露出。
[0034]
接下来，在ito玻璃和透明导电性薄膜连接恒压电源。接下来，连接能够计测ito玻璃与透明导电性薄膜的电压的记录仪。接下来，对恒压电源施加6v，用记录仪以0.02毫秒为单位开始计测电压。接下来，从透明导电性薄膜侧利用聚缩醛制的笔(前端的形状：0.8mmr)
以每秒5次的速度施加50g的载荷。用笔施加载荷的位置是由四个点间隔件包围的中心区域。从记录仪中取出用笔对透明导电性薄膜施加载荷时的电压的时间变化的数据。以笔从透明导电性薄膜开始离开、电压从6v减少时为起点，测定电压成为5v为止的时间，记录为失压时间。
[0035]
2、根据上述透明导电性薄膜，
[0036]
下述的薄膜硬挺度试验的硬挺度为0.23n
·
cm以上且0.90n
·
em以下，进而透明导电性薄膜的导电面的下述的平均最大峰高满足下述式(2-1)以及式(2-2)，进而，由下述的接触面积率评价计算出的值满足式(2-3)。
[0037]
(薄膜硬挺度试验方法)
[0038]
从透明导电性薄膜采集20mm
×
250mm的试验片，以透明导电层为上地将试验片配置在表面平滑的水平台上。此时，仅将试验片的20mm
×
20mm的部分放置在水平台上，将20mm
×
230mm放置成露出到水平台的外部。此外，在试验片的20mm
×
20mm的部分上放置重物。此时，选择重物的重量、尺寸，以使得试验片与水平台之间不产生间隙。
[0039]
接下来，通过标尺读取水平台的高度与薄膜的前端的高度之差、以下δ。接下来，将数值代入以下的式(1)来计算硬挺度。
[0040]
式(1)(g
×a×b×
l4)
÷
8δ(n/cm)
[0041]
g＝重力加速度，a＝试验片的短边的长度，b＝试验片的比重，l＝试验片的长度，δ＝水平台的高度与薄膜的前端的高度之差
[0042]
(平均最大峰高评价)
[0043]
平均最大峰高为5点的最大峰高的平均。5点的选择方法首先选择任意的1点a。接下来，相对于a在薄膜的长度(md)方向的上下游1em处选择各1点、共计2点。接下来，相对于a，在薄膜的宽度(td)方向的左右1em处选择各1点、共计2点。最大峰高由iso 25178规定，使用三维表面形状测定装置伯特扫描(菱化系统公司制造，r5500h-m100(测定条件：wave模式、测定波长560nm、物镜10倍))，求出最大峰高。此外，通过四舍五入将小于1nm的值舍去。
[0044]
(接触面积率评价)
[0045]
对于透明导电性薄膜的导电面，使用三维表面形状测定装置伯特扫描(菱化系统公司制造，r5500h-m100(测定条件：wave模式、测定波长560nm、物镜50倍))，在测定长度100μm～200μm的范围内，依据jis b 0601-2001测定算术平均粗糙度ra。其中，测定ra，以使得满足“rp-平均高度-ra≤0.20μm”和“(rp-平均高度)
÷
ra≤5.0”中的任一者或两者，进而满足rsm≤30μm。在此，rp、rsm依据jis b 0601-2001进行测定。平均高度是测定长度中的高度的平均值。在不满足所述条件的情况下，在不同的点进行再测定。接下来，对于相同的透明导电性薄膜的导电面，使用三维表面形状测定装置伯特扫描(菱化系统公司制造，r5500h-m100(测定条件：wave模式、测定波长560nm、物镜10倍))，进一步使用该测定装置中的粒子解析，以“ra-15nm-平均高度”为阈值求出截面积的总和。将截面积的总和除以测定视野的面积所得的值再乘以100的值作为接触面积率。
[0046]
式(2-1)平均最大峰高(μm)≥4.7
×
硬挺度-1.8
[0047]
式(2-2)0.005(μm)≤平均最大峰高(μm)≤12.000(μm)
[0048]
式(2-3)接触面积率(％)≥32.6
×
硬挺度 17.2
[0049]
3、根据上述透明导电性薄膜，
[0050]
所述平均最大峰高评价中的最大峰高的最大值超过所述平均最大峰高的1.0倍且为1.4倍以下，并且，
[0051]
所述平均最大峰高评价中的最大峰高的最小值为所述平均最大峰高的0.6倍以上且1.0倍以下。
[0052]
4、根据上述透明导电性薄膜，
[0053]
透明导电膜的厚度为10nm以上且100nm以下。
[0054]
5、根据上述透明导电性薄膜，其中，
[0055]
透明导电膜中所含的氧化锡的浓度为0.5质量％以上且40质量％以下。
[0056]
6、根据上述透明导电性薄膜，
[0057]
在透明导电膜与透明塑料薄膜基材之间具有固化型树脂层，
[0058]
进而，在透明塑料薄膜基材的与所述透明导电膜相反的一侧具有功能层。
[0059]
7、根据上述透明导电性薄膜，其中，
[0060]
在透明塑料薄膜基材的至少一侧还具有易粘接层。
[0061]
8、根据上述透明导电性薄膜，
[0062]
易粘接层配置在透明塑料薄膜基材与固化型树脂层之间、或者透明塑料薄膜基材与功能层之间的至少一方的位置。
[0063]
9、根据上述透明导电性薄膜，
[0064]
基于以下的笔滑动耐久性试验的透明导电膜的透明导电膜的导通电阻为10kω以下。
[0065]
(笔滑动耐久性试验)
[0066]
将透明导电性薄膜用作一个面板，作为另一个面板，使用包含通过溅射法在玻璃基板上形成且厚度为20nm的铟-锡复合氧化物薄膜(氧化锡含量：10质量％)的透明导电性薄膜。隔着直径30μm的环氧珠配置该2片面板，以使透明导电性薄膜对置，制作出触摸面板。接下来，对聚缩醛制的笔(前端的形状：0.8mmr)施加2.5n的载荷，在触摸面板上进行5万次往复的直线滑动试验。此时的滑动距离为30mm，滑动速度为180mm/秒。在该滑动耐久性试验后，测定以笔载荷0.8n按压滑动部时的导通电阻(可动电极(薄膜电极)与固定电极接触时的电阻值)。
[0067]
10、根据上述透明导电性薄膜，
[0068]
在透明导电膜的表面的依据jis k5600-5-6：1999的附着性试验中，透明导电膜的残留面积率为95％以上。
[0069]-发明效果-[0070]
根据本发明，能够提供具有轻快的操作性、优异的笔输入稳定性、优异的笔滑动耐久性的透明导电性薄膜。进而，能够减少速记性、例如在连续地输入文字时可能产生的文字模糊。
附图说明
[0071]
图1是用于说明本发明中优选使用的溅射装置的一例的中心辊的位置的示意图。
[0072]
图2是表示本发明的一个方式中的结构的示意图。
[0073]
图3是表示本发明的一个方式中的结构的示意图。
[0074]
图4是表示本发明的一个方式中的结构的示意图。
[0075]
图5是表示本发明的一个方式中的结构的示意图。
[0076]
图6是表示本发明的一个方式中的测定条件的示意图。
[0077]
图7是表示本发明的一个方式中的电压与时间的关系的概念图。
具体实施方式
[0078]
本发明的透明导电性薄膜是在透明塑料薄膜基材上的至少一面侧层叠铟-锡复合氧化物的透明导电膜的透明导电性薄膜，由以下的输入载荷试验得到的透明导电膜的输入开始载荷为3g以上且15g以下，进而，由以下的笔输入稳定性试验得到的透明导电性薄膜的失压时间为0.00毫秒以上且0.40毫秒以下。
[0079]
(输入载荷试验方法)
[0080]
将透明导电性薄膜(尺寸：220mm
×
135mm)用作为一个面板，作为另一面板，使用包含铟-锡复合氧化物薄膜(氧化锡含量：10质量％)的透明导电性薄膜a，该铟-锡复合氧化物薄膜是在玻璃基板(尺寸：232mm
×
151mm)上通过溅射法形成的，厚度为20nm。
[0081]
在带铟-锡复合氧化物薄膜的玻璃基板、以下也称为ito玻璃的透明导电性薄膜a侧，以4mm间距的正方格子状配置环氧树脂(纵60μm
×
横60μm
×
高5μm)，以作为点间隔件。
[0082]
接下来，以ito玻璃的四角的角的任意一个为起点，在ito玻璃的透明导电性薄膜a侧粘贴双面胶带(厚度：105μm、宽度6mm)，使得能够形成190mm
×
135mm的长方形。
[0083]
接下来，在粘贴于ito玻璃的双面胶带上粘贴透明导电性薄膜的透明导电膜b侧，层叠成透明导电性薄膜a与透明导电膜b面对。
[0084]
此时，使透明导电性薄膜的一方的短边侧从ito玻璃露出。
[0085]
接下来，用测试器连接ito玻璃和透明导电性薄膜。
[0086]
接下来，从透明导电性薄膜侧利用聚缩醛制的笔(前端的形状：0.8mmr)施加载荷，将由测试器计测出的电阻值稳定时的载荷值设为输入开始载荷。
[0087]
用笔施加载荷的位置是由四个点间隔件包围的中心区域，计算3点处的输入开始载荷的平均值。
[0088]
例如，输入开始载荷优选测定从双面胶带离开50mm以上的任意3点并取得平均值。此外，也可以将小数点四舍五入。
[0089]
此外，如图6所示，用笔施加载荷的位置是四个点间隔件的中心区域。
[0090]
(笔输入稳定性试验方法)
[0091]
将透明导电性薄膜(尺寸：220mm
×
135mm)用作为一个面板，作为另一个面板，使用包含铟-锡复合氧化物薄膜(氧化锡含量：10质量％)的透明导电性薄膜a，该铟-锡复合氧化物薄膜是在玻璃基板(尺寸：232mm
×
151mm)上通过溅射法形成的，厚度为20nm。
[0092]
在带铟-锡复合氧化物薄膜的玻璃基板、以下也称为ito玻璃的透明导电性薄膜a侧以4mm间距的正方格子状配置环氧树脂(纵60μm
×
横60μm
×
高5μm)，以作为点间隔件。
[0093]
接下来，以ito玻璃的四角的角的任意一个为起点，在ito玻璃的透明导电性薄膜a侧粘贴双面胶带(厚度：105μm、宽度6mm)，使得能够形成190mm
×
135mm的长方形。
[0094]
接下来，在粘贴于ito玻璃的双面胶带上粘贴透明导电性薄膜的透明导电膜b侧，层叠成透明导电性薄膜a与透明导电膜b面对。
[0095]
此时，使透明导电性薄膜的一个短边侧从ito玻璃露出。
[0096]
接下来，在ito玻璃和透明导电性薄膜上连接恒压电源。接下来，连接能够计测ito玻璃与透明导电性薄膜的电压的记录仪。在此，记录仪用于观测电压的时间变化。接下来，对恒压电源施加6v，用记录仪以0.02毫秒为单位开始计测电压。接下来，从透明导电性薄膜侧利用聚缩醛制的笔(前端的形状：0.8mmr)以每秒5次的速度施加50g的载荷。用笔施加载荷的位置是由四个点间隔件包围的中心区域。从记录仪中取出用笔对透明导电性薄膜施加载荷时的电压的时间变化的数据。在笔从透明导电性薄膜开始离开时电压减少，因此以电压从6v减少时为起点，测定电压成为5v为止的时间，记录为失压时间。
[0097]
例如，图7是表示本发明的一个方式中的电压与时间的关系的概念图，横轴13是时间轴，纵轴14表示电压，测定失压时间15的时间。
[0098]
在此，在本发明中，在利用测试器进行计测的情况下，根据所测定的环境等外部重要因素，“稳定的电阻值”的判断优选例如在
±
5％的范围内电阻值变动的状态。
[0099]
具有这样的特征的本技术发明能够提供具有轻快的操作性、优异的笔输入稳定性、优异的笔滑动耐久性的透明导电性薄膜。所得到的透明导电性薄膜对于电阻膜式触摸面板等用途极其有用。
[0100]
本发明的透明导电性薄膜具有轻快的操作性。发现操作性优异的铟-锡复合氧化物的透明导电性薄膜的透明导电膜侧的面的最大峰高相对于触摸面板用ito玻璃中的点间隔件的高度处于适度的范围，薄膜的硬挺度试验的硬挺度低，透明导电膜的氧化锡浓度接近触摸面板用ito玻璃的氧化锡浓度。
[0101]
对轻快的操作性进行说明。轻快的操作性是指，即使从透明导电性薄膜侧对电阻膜式触摸面板以轻的力按压笔、手指，也能够向电阻膜式触摸面板输入。对于轻快的操作性，在本发明中通过输入载荷试验进行评价。在本发明中，若基于输入载荷试验的透明导电性薄膜的输入开始载荷为3g以上且15g以下，则具有轻快的操作性。
[0102]
具有这样的输入开始载荷的本发明即使是电阻膜式触摸面板等用途中使用的透明导电性薄膜，对因年龄、疾病、其他理由而用手指按压的力弱的人、笔压弱的人来说也能够通过轻轻地接触来输入。
[0103]
若输入开始载荷为15g以下，则具有轻快的操作性，因此优选。更优选为13g以下。进一步优选为11g以下。另一方面，若输入开始载荷为3g以上，则能够防止触摸面板的误反应，因此优选。更优选为5g以上，进一步优选为8g以上。
[0104]
本发明的透明导电性薄膜具有优异的笔输入稳定性。发现具有优异的笔输入稳定性的铟-锡复合氧化物的透明导电性薄膜的由薄膜的硬挺度试验得到的硬挺度低，由接触面积率评价得到的透明导电膜面的接触面积率高，透明导电膜的氧化锡浓度接近触摸面板用ito玻璃的氧化锡浓度。
[0105]
优异笔输入稳定性进行说明。所谓优异的笔输入稳定性是指，在笔、手指从透明导电性薄膜侧对电阻膜式触摸面板按压后到离开为止的期间，ito玻璃等透明导电性玻璃与透明导电性薄膜的电接触稳定的时间长，因此对触摸面板的输入稳定。若笔输入稳定性优异，则例如在用笔向电阻膜式触摸面板输入文字时，文字的付费部分不被模糊地写入。
[0106]
在本发明中，通过笔输入稳定性试验来评价笔输入稳定性。在笔输入稳定性试验中，观测笔从触摸面板开始离开时的透明导电性玻璃和透明导电性薄膜的电压的变化。在
通过笔使透明导电性玻璃与透明导电性薄膜完全接触的情况下，由于将施加电压设为6v，因此电压固定于6v，但若笔自触摸面板开始离开，则电压从6v开始下降。
[0107]
本发明人等发现，通过令从电压下降开始到成为5v为止的时间、即失压时间在本发明的范围内，例如能够在带铟-锡复合氧化物薄膜的玻璃基板(ito玻璃)的透明导电性薄膜a与本发明所涉及的透明导电性薄膜的透明导电膜b之间，使电稳定的接触时间更长。
[0108]
不应该理解为限定于特定的理论，但这样，通过使失压时间在本发明的范围内，在触摸面板中的一对透明导电性薄膜中，能够使电稳定的接触时间更长，能够进一步减少电不稳定的接触状态。其结果，输入的不稳定的时间变短，例如，在连续地记载文字时，能够防止文字模糊。此外，例如，解决了在触摸面板中，在进行文字付费时触摸面板上所示的文字模糊、不显示的课题。进而，具备优异的速记性，能够减少速记时的文字模糊。
[0109]
在本发明中，若基于笔输入稳定性试验的透明导电性薄膜的失压时间为0.00毫秒以上且0.40毫秒以下，则具有优异的笔输入稳定性、速记性。
[0110]
具有这样的笔输入稳定性的本发明能够鲜明地描绘想要在电阻膜式触摸面板上表现的文字、图形等。例如，也能够表现用毛笔来表现的文字的付费。
[0111]
失压时间只要在本发明的范围内，越短越优选，若为0.40毫秒以下，则具有优异的笔输入稳定性，因此优选。更优选为0.35毫秒以下。进一步优选为0.30毫秒以下。
[0112]
此外，也可以是0.01毫秒以上，例如也可以是0.02毫秒以上。
[0113]
在本发明中，优选以下的薄膜硬挺度试验的硬挺度为0.23n/cm以上且0.90n/cm以下，进而透明导电性薄膜的透明导电膜侧的面的以下的平均最大峰高满足下述式(2-1)式以及式(2-2)式，进而，由下述的接触面积率评价计算出的值满足式(2-3)。
[0114]
首先，对基于薄膜硬挺度试验的硬挺度进行说明。在薄膜硬挺度试验中，以透明导电层成为上地将试验片配置在表面平滑的水平台上。这是为了从非透明导电层侧用笔、手指按压透明导电性薄膜，使透明导电性薄膜变形的方向一致。即使是相同的透明导电性薄膜，由于在薄膜硬挺度试验中透明导电层成为上还是下，硬挺度的值发生变化，因此在进行评价时需要注意。
[0115]
此外，在透明塑料薄膜基材与透明导电膜之间配置固化型树脂层的情况下，固化型树脂层的厚度、硬度也对硬挺度产生影响。此外，在透明塑料薄膜基材的两面配置固化型树脂层的情况下，各面的固化型树脂层的厚度、硬度的平衡对硬挺度产生影响。
[0116]
若透明导电性薄膜的硬挺度为0.23n/cm以上，则在无意地以非常轻的力接触透明导电性薄膜时，透明导电性薄膜不易变形，因此难以引起透明导电性薄膜的透明导电膜与触摸面板用ito玻璃的透明导电膜的电接触，容易防止误输入，因此优选。此外，由于笔滑动耐久性也优异，因此优选。更优选为0.27n/cm以上。进一步优选为0.30n/cm以上。
[0117]
另一方面，若透明导电性薄膜的硬挺度为0.90n/cm以下，则即使用笔、手指从透明导电性薄膜侧以较低的输入载荷按压，透明导电性薄膜也容易变形，因此透明导电性薄膜的透明导电膜与ito玻璃的透明导电膜容易电接触，因此具有轻快的操作性，因此优选。更优选为0.80n/cm以下。进一步优选为0.70n
·
cm以下。特别优选为0.60n/cm以下。
[0118]
(薄膜硬挺度试验方法)
[0119]
从透明导电性薄膜采集20mm
×
250mm的试验片，以透明导电层为上地将试验片配置在表面平滑的水平台上。此时，仅将试验片的20mm
×
20mm的部分放置在水平台上，将20mm
×
230mm放置成露出到水平台的外部。此外，在试验片的20mm
×
20mm的部分上放置重物。此时，选择重物的重量、尺寸，以使得在试验片与水平台之间不产生间隙。
[0120]
接下来，通过标尺读取水平台的高度与膜的前端的高度之差(＝δ)。接下来，将数值代入以下的式(1)来计算硬挺度。
[0121]
式(1)(g
×a×b×
l4)
÷
8δ(n/cm)
[0122]
g＝重力加速度，a＝试验片的短边的长度，b＝试验片的比重，l＝试验片的长度，δ＝水平台的高度与薄膜的前端的高度之差
[0123]
在本发明中，优选在实施了薄膜硬挺度试验时，薄膜硬挺度试验的硬挺度为0.23n/cm以上且0.90n/cm以下，进而透明导电性薄膜的透明导电膜侧的面的以下的平均最大峰高满足下述式(2-1)式以及式(2-2)式。
[0124]
(平均最大峰高评价)
[0125]
平均最大峰高为5点的最大峰高的平均。5点的选择方法首先选择任意的1点a。接下来，相对于a在膜的长度(md)方向的上下游1cm处选择各1点、共计2点。接下来，相对于a，在膜的宽度(td)方向的左、右1cm处各选择1点、共计2点。最大峰高由iso25178规定，使用三维表面形状测定装置伯特扫描(菱化系统公司制造，r5500h-m100(测定条件：wave模式、测定波长560nm、物镜10倍))，求出最大峰高。此外，小于1nm的值通过四舍五入来舍掉。
[0126]
式(2-1)平均最大峰高≥4.7
×
硬挺度-1.8
[0127]
式(2-2)0.005(μm)≤平均最大峰高(μm)≤12.000(μm)
[0128]
若透明导电膜侧的面的最大峰高满足式(2-1)以及式(2-2)，则即使用笔、手指从透明导电性薄膜侧以较低的输入载荷按压，也能够与配置在透明导电性薄膜的透明导电膜侧的突起上的透明导电膜和触摸面板用ito玻璃的透明导电膜电接触，因此具有轻快的操作性，因此优选。
[0129]
更优选式(2-1)的y切片，即上述式(2-1)的
“‑
1.8”所示的值为-1.7以上。进一步优选式(2-1)的y切片为-1.6以上。
[0130]
此外，若平均最大峰高为0.005(μm)以上，则无障碍地将透明导电性薄膜卷成卷筒状，因此优选。更优选为0.010(μm)以上。进一步优选为0.020(μm)以上。此外，若平均最大峰高为12.000(μm)以下，则不易引起配置于透明导电性薄膜的透明导电膜侧的突起上的透明导电膜与触摸面板用ito玻璃的透明导电膜的意外的电接触，因此容易防止误输入，因此优选。更优选为11.000(μm)以下。进一步优选为10.000(μm)以下。由上发现，通过硬挺度和平均最大峰高的适度的平衡，满足轻快的操作性等。
[0131]
在本发明中，优选在实施了薄膜硬挺度试验时，薄膜硬挺度试验的硬挺度为0.23n/cm以上且0.90n/cm以下，进而透明导电性薄膜的透明导电膜侧的面的以下的平均最大峰高满足下述式(2-1)式以及式(2-2)式，进而，由下述的接触面积率评价算出的值满足式(2-3)。
[0132]
(接触面积率评价)
[0133]
对于透明导电性薄膜的导电面，使用三维表面形状测定装置伯特扫描(菱化系统公司制造，r5500h-m100(测定条件：wave模式、测定波长560nm、物镜50倍))，在测定长度100μm～200μm的范围内，依据jis b 0601-2001测定算术平均粗糙度ra。其中，满足“rp-平均高度-ra≤0.20μm”和“(rp-平均高度)
÷
ra≤5.0”中的任一者或两者，进而以满足rsm≤30μm
地测定ra。在此，rp、rsm依据jis b 0601-2001进行测定。平均高度是测定长度中的高度的平均值。在不满足所述条件的情况下，在不同的点进行再测定。接下来，对于相同的透明导电性薄膜的导电面，使用三维表面形状测定装置伯特扫描(菱化系统公司制造，r5500h-m100(测定条件：wave模式、测定波长560nm、物镜10倍))，进一步使用该测定装置中的粒子解析，以“ra-15nm-平均高度”为阈值求出截面积的总和。将截面积的总和除以测定视野的面积所得的值再乘以100的值作为接触面积率。
[0134]
式(2-1)平均最大峰高(μm)≥4.7
×
硬挺度-1.8
[0135]
式(2-2)0.005(μm)≤平均最大峰高(μm)≤12.000(μm)
[0136]
式(2-3)接触面积率(％)≥32.6
×
硬挺度 17.2
[0137]
通过接触面积率评价，对式(2-3)进行说明。在用笔、手指等向电阻膜式触摸面板输入时，透明导电性玻璃与透明导电性薄膜接触。当笔、手指等从电阻膜式触摸面板的透明导电性薄膜离开时，透明导电性玻璃与透明导电性薄膜的接触面积变小。若接触面积变小，则透明导电性玻璃与透明导电性薄膜的电接触的稳定性也降低。用笔、手指等向电阻膜式触摸面板输入时的透明导电性玻璃与透明导电性薄膜的接触面积越大，透明导电性玻璃与透明导电性薄膜的电接触的稳定性越高，因此在笔、手指等从电阻膜式触摸面板的透明导电性薄膜离开时，能够获得透明导电性玻璃与透明导电性薄膜的电接触变得不稳定的接触面积的时间。能够将这样的直到成为电接触变得不稳定的接触面积为止的时间理解为与本发明中的失压时间相同的意义。即，若在本发明中的失压时间内，则意味着对触摸面板的输入稳定。
[0138]
即使向触摸面板输入的笔、手指等的尺寸相同，透明导电性玻璃与透明导电性薄膜的接触面积也不同。发现以下所示的接触面积率与笔输入稳定性有强烈的相关性。
[0139]
在用笔、手指等向电阻膜式触摸面板输入时，对透明导电性玻璃与透明导电性薄膜的接触部进行叙述。与透明导电性玻璃接触的透明导电性薄膜的大部分是透明导电性薄膜的平均高度的突起。由于难以准确地计算与透明导电性薄膜的平均高度的突起的接触面积，因此作为代替指标，使用比透明导电性薄膜的平均突起的高度稍小的高度(＝比透明导电性薄膜的平均高度低15nm的高度)的透明导电性薄膜的透明导电膜侧的截面积。在此，若使用iso25178的算术平均高度sa、jis b 0601-2001的算术平均粗糙度ra作为透明导电性薄膜的平均突起的高度，则透明导电性薄膜的位于透明导电膜侧的数量少，但由于高度非常高的粗大突起的影响，sa、ra比透明导电性薄膜的实际的平均突起的高度大，因此不优选。因此，为了消除粗大突起的影响，实施以下。
[0140]
对于透明导电性薄膜的导电面，使用三维表面形状测定装置伯特扫描(菱化系统公司制造，r5500h-m100(测定条件：wave模式、测定波长560nm、物镜50倍))，在测定长度100μm～200μm的范围内，根据jis b 0601-2001测定算术平均粗糙度ra。其中，测定ra，以使得满足“rp-平均高度-ra≤0.20μm”和“(rp-平均高度)
÷
ra≤5.0”中的任一者或两者，进而满足rsm≤30μm。在此，rp、rsm根据jis b 0601-2001进行测定。平均高度是测定长度中的高度的平均值。
[0141]
发现若满足“rp-平均高度-ra≤0.20μm”和“(rp-平均高度)
÷
ra≤5.0”中的任一方或双方，进而满足rsm≤30μm，则粗大突起的影响变少，因此能够计算透明导电性薄膜的平均突起的高度。在不满足所述条件的情况下，粗大突起的影响大，因此无法计算透明导电
性薄膜的平均突起的高度，因此在不同的点进行再测定。
[0142]
接下来，对于相同的透明导电性薄膜的导电面，使用三维表面形状测定装置伯特扫描(菱化系统公司制造，r5500h-m100(测定条件：wave模式、测定波长560nm、物镜10倍))，进一步使用该测定装置中的粒子解析，以“ra-15nm-平均高度”为阈值求出截面积的总和。将截面积的总和除以测定视野的面积所得的值再乘以100的值作为接触面积率。若接触面积率满足式(2-3)，则笔输入稳定性试验的失压时间成为本发明的范围内，成为优异的笔输入稳定性，因此优选。对式(2-3)进行说明。通过研究可知，硬挺度大时，笔、手指等从电阻膜式触摸面板的透明导电性薄膜离开的速度增加，因此，若不使用接触面积率大的透明导电性薄膜，则不表现出优异的笔输入稳定性。为了表现优异的笔输入稳定性，只要接触面积率与硬挺度的相关关系为式(2-3)即可。更优选式(2-3)的y切片，即上述式(2-3)的“ 17.2”所示的值为 17.5以上。进一步优选式(2-3)的y切片为 18.0以上。
[0143]
发现通过满足式(2-1)、式(2-2)、式(2-3)的全部，能够兼顾轻快的操作性以及优异的笔输入稳定性。
[0144]
式(2-1)平均最大峰高(μm)≥4.7
×
硬挺度-1.8
[0145]
式(2-2)0.005(μm)≤平均最大峰高(μm)≤12.000(μm)
[0146]
式(2-3)接触面积率(％)≥32.6
×
硬挺度 17.2
[0147]
在本发明中，下述记载的平均最大峰高评价中的最大峰高的最大值超过所述平均最大峰高的1.0倍且为1.4倍以下，并且，
[0148]
平均最大峰高评价中的最大峰高的最小值为所述平均最大峰高的0.6倍以上且1.0倍以下。若为所述范围，则输入开始载荷的偏差小于
±
5％，因此优选。
[0149]
若平均最大峰高评价中的最大峰高的最小值为平均最大峰高的0.6倍以上，则与轻快的操作性相关的透明导电性薄膜的透明导电膜侧的高突起的面内分布均衡，因此在用笔、手指从透明导电性薄膜侧按压时，无论在哪个场所都能够以同等的输入载荷进行触摸面板的输入，因此是优选的。更优选为0.7倍以上。进一步优选为0.8倍以上。
[0150]
另一方面，若平均最大峰高评价中的最大峰高的最大值为平均最大峰高的1.4倍以下，则与轻快的操作性相关的透明导电性薄膜的透明导电膜侧的高突起的面内分布均衡，因此，在用笔、手指从透明导电性薄膜侧按压时，无论在哪个场所都能够以同等的输入载荷进行触摸面板的输入，因此优选。更优选为1.3倍以下。进一步优选为1.2倍以下。
[0151]
(平均最大峰高评价)
[0152]
平均最大峰高为5点的最大峰高的平均。5点的选择方法首先选择任意的1点a。接下来，相对于a在薄膜的长度(md)方向的上下游1cm处选择各1点、共计2点。接下来，相对于a，在薄膜的宽度(td)方向的左右1cm处选择各1点、共计2点。最大峰高由iso25178规定，使用三维表面形状测定装置伯特扫描(菱化系统公司制造，r5500h-m100(测定条件：wave模式、测定波长560nm、物镜10倍))，求出最大峰高。此外，小于1nm的值通过四舍五入来舍掉。
[0153]
本发明中的透明导电膜由铟-锡复合氧化物构成。另外，本发明的透明导电性薄膜的表面电阻优选为50～900ω/
□
，更优选为50～700ω/
□
。此外，本发明的透明导电性薄膜的总透光率优选为70～95％。
[0154]
在本发明中，透明导电膜的厚度优选为10nm以上且100nm以下。若透明导电膜的厚度为10nm以上，则透明导电膜整体附着于透明膜基材或固化型树脂层，透明导电膜的膜质
稳定，其结果表面电阻值稳定而成为优选的范围，因此优选。更优选为透明导电膜的厚度为13nm以上，更优选为16nm以上。此外，若透明导电膜的厚度为100nm以下，则透明导电膜的晶粒径和晶化度适度，进而总透光率成为实用的水平，因此优选。更优选为50nm以下，进一步优选为30nm以下，特别优选为25nm以下。
[0155]
在本发明中透明导电性薄膜的透明导电膜中所含的氧化锡浓度为0.5～40质量％。发现透明导电性薄膜的透明导电膜中所含的氧化锡浓度越接近触摸面板用ito玻璃中所含的氧化锡浓度，则透明导电性薄膜的透明导电膜与ito玻璃的透明导电膜越容易电接触，因此具有轻快的操作性以及优异的笔输入稳定性。触摸面板用ito玻璃中所含的氧化锡浓度一般为10质量％。
[0156]
在本发明中，透明导电性薄膜的透明导电膜中所含的氧化锡浓度与触摸面板用ito玻璃中所含的氧化锡浓度之差为30质量％以下，则透明导电性薄膜的透明导电膜和ito玻璃的透明导电膜容易电接触，因此具有轻快的操作性以及优异的笔输入稳定性，因此优选。
[0157]
触摸面板用ito玻璃中所含的氧化锡浓度大多为10质量％。因此，在本发明中，透明导电性薄膜的氧化锡浓度优选为40质量％以下。更优选为25质量％以下。进一步优选为20质量％以下。特别优选为2质量％以上且18质量％。此外，若含有0.5质量％以上的氧化锡，则透明导电性薄膜的表面电阻成为实用的水平而优选。更优选氧化锡的含有率为1质量％以上，特别优选为2质量％以上。
[0158]
在一个方式中，本发明中的透明导电性薄膜在透明导电膜与透明塑料薄膜基材之间具有固化型树脂层。
[0159]
进而，优选在透明塑料薄膜基材的与透明导电膜相反的一侧具有功能层。
[0160]
如图2所示的结构例所示，能够依次具有透明导电膜5、固化型树脂层6、透明塑料薄膜基材7以及功能层8。
[0161]
在触摸面板加工工序中对透明导电性薄膜进行加热，此时，若从透明塑料薄膜基材产生的单体、低聚物析出到透明导电膜上，则有可能阻碍触摸面板的轻快的操作性、笔输入稳定性。
[0162]
因此，通过在透明导电膜与透明塑料薄膜基材之间存在固化型树脂层，能够阻挡在透明导电膜上析出单体、低聚物，因此优选。
[0163]
此外，从透明塑料薄膜基材析出的单体、低聚物有可能降低透明导电性薄膜的视觉辨认性，因此优选在透明塑料薄膜基材上具有固化型树脂层以及功能层。
[0164]
此外，通过具有固化型树脂层以及功能层，能够将透明导电性薄膜的硬挺度在本发明中进一步调整为优选的范围。
[0165]
本发明所涉及的固化型树脂层以及功能层能够更有效地表现笔滑动耐久性等各种特性。特别是，在本发明中，通过具有固化型树脂层以及功能层，能够调整本发明的透明导电性薄膜的硬挺度，能够将输入开始载荷调整为给定的范围，在此基础上，能够起到优异的视觉辨认性。
[0166]
不应被限定解释为特定的理论，但在本发明中，通过同时具有固化型树脂层以及功能层，能够在电阻膜式触摸面板中显示轻快的操作感和更准确的输入性。
[0167]
此外，通过在透明塑料薄膜基材上具有固化型树脂层，除了透明导电膜的密合力
增加以外，还能够分散施加于透明导电膜的力，因此能够对笔滑动耐久性试验中的透明导电膜抑制裂缝、剥离、磨损等，因此优选。此外，通过在透明塑料薄膜基材上具有功能层，不易产生由于用笔等输入而导致的损伤，因此优选。
[0168]
在一个方式中，本发明中的透明导电性薄膜在透明塑料薄膜基材的至少1侧层叠易粘接层。
[0169]
例如，本发明中的透明导电性薄膜优选在透明塑料薄膜基材与固化型树脂层之间、透明塑料薄膜基材与功能层之间、或任一者中均包含易粘接层。在图3、图4、图5中示出结构例。在这些图中，配置易粘接层9。其他符号与图2同义。
[0170]
通过具有易粘接层，固化型树脂层以及功能层能够牢固地密合于透明塑料薄膜基材，因此能够更有效地抑制由外力引起的固化型树脂层以及功能层的剥离，因此优选。
[0171]
本发明的透明导电性薄膜是在透明塑料薄膜基材上的至少一面层叠铟-锡复合氧化物的透明导电膜的透明导电性薄膜，优选通过以下的笔滑动耐久性试验得到的透明导电膜的透明导电膜的导通电阻为10kω以下。
[0172]
(笔滑动耐久性试验)
[0173]
将本发明所涉及的透明导电性薄膜用作一个面板，作为另一个面板，使用包含铟-锡复合氧化物薄膜(氧化锡含量：10质量％)的透明导电性薄膜，该铟-锡复合氧化物薄膜是在玻璃基板上通过溅射法形成的，厚度为20nm。隔着直径30μm的环氧珠配置该2片面板，以使透明导电性薄膜对置，用厚度170μm的双面胶带粘贴薄膜侧的面板和玻璃侧的面板，制作触摸面板。接下来，对聚缩醛制的笔(前端的形状：0.8mmr)施加2.5n的载荷，在触摸面板上进行5万次往复的直线滑动试验。在该试验中，对本发明所涉及的透明导电性薄膜面施加笔的载荷。此时的滑动距离为30mm，滑动速度为180mm/秒。在该滑动耐久性试验后，测定以笔载荷0.8n按压滑动部时的导通电阻(可动电极(薄膜电极)与固定电极接触时的电阻值)。
[0174]
在本发明中，若基于笔滑动耐久性试验的透明导电膜的透明导电膜的导通电阻为10kω以下，则即使用笔连续输入到触摸面板，也能够对透明导电膜抑制裂缝、剥离、磨损等，因此优选。在一个方式中，导通电阻可以为9.5kω以下，更优选为5kω以下。例如，导通电阻为3kω以下，可以为1.5kω以下，优选为1kω以下。
[0175]
导通电阻例如为5kω以上，可以为3kω以上，优选为0kω以上。
[0176]
通过使导通电阻在这样的范围内，即使用笔连续输入到触摸面板，也能够对透明导电膜抑制裂缝、剥离、磨损等。
[0177]
在一个方式中，也可以适当组合这些上限以及下限。
[0178]
例如，本发明中的透明导电性薄膜在透明导电膜的表面的依据jis k5600-5-6：1999的附着性试验中，透明导电膜的残留面积率为95％以上。对于本发明的透明导电性薄膜，即使在透明导电膜面上实施附着性试验(jis k5600-5-6：1999)，透明导电膜的残留面积率也优选为95％以上，进一步优选透明导电膜的剥离面积为99％以上，特别优选为99.5％以上。通过在附着性试验中透明导电膜的残留面积率在上述范围内，透明导电膜与透明塑料薄膜基材、固化型树脂层等透明导电膜相接的层密合，因此即使用笔连续输入到触摸面板，透明导电性薄膜也能够对透明导电膜抑制裂缝、剥离、磨损等，进而，即使施加通常使用假定以上的强的力，也能够对透明导电膜抑制裂缝、剥离等，因此优选。
[0179]
例如，本发明中的透明导电性薄膜在功能层面的表面的依据jis k5600-5-6：1999
的附着性试验中，功能层的残留面积率为95％以上。对于本发明中的透明导电性薄膜而言，即使在功能层面实施附着性试验(jis k5600-5-6：1999)，功能层面的残留面积率也优选为95％以上，进一步优选功能层面的残留面积率为99％以上，特别优选为99.5％以上。
[0180]
在附着性试验中功能层不剥离的透明导电性薄膜，由于透明塑料薄膜基材与功能层密合，因此即使用笔连续输入到触摸面板，功能层的裂缝、剥离、磨损等外观不良得到抑制，进而，即使施加通常使用假定以上的强的力，功能层也会缓和强的力，因此对透明导电膜抑制了裂缝、剥离等，因此优选。
[0181]
用于得到本发明的透明导电性薄膜的制造方法没有特别限定，例如能够优选例示以下那样的制造方法。
[0182]
作为在透明塑料薄膜基材上的至少一个面上成膜铟-锡复合氧化物的透明导电膜的方法，优选使用溅射法。为了以高生产率制造透明导电性薄膜，优选使用供给膜辊并在成膜后卷绕成膜辊的形状的所谓的辊式溅射装置。可以优选采用如下方法：在成膜气氛中使用质量流量控制器，通入惰性气体、氧气，使用铟-锡复合氧化物的烧结靶，调整铟-锡复合氧化物的透明导电膜的厚度为10～100nm，在透明塑料薄膜上成膜透明导电膜。为了提高生产效率，也可以相对于膜的流动方向设置多片铟-锡复合氧化物的烧结靶。此外，在成膜气氛中使用质量流量控制器，也可以通入含有氢原子的气体(只要是氢、氨、氢 氩混合气体等包含氢原子的气体，则没有特别限定)。已知若成膜气氛中的水多，则透明导电膜的膜质降低，表面电阻值偏离优选的范围，或者本来晶体化的透明导电膜不晶体化等对透明导电膜的膜质造成不良影响，因此成膜气氛中的水分量也是重要的因素。通过将向膜辊的溅射时的成膜气氛的水分压相对于惰性气体的比的中心值(最大值与最小值的中间的值)控制为7.00
×
10-3
以下，能够抑制透明导电膜的膜质的降低，因此优选。为了进行成膜气氛中的水分量控制，除了作为溅射机的排气装置而经常使用的旋转泵、涡轮分子泵、低温泵以外，还优选下述的轰击工序、下述的膜辊端面的凹凸的高低差的限定、在成膜透明导电膜的面的相反面粘贴吸水率低的保护薄膜等减少在成膜透明导电膜时从膜释放出的水分量而优选。此外，优选使溅射时的膜温度为0℃以下，在透明塑料薄膜上成膜透明导电膜。成膜中的膜温度用调节与行进膜接触的中心辊的温度的温控器的设定温度来代替。在此，图1表示在本发明中优选使用的溅射装置的一例的示意图，行进的膜1与中心辊2的表面部分地接触而行进。经由烟囱3设置铟-锡的溅射靶4，在中心辊2上行进的膜1的表面堆积并层叠铟-锡复合氧化物的薄膜。中心辊2由未图示的温控器进行温度控制。若膜温度为0℃以下，则能够抑制来自使透明导电膜的膜质降低的膜的水、有机气体等杂质气体的释放出，因此优选。此外，为了使透明导电性薄膜的表面电阻以及总透光率达到实用的水平，优选在溅射时添加氧气。
[0183]
在塑料薄膜上形成铟-锡复合氧化物时的水分量的控制中，与观测到达真空度相比，基于以下的两个理由优选实际观测成膜时的水分量。
[0184]
作为其理由的第一点，通过溅射在塑料薄膜上进行成膜时，薄膜被加热，水分从薄膜释放而出，因此成膜气氛中的水分量增加，与测定到达真空度时的水分量相比增加，因此与以到达真空度表现相比，以成膜时的水分量表现更为准确。
[0185]
其理由的第二点，是大量投入透明塑料薄膜的装置的情况。在这样的装置中，以膜辊的方式投入薄膜。若将薄膜作为辊投入真空槽，则辊的外层部分的水容易脱落，但辊的内
层部分的水难以脱落。这是因为，在测定到达真空度时，膜辊停止，但在成膜时膜辊行进，因此包含大量水的膜辊的内层部分被卷出，因此成膜气氛中的水分量增加，与测定到达真空度时的水分量相比增加。在本发明中，在控制成膜气氛中的水分量时，通过观测溅射时的成膜气氛的水分压力相对于惰性气体的比，能够优选地应对。
[0186]
优选在成膜透明导电膜之前，使薄膜通过轰击工序。所谓轰击工序是指，在仅通入氩气等惰性气体或氧等反应性气体与惰性气体的混合气体的状态下，施加电压进行放电，产生等离子体。具体而言，优选用sus靶等通过rf溅射来轰击薄膜。由于通过轰击工序使薄膜暴露于等离子体中，因此从薄膜释放出水、有机成分，在成膜透明导电膜时从薄膜释放出的水、有机成分减少，因此透明导电膜的膜质变得良好，因此优选。此外，由于通过轰击工序使透明导电膜接触的层活性化，因此透明导电膜的密合性提高，因此笔滑动耐久性、笔重加压耐久性提高，因此优选。
[0187]
用于成膜透明导电膜的膜辊在辊端面中，最凸的部位与最凹的部位的高低差优选为10mm以下。若为10mm以下，则在将膜辊投入溅射装置时不易从膜端面释放出水、有机成分，因此透明导电膜的膜质变得良好，因此优选。
[0188]
在成膜透明导电膜的膜(透明塑料薄膜基材)中，优选在成膜透明导电膜的面的相反面粘贴吸水率低的保护薄膜。通过粘贴吸水率低的保护薄膜，不易释放出来自薄膜基材的水等气体，透明导电膜的膜质变得良好，因此优选。作为吸水率低的保护薄膜的基材，优选聚乙烯、聚丙烯、环烯烃等。
[0189]
在透明塑料薄膜基材上的至少一个面成膜铟-锡复合氧化物的透明导电膜的方法中，优选在溅射时导入氧气。若在溅射时导入氧气，则不会因铟-锡复合氧化物的透明导电膜的氧的缺乏而产生不良情况，透明导电性薄膜的表面电阻变低，总透光率变高而优选。因此，为了使透明导电性薄膜的表面电阻以及总透光率达到实用的水平，优选在溅射时导入氧气。另外，本发明的透明导电性薄膜的总透光率优选为70～95％。
[0190]
本发明的透明导电性薄膜优选在透明塑料薄膜基材上成膜层叠铟-锡复合氧化物的透明导电膜后，在包含氧的气氛下，实施80～200℃、0.1～12小时加热处理。若为80℃以上，则出于提高笔滑动耐久性的目的，在需要提高透明导电膜的晶体性的情况下是优选的。若为200℃以下，则确保透明塑料薄膜的平面性而优选。
[0191]
《透明塑料薄膜基材》
[0192]
本发明中使用的透明塑料薄膜基材是指将有机高分子以膜状熔融挤出或者溶液挤出，根据需要在长度方向和/或宽度方向上实施拉伸、冷却、热固定而得到的膜，作为有机高分子，可举出聚乙烯、聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚2，6-萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、尼龙6、尼龙4、尼龙66、尼龙12、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚醚砜、聚醚醚酮、聚碳酸酯、聚芳酯、纤维素丙酸酯、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯、聚乙烯醇、聚醚酰亚胺、聚苯硫醚、聚苯醚、聚苯乙烯、间规聚苯乙烯、降冰片烯系聚合物等。
[0193]
在这些有机高分子中，优选聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚2，6-萘二甲酸乙二醇酯、间规聚苯乙烯、降冰片烯系聚合物、聚碳酸酯、聚芳酯等。此外，这些有机高分子可以将其他的有机聚合物的单体少量共聚，或者将其他的有机高分子共混。
[0194]
在不损害本发明的目的的范围内，本发明中使用的透明塑料薄膜基材可以对所述
膜实施电晕放电处理、辉光放电处理、火焰处理、紫外线照射处理、电子束照射处理、臭氧处理等表面活性化处理。
[0195]
本发明中的透明导电性薄膜的透明塑料薄膜基材的厚度优选为100μm以上且240μm以下的范围，更优选为120μm以上且220μm以下。若塑料薄膜的厚度为100μm以上，则机械强度被保持，特别是在用于触摸面板时对笔输入的变形小，笔滑动耐久性优异，因此优选。另一方面，厚度为240μm以下时，在用于触摸面板时，为了保持轻快的操作性、优异的笔输入稳定性，优选。
[0196]
若在透明塑料薄膜基材上层叠固化型树脂层，则能够阻挡从透明塑料薄膜基材产生的单体、低聚物在透明导电膜上析出，因此不会阻碍触摸面板的轻快的操作性，因此优选。此外，透明导电膜与固化型树脂层牢固地密合，能够分散施加于透明导电膜的力，因此相对于笔滑动耐久性试验中的透明导电膜能够抑制裂缝、剥离、磨损等，因此优选。为了提高透明塑料薄膜基材与固化型树脂层的密合力，优选在透明塑料薄膜基材与固化型树脂层之间设置易粘接层。
[0197]
若在透明塑料薄膜基材上层叠功能层，则能够阻挡从透明塑料薄膜基材产生的单体、低聚物析出，因此，为了抑制透明导电性薄膜视觉辨认性降低，优选。为了调整透明导电性薄膜的硬挺度，优选在透明塑料薄膜基材具有功能层。此外，通过在透明塑料薄膜基材具有功能层，不易产生由于用笔等输入而导致的损伤，因此优选。
[0198]
此外，作为本发明中优选使用的所述固化型树脂层以及功能层中所含的树脂，只要是通过加热、紫外线照射、电子束照射等能量施加而固化的树脂就没有特别限制，可以举出有机硅树脂、丙烯酸树脂、甲基丙烯酸树脂、环氧树脂、三聚氰胺树脂、聚酯树脂、聚氨酯树脂等。从生产率的观点出发，优选以紫外线固化型树脂为主成分。
[0199]
固化型树脂层以及功能层中所含的树脂可以是相同的树脂，也可以是不同的树脂。
[0200]
作为这样的紫外线固化型树脂，例如可以举出由多元醇的丙烯酸或者甲基丙烯酸酯之类的多官能性的丙烯酸酯树脂、二异氰酸酯、多元醇以及丙烯酸或者甲基丙烯酸的羟基烷基酯等合成的多官能性的氨基甲酸酯丙烯酸酯树脂等。根据需要，可以在这些多官能性的树脂中加入单官能性的单体，例如乙烯基吡咯烷酮、甲基丙烯酸甲酯、苯乙烯等进行共聚。
[0201]
此外，为了提高透明导电性薄膜与固化型树脂层的附着力，利用以下记载的方法对固化型树脂层的表面进行处理是有效的。作为具体的方法，可以列举：为了增加羰基、羧基、羟基而照射辉光或者电晕放电的放电处理法；为了增加氨基、羟基、羰基等极性基而用酸或者碱进行处理的化学药剂处理法等。
[0202]
紫外线固化型树脂通常添加光聚合引发剂而使用。作为光聚合引发剂，能够没有特别限制地使用吸收紫外线而产生自由基的公知的化合物，作为这样的光聚合引发剂，例如可以举出各种苯偶姻类、苯基酮类、二苯甲酮类等。相对于紫外线固化型树脂100质量份，光聚合引发剂的添加量通常优选为1～5质量份。
[0203]
此外，在本发明中，固化型树脂层以及功能层除了作为主要结构成分的固化型树脂以外，优选同时采用无机粒子、有机粒子。通过使无机粒子、有机粒子分散于固化型树脂，能够在固化型树脂层以及功能层的表面形成凹凸，提高宽区域中的表面粗糙度。
[0204]
在本发明中，通过提高固化型树脂层的表面粗糙度，能够将透明导电性薄膜的硬挺度在本发明中进一步调整为优选的范围。此外，能够更有效地表现笔滑动耐久性以及防牛顿环性、薄膜的卷取性等各种特性。
[0205]
在本发明中，通过提高功能层的表面粗糙度，能够将透明导电性薄膜的硬挺度在本发明中进一步调整为优选的范围。此外，能够更有效地表现膜的卷绕性、笔等的书写感觉、手指的触感等各种特性。
[0206]
作为所述的无机粒子例示二氧化硅等。作为所述的有机粒子例示聚酯树脂、聚烯烃树脂、聚苯乙烯树脂和聚酰胺树脂等。固化型树脂层以及功能层中所含的粒子可以是相同的粒子，也可以是不同的粒子。
[0207]
除了无机粒子、有机粒子以外，除了作为主要结构成分的固化型树脂以外，还优选同时采用与固化型树脂非相溶的树脂。通过在基体的固化型树脂中少量同时采用非相溶的树脂，能够在固化型树脂中产生相分离，使非相容树脂分散为粒子状。通过该非相容树脂的分散粒子，在固化型树脂层以及功能层的表面形成凹凸，能够提高宽区域的表面粗糙度。
[0208]
作为非相溶树脂，可以例示聚酯树脂、聚烯烃树脂、聚苯乙烯树脂、聚酰胺树脂等。
[0209]
在此，作为一例，示出在固化型树脂层中使用无机粒子的情况下的配合比例。相对于紫外线固化型树脂100质量份，无机粒子优选为0.1质量份以上且30质量份以下，进一步优选为0.1质量份以上且25质量份以下，特别优选为0.1质量份以上且20质量份以下。若所述无机粒子的配合量相对于紫外线固化型树脂100质量份为0.1质量份以上且30质量份以下，则形成于固化型树脂层表面的凸部过小，能够赋予有效的平均最大峰高，具有对触摸面板的轻快的操作性，进而在透明导电膜上存在少许表面突起，因此也能够保持膜卷取性，因此优选。此外，在固化型树脂层中使用无机粒子的情况下，其配合比例在上述范围内高时，存在固化型树脂层的平均最大峰高变高的倾向。
[0210]
此外，在固化型树脂层中使用无机粒子的情况下，其配合比例在上述范围内较高时，存在使透明导电性薄膜的硬挺度增加的倾向。
[0211]
在此，作为一例，表示在功能层中使用无机粒子的情况下的配合比例。相对于紫外线固化型树脂100质量份，无机粒子优选为0.1质量份以上且60质量份以下。
[0212]
在功能层中使用无机粒子的情况下，其配合比例在上述范围内的配合比例高时，存在使透明导电性薄膜的硬挺度降低的倾向。此外，无机粒子的配合量越少，存在透明导电性薄膜的接触面积率越大的倾向。若所述无机粒子的配合量相对于紫外线固化型树脂100质量份为0.1质量份以上且60质量份以下，则能够将透明导电性薄膜的硬挺度调整为本发明所涉及的适当的值，因此优选。此外，由于能够在不损害本发明的效果的范围内对功能层进行表面突起，因此还能够保持膜卷取性，因此优选。
[0213]
在此，作为一例，表示在固化型树脂层中使用无机粒子的情况下的无机粒子的尺寸。作为无机粒子的尺寸，优选平均粒径为0.010～10.000μm。在固化型树脂层中使用无机粒子的情况下，可以混合平均粒径不同的无机粒子。平均粒径越大，则固化型树脂层的平均最大峰高倾向于越大。固化型树脂层中使用的无机粒子的平均粒径越一致，则存在透明导电性薄膜的接触面积率越大的倾向。
[0214]
在一个方式中，能够同时采用平均粒径为1.0μm以上且10.000μm的无机粒子a和平均粒径为0.010μm以上且小于1.0μm的无机粒子b。例如，无机粒子b的平均粒径优选为0.05μ
m以上。
[0215]
进而，在包含无机粒子a和无机粒子b的情况下，固化型树脂层中的无机粒子a的量相对于固化型树脂层的固体成分100wt％例如为0.1wt％以上且5wt％以下。固化型树脂层中的无机粒子b的量相对于固化型树脂层的固体成分100wt％，优选比无机粒子a的量多，例如为超过5wt％且30wt％以下。
[0216]
通过具有这样的关系，固化型树脂层的平均最大峰高增大，并且能够增大透明导电性薄膜的接触面积率，能够进一步缩短失压时间。此外，由于能够使失压在本发明的范围内更小，因此输入的不稳定的时间变短，例如，在连续地记载文字时，能够更有效地防止文字模糊。
[0217]
在此，作为一例，表示在功能层中使用无机粒子的情况下的无机粒子的尺寸。作为无机粒子的尺寸，优选平均粒径为0.010～10.000μm。在功能层中使用无机粒子的情况下，可以混合平均粒径不同的无机粒子。
[0218]
所述的紫外线固化型树脂、光聚合引发剂以及与无机粒子、有机粒子、紫外线固化型树脂非相溶的树脂分别溶解于共同的溶剂而制备涂敷液。使用的溶剂没有特别限制，例如能够单独或者混合使用乙醇、异丙醇等醇类溶剂，乙酸乙酯、乙酸丁酯等酯类溶剂，二丁基醚、乙二醇单乙基醚等醚类溶剂，甲基异丁基酮、环己酮等酮类溶剂、甲苯、二甲苯、溶剂石脑油等芳香族烃类溶剂等。
[0219]
涂敷液中的树脂成分的浓度能够考虑与涂布法相应的粘度等而适当地选择。例如，紫外线固化型树脂、光聚合引发剂以及高分子量的聚酯树脂的合计量在涂敷液中所占的比例通常为20～80质量％。树脂成分的浓度高时，存在固化型树脂层的平均最大峰高变高的倾向。此外，根据需要，也可以在该涂敷液中添加其它公知的添加剂，例如有机硅系流平剂等。
[0220]
在本发明中，制备的涂敷液涂布在透明塑料薄膜基材上。涂布法没有特别限制，能够使用棒涂法、凹版涂布法、逆转涂布法等以往已知的方法。
[0221]
涂布后的涂敷液在接下来的干燥工序中溶剂蒸发除去。在该工序中，在涂敷液中均匀溶解的高分子量的聚酯树脂成为粒子而在紫外线固化型树脂中析出。对涂膜进行干燥后，对塑料薄膜照射紫外线，由此使紫外线固化型树脂交联/固化而形成固化型树脂层以及功能层。在该固化的工序中，高分子量的聚酯树脂的粒子固定于硬涂层中，并且在固化型树脂层以及功能层的表面形成突起，使宽区域中的表面粗糙度提高。
[0222]
此外，固化型树脂层的厚度优选为0.1μm以上且15μm以下的范围。更优选为0.5μm以上且10μm以下的范围，特别优选为1μm以上且8μm以下的范围。在固化型树脂层的厚度为0.1μm以上的情况下，优选形成充分的突起。另一方面，若为15μm以下，则生产率良好，因此优选。此外，若固化型树脂层较厚，则存在使透明导电性薄膜的硬挺度增加的倾向。
[0223]
此外，功能层的厚度优选为0.1μm以上且15μm以下的范围。更优选为0.5μm以上且15μm以下的范围，特别优选为1μm以上且10μm的范围。功能层厚时，存在使透明导电性薄膜的硬挺度降低的倾向。在功能层的厚度为0.1μm以上的情况下，优选形成充分的突起。另一方面，若为15μm以下，则生产率良好，因此优选。
[0224]
对于固化型树脂层中所含的无机粒子/有机粒子/非相溶树脂的添加量，进而固化型树脂层的厚度对透明导电性薄膜的硬挺度带来的影响，通过适当地选择功能层中所含的
无机粒子/有机粒子/非相溶树脂的添加量、进而功能层的厚度，能够使透明导电性薄膜的硬挺度成为上述的适当的值。
[0225]
因此，在本发明中，若仅设置功能层，则并不能够得到本发明所起到的效果，通过具有本发明所涉及的特征，能够有效地有助于透明导电性薄膜的硬挺度。
[0226]
在一个方式中，固化型树脂层的厚度与功能层的厚度可以相同。此外，在另一方式中，例如，固化型树脂层的厚度与功能层的厚度之差的绝对值具有以下的关系。
[0227]
0.1μm≤|固化型树脂层的厚度-功能层的厚度|≤3μm
[0228]
这样，在本发明中，通过在固化型树脂层的厚度与功能层的厚度设置差，也能够将透明导电性薄膜的硬挺度在本发明中调整为更优选的范围。此外，能够更有效地表现笔滑动耐久性等各种特性，而且能够得到具有轻快的操作性的透明导电性薄膜。
[0229]
此外，固化型树脂层的每单位体积的粒子质量与功能层的每单位体积的粒子质量优选不同。
[0230]
本发明所涉及的易粘接层优选由含有聚氨酯树脂、交联剂以及聚酯树脂的组合物形成。作为交联剂，优选为封端异氰酸酯，进一步优选为3官能以上的封端异氰酸酯，特别优选为4官能以上的封端异氰酸酯。易粘接层的厚度优选为0.001μm以上且2.00μm以下。
[0231]
实施例
[0232]
以下，通过实施例对本发明进行更详细的说明，但本发明并不受这些实施例的任何限定。另外，实施例中的各种测定评价通过下述方法进行。
[0233]
(1)总透光率
[0234]
依据jis-k7361-1：1997，使用日本电色工业(公司)制造的ndh-2000，测定总透光率。
[0235]
(2)表面电阻值
[0236]
依据jis-k7194：1994，通过4端子法测定。测定机使用(株)三菱化学分析技术(mitsubishi chemical analytech co.，ltd.)制造的lotesta ax mcp-t370。
[0237]
(3)平均最大峰高评价
[0238]
平均最大峰高为5点的最大峰高的平均。5点的选择方法首先选择任意的1点a。接下来，相对于a在薄膜的长度(md)方向的上、下游1cm处选择各1点、共计2点。接下来，相对于a，在薄膜的宽度(td)方向的左右1cm处选择各1点、共计2点。最大峰高由iso 25178规定，使用三维表面形状测定装置伯特扫描(菱化系统公司制造，r5500h-m100(测定条件：wave模式、测定波长560nm、物镜10倍))，求出最大峰高。此外，小于1nm的值通过四舍五入来舍掉。
[0239]
(4)透明导电膜的晶化度
[0240]
将层叠透明导电性薄膜层的膜试样片切成1mm
×
10mm的大小，使导电性薄膜面朝外侧而粘贴于适当的树脂块的上表面。对其进行修整后，通过一般的超薄切片机的技法制作与膜表面大致平行的超薄切片。
[0241]
用透射型电子显微镜(jeol公司制造，jem-2010)观察该切片，选择加速电压200kv、以直接倍率40000倍对没有显著损伤的导电性薄膜表面部分进行照片摄影。
[0242]
作为透明导电膜的晶体性评价，观察在透射型电子显微镜下观察到的晶粒的比例、即晶化度。
[0243]
(5)透明导电膜的厚度(膜厚)
[0244]
将层叠透明导电性薄膜层的膜试样片切成1mm
×
10mm的大小，包埋在电子显微镜用环氧树脂中。将其固定在超薄切片机的试样保持架上，制作与包埋的试样片的短边平行的截面薄切片。接下来，在该切片的薄膜的没有显著损伤的部位，使用透射型电子显微镜(jeol公司制造，jem-2010)，在加速电压200kv、明场中以观察倍率1万倍进行照片摄影，根据得到的照片求出膜厚。
[0245]
(6)笔滑动耐久性试验
[0246]
将透明导电性薄膜用作一个面板，作为另一方的面板，使用包含铟-锡复合氧化物薄膜(氧化锡含量：10质量％)的透明导电性薄膜，该铟-锡复合氧化物薄膜是在玻璃基板上通过溅射法形成，厚度为20nm。将该2片面板隔着直径30μm的环氧珠进行配置、以使透明导电性薄膜对置，来制作触摸面板。接下来，对聚缩醛制的笔(前端的形状：0.8mmr)施加2.5n的载荷，在触摸面板上进行5万次往复的直线滑动试验。此时的滑动距离为30mm，滑动速度为180mm/秒。在该滑动耐久性试验后，测定以笔载荷0.8n按压滑动部时的、导通电阻(可动电极(薄膜电极)与固定电极接触时的电阻值)。导通电阻优选为10kω以下。
[0247]
(7)透明导电膜中中所含的氧化锡的含有率的测定
[0248]
切取试样(约15cm2)，在石英制三角烧瓶中加入6mol/l盐酸20ml，进行膜密封，以防止酸的挥发。一边在室温下时常摆动一边放置9天，使透明导电膜溶解。取出残膜，将溶解有透明导电膜的盐酸作为测定液。溶解液中的in、sn使用icp发光分析装置(制造商名；理学，装置型号；ciros-120eop)，通过校准曲线法求得。各元素的测定波长选择没有干涉的、灵敏度高的波长。此外，标准溶液稀释市售的in、sn的标准溶液来使用。
[0249]
(8)输入载荷试验方法
[0250]
将透明导电性薄膜(尺寸：220mm
×
135mm)用作一个面板，作为另一个面板，使用包含在玻璃基板(尺寸：232mm
×
151mm)上通过溅射法形成且厚度为20nm的铟-锡复合氧化物薄膜(氧化锡含量：10质量％)的透明导电性薄膜a。
[0251]
在带铟-锡复合氧化物薄膜的玻璃基板，以下也称为ito玻璃的透明导电性薄膜a侧，以4mm间距的正方格子状配置环氧树脂(纵60μm
×
横60μm
×
高5μm)，以作为点间隔件。
[0252]
接下来，以ito玻璃的四角的角的任意一个为起点，在ito玻璃的透明导电性薄膜a侧粘贴双面胶带(厚度：105μm、宽度6mm)，以使得能够形成190mm
×
135mm的长方形。
[0253]
接下来，在粘贴于ito玻璃的双面胶带上粘贴透明导电性薄膜的透明导电膜b侧，层叠成透明导电性薄膜a与透明导电膜b面对。
[0254]
此时，使透明导电性薄膜的一个短边侧从ito玻璃露出。
[0255]
接下来，用测试器连接ito玻璃和透明导电性薄膜。
[0256]
接下来，从透明导电性薄膜侧利用聚缩醛制的笔(前端的形状：0.8mmr)施加载荷，将由测试器计测出的电阻值稳定时的载荷值设为输入开始载荷。
[0257]
用笔施加载荷的位置是由四个点间隔件包围的中心区域，计算3点处的输入开始载荷的平均值。
[0258]
用笔施加载荷的位置如图6所示，为四个点间隔件的中心区域。此外，输入开始载荷是从双面胶带离开50mm以上的任意3点，取平均值。将小数点四舍五入。
[0259]
(9)薄膜硬挺度试验方法
[0260]
从透明导电性薄膜采集20mm
×
250mm的试验片，以透明导电层为上地将试验片配
置在表面平滑的水平台上。此时，仅将试验片的20mm
×
20mm的部分放置在水平台上，将20mm
×
230mm放置在露出到水平台的外部。此外，在试验片的20mm
×
20mm的部分上放置重物。此时，在试验片与水平台之间不产生间隙地选择重物的重量、尺寸。接下来，通过标尺读取水平台的高度与薄膜的前端的高度之差(＝δ)。接下来，将数值代入以下的式(1)来计算硬挺度。
[0261]
式(1)(g
×a×b×
l4)
÷
8δ(n/cm)
[0262]
g＝重力加速度，a＝试验片的短边的长度，b＝试验片的比重，l＝试验片的长度，δ＝水平台的高度与薄膜的前端的高度之差
[0263]
(10)最大峰高相对于平均最大峰高的最大值以及最大峰高的最小值的评价
[0264]
将平均最大峰高评价中测定出的5点的最大峰高的值中的最大值以及最小值除以平均最大峰高。
[0265]
(11)附着性试验
[0266]
依据jis k5600-5-6：1999实施。
[0267]
下述表中的结果以残留面积率表示附着性。残留面积率的最高值为100％。表中的附着性试验的残留面积率越接近100％，剥离面积越少。
[0268]
(12)笔输入稳定性试验方法
[0269]
使用透明导电性薄膜(尺寸：220mm
×
135mm)作为一个面板，作为另一个面板，使用包含在玻璃基板(尺寸：232mm
×
151mm)上通过溅射法形成且厚度为20nm的铟-锡复合氧化物薄膜(氧化锡含量：10质量％)的透明导电性薄膜a。
[0270]
在带铟-锡复合氧化物薄膜的玻璃基板，以下也称为ito玻璃的透明导电性薄膜a侧，以4mm间距的正方格子状配置环氧树脂(纵60μm
×
横60μm
×
高5μm)，以作为点间隔件。
[0271]
接下来，以ito玻璃的四角的角的任意一个为起点，在ito玻璃的透明导电性薄膜a侧粘贴双面胶带(厚度：105μm、宽度6mm)，亦收跌能够形成190mm
×
135mm的长方形。
[0272]
接下来，在粘贴于ito玻璃的双面胶带上，粘贴透明导电性薄膜的透明导电膜b侧，层叠成透明导电性薄膜a与透明导电膜b面对。
[0273]
此时，透明导电性薄膜的一个短边侧从ito玻璃露出。
[0274]
接下来，在ito玻璃和透明导电性薄膜连接恒压电源。接下来，连接能够计测ito玻璃与透明导电性薄膜的电压的记录仪(keyence公司制造，gr-7000)。在此，记录仪用于观测电压的时间变化。接下来，对恒压电源施加6v，用记录仪以以0.02毫秒为单位开始计测电压。接下来，从透明导电性薄膜侧利用聚缩醛制的笔(前端的形状：0.8mmr)以每秒5次的速度施加50g的载荷。用笔施加载荷的位置是由四个点间隔件包围的中心区域。从记录仪中取出用笔对透明导电性薄膜施加载荷时的电压的时间变化的数据。从笔自透明导电性薄膜开始离开时电压减少，但以电压从6v减少时为起点，测定电压成为5v为止的时间，记录为失压时间。参照图7。
[0275]
(13)接触面积率评价
[0276]
对于透明导电性薄膜的导电面，使用三维表面形状测定装置伯特扫描(菱化系统公司制造，r5500h-m100(测定条件：wave模式、测定波长560nm、物镜50倍))，在测定长度100μm～200μm的范围内，依据jis b0601-2001测定算术平均粗糙度ra。其中，测定ra，以使得满足“rp-平均高度-ra≤0.20μm”和“(rp
‑‑
平均高度)
÷
ra≤5.0”中的任一者或双方，进而满
足rsm≤30μm。在此，rp、rsm依据jis b0601-2001进行测定。平均高度是测定长度中的高度的平均值。在不满足所述条件的情况下，在不同的点进行再测定。接下来，对于相同的透明导电性薄膜的导电面，使用三维表面形状测定装置伯特扫描(菱化系统公司制造，r5500h-m100(测定条件：wave模式、测定波长560nm、物镜10倍))，进一步使用该测定装置中的粒子解析，以“ra-15nm-平均高度”为阈值求出截面积的总和。将截面积的总和除以测定视野的面积所得的值再乘以100的值作为接触面积率。
[0277]
实施例、比较例中使用的透明塑料薄膜基材是在两面具有易粘接层的双轴取向透明pet薄膜(东洋纺公司制造，a4380、厚度记载于表2)。在作为固化型树脂层的100质量份含有光聚合引发剂的丙烯酸系树脂(大日精化工业公司制造，seika波束(注册商标)exf-01j)中配合表2中记载的记载平均粒径的二氧化硅粒子的量，将作为溶剂的甲苯/mek(8/2：质量比)的混合溶剂以固体成分浓度成为表2中记载的值的方式添加，搅拌而均匀地溶解，制备涂敷液(将该涂敷液称为涂敷液a)。使用迈耶棒涂布所制备的涂敷液，以使涂膜的厚度为表3中记载的值。在80℃下进行1分钟干燥后，使用紫外线照射装置(eyegraphics公司制造，ub042-5am-w型)照射紫外线(光量：300mj/cm2)，使涂膜固化。
[0278]
此外，在表3所示的条件下，将功能层设置于透明塑料薄膜基材中的与上述固化型树脂层相反一侧的面。
[0279]
(实施例1～7)
[0280]
各实施例水平在表1所示的条件下，如下实施。
[0281]
向真空槽中投入薄膜，抽真空至1.5
×
10-4
pa。接下来，在导入氧后导入氩作为惰性气体气体，使总压成为0.6pa。
[0282]
以3w/cm2的功率密度向铟-锡复合氧化物的烧结靶或者不含氧化锡的氧化铟烧结靶接通电力，通过dc磁控管溅射法成膜透明导电膜。关于膜厚，改变薄膜在靶上通过时的速度来进行控制。此外，关于溅射时的成膜气氛的水分压相对于惰性气体的比，使用气体分析装置(inficon公司制造，transpector xpr3)进行测定。在各实施例水平中，为了调节溅射时的成膜气氛的水分压相对于惰性气体的比，如表1所记载的那样，调节有无轰击工序、膜辊端面的凹凸高低差、控制膜接触行进的中心辊的温度的温控器的载热体的温度。将从向膜辊的成膜开始时到成膜结束时为止的温度的最大值与最小值的刚好正中间的温度作为中心值记载于表1。
[0283]
对将透明导电膜进行成膜层叠而成的薄膜进行表1中记载的热处理后，实施了测定。将测定结果示于表1～3。
[0284]
(比较例1～8)
[0285]
在表1～3中记载的条件下，与实施例1同样地制作透明导电性薄膜并进行评价。将结果示于表1～3。
[0286]
[表1]
[0287][0288]
[表2]
[0289][0290]
[表3]
[0291][0292]
如表1～3所记载的那样，实施例1～7记载的透明导电性薄膜的输入开始载荷在本发明的范围内，因此使用于电阻膜式触摸面板时的轻快的操作性优异，失压时间在本发明的范围内，因此笔输入稳定性优异，笔滑动耐久性也优异，兼具各特性。然而，比较例1～8不
能全部满足轻快的操作性、笔输入稳定性以及笔滑动耐久性。
[0293]-工业可用性-[0294]
如上所述，根据本发明，能够提供具有轻快的操作性、优异的笔输入稳定性以及优异的笔滑动耐久性的透明导电性薄膜，这对于电阻膜式触摸面板等用途极其有用。
[0295]-附图标记说明-[0296]
1.薄膜
[0297]
2.中心辊
[0298]
3.烟囱
[0299]
4.铟-锡复合氧化物的靶
[0300]
5.透明导电膜
[0301]
6.固化型树脂层
[0302]
7.透明塑料薄膜基材
[0303]
8.功能层
[0304]
9.易粘接层
[0305]
10.ito玻璃
[0306]
11.点间隔件
[0307]
12.用笔施加载荷的位置
[0308]
13.时间
[0309]
14.电压
[0310]
15.失压时间。