用于电连接的连接器的制作方法

1.本公开涉及使检查装置与受检设备电连接的连接器。


背景技术：

2.为了对如半导体设备的受检设备进行检查，在所属技术领域中使用了使检查装置与受检设备电连接的连接器。连接器配置于检查装置与受检设备之间。连接器向受检设备传输检查装置的电测试信号，向检查装置传输受检设备的电回应信号。作为这种连接器的一例，所属技术领域中已知的有导电性橡胶片。
3.导电性橡胶片具有多个弹性导电部，弹性导电部由硅橡胶形成，上述硅橡胶沿着上下方向维持以可导电的方式沿着上下方向接触的多个金属粒子与多个金属粒子。多个弹性导电部在检查装置与受检设备之间执行信号传输。弹性导电部可由包括向液态的硅橡胶及液态的硅橡胶分散的多个金属粒子成型。可通过向上述液态成型材料施加磁场来沿着上下方向集合多个金属粒子，由此可以成型弹性导电部。
4.导电性橡胶片可构成导电性橡胶片的一部分，由硅橡胶形成的绝缘部可以沿着上下方向支撑多个弹性导电部。或者，导电性橡胶片并不具备上述绝缘部，与多个弹性导电部的上端部及下端部相结合的绝缘膜可以沿着上下方向支撑多个弹性导电部。
5.当检查半导体设备时，为了在导电性橡胶片紧贴半导体设备而通过半导体设备向导电性橡胶片施压力。这种压力使弹性导电部弹性变形。若去除压力，则弹性导电部通过弹性复原力复原到原状态。为了防止半导体设备或导电性橡胶片的损伤而需要少的压力，在少的压力下，弹性导电部需要具备良好的弹性复原力。
6.半导体设备可以在完全低于常温(例如，25℃)的温度至完全高于常温的温度环境下检查。构成导电性橡胶片的硅橡胶或导电性橡胶片根据检查温度膨胀成不同程度。
7.在高温环境下检查半导体设备的情况下，硅橡胶比在常温下的膨胀程度更为过度膨胀。因硅橡胶或弹性导电部的过度膨胀，在常温下的压力及相同压力下，发生比常温下的弹性导电部的按压量更大的按压量。高温环境下的过度膨胀有可能引发导电性橡胶片的变形，无法保障检查可靠性达到常温检查时的检查可靠性水准。
8.当在低温环境下检查半导体设备时，硅橡胶的膨胀程度比常温下的膨胀程度更低，与常温下的膨胀相比，有可能过度收缩。因硅橡胶或弹性导电部的过度收缩，为了获得如常温下的按压量程度的按压量而需要向弹性导电部施加大的压力。若施加常温检查时的压力，则弹性导电部不会被轻松按压，弹性导电部的导电性并未达到所需水准。由此，当在低温环境下进行检查时，为了获得弹性导电部的适当导电性而需要向弹性导电部施加大的压力，大的压力有可能对半导体设备及导电橡胶插座带来损伤。
9.在具有由多个金属粒子及硅橡胶形成的弹性导电部的现有的导电性橡胶片中，在上述多种温度范围中无法呈现出良好的检查可靠性。当进行高温环境及低温环境下的检查时，为了提高检查可靠性而需要与常温下的检查中的压力及按压量并无太大变化的压力及按压量。


技术实现要素：

10.发明所要解决的问题
11.本公开的实施例提供如下的用于电连接的连接器，即，当在低温环境下进行检查时，在适当的压力下呈现出确切的弹性复原力并具有耐寒性。本公开的一实施例提供如下的用于电连接的连接器，即，当在高温环境下进行检查时，防止过度的膨胀及变形并具有耐热性。本公开的一实施例提供如下的用于电连接的连接器，即，具有耐寒性及耐热性，从而在多种温度范围内具有良好的检查可靠性。
12.用于解决问题的方案
13.本公开的实施例涉及配置于两个电子设备之间来用于使两个电子设备电连接的连接器。多个实施例的连接器的结构要素包含第一弹性物质及第二弹性物质中的一个，上述第一弹性物质及第二弹性物质在上下方向上的加压状态下具有不同的膨胀率。包含第一弹性物质的区域与包含第二弹性物质的区域可以交互配置。在第一弹性物质及第二弹性物质中的一个可以提高耐寒性，在第一弹性物质及第二弹性物质中的另一个可以提高耐热性。与不具有耐寒性的弹性物质相比，具有耐寒性的弹性物质可具有高的膨胀率，与不具有耐热性的弹性物质相比，具有耐热性的弹性物质可具有低的膨胀率。
14.根据本公开一个实施方式的用于电连接的连接器包括沿着上下方向传输信号的至少一个导电部。导电部包括中心导电部及第一周边部，上述中心导电部包含第一弹性物质并可沿着上下方向导电，上述第一周边部包含第二弹性物质并沿着上下方向包围中心导电部。在导电部的上下方向上的加压状态下，第一弹性物质与第二弹性物质具有不同的膨胀率。
15.在一实施例中，在第一温度范围内的加压状态下，第一弹性物质及第二弹性物质中的一个的膨胀率小于另一个的膨胀率，在比第一温度范围低的第二温度范围内的加压状态下，第一弹性物质及第二弹性物质中的一个的膨胀率大于另一个的膨胀率。在第一温度范围内的加压状态下或第二温度范围内的加压状态下，中心导电部及第一周边部能够以不同程度膨胀。
16.在一实施例中，第一弹性物质及第二弹性物质中的一个包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶，第一弹性物质及第二弹性物质中的另一个包含氟及硅橡胶。
17.在一实施例中，中心导电部包含以能够沿着上下方向导电的方式接触并通过第一弹性物质维持上下方向的多个第一导电性物质，第一周边部包含以能够沿着上下方向导电的方式接触并通过第二弹性物质维持上下方向的多个第二导电性物质。
18.在一实施例中，导电部还可以包括第二周边部，第二周边部沿着上下方向包围第一周边部，并且包含第一弹性物质。第二周边部可包含以能够沿着上下方向导电的方式接触并通过第一弹性物质维持上下方向的多个第三导电性物质。
19.在一实施例中，连接器还可以包括：支撑部，与中心导电部的下端部相结合，沿着上下方向支撑导电部；以及绝缘膜，与第一周边部的上端部相结合。
20.在一实施例中，连接器包括多个上述导电部，多个导电部通过作为空心空间的间隙来沿着与上下方向正交的水平方向隔开。
21.本公开另一个各实施方式的用于电连接的连接器包括至少一个导电部及绝缘部，上述至少一个导电部沿着上下方向传输信号。导电部包括：中心导电部，包含第一弹性物
质，能够沿着上下方向导电；以及第一周边部，包含第二弹性物质，沿着上下方向包围中心导电部。绝缘部具有可使导电部沿着上下方向插入的至少一个贯通孔，并且包含第一弹性物质。在导电部的上下方向上的加压状态下，第一弹性物质与第二弹性物质具有不同的膨胀率。
22.在一实施例中，在第一温度范围内的加压状态下，第一弹性物质及第二弹性物质中的一个的膨胀率小于另一个的膨胀率。在比第一温度范围低的第二温度范围内的加压状态下，第一弹性物质及第二弹性物质中的一个的膨胀率大于另一个的膨胀率。在第一温度范围内的加压状态下或第二温度范围内的加压状态下，中心导电部及第一周边部能够以不同程度膨胀。
23.在一实施例中，第一弹性物质及第二弹性物质中的一个包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶，第一弹性物质及第二弹性物质中的另一个包含氟及硅橡胶。
24.在一实施例中，中心导电部包含以能够沿着上下方向导电的方式接触并通过第一弹性物质维持上下方向的多个第一导电性物质，第一周边部包含以能够沿着上下方向导电的方式接触并通过第二弹性物质维持上下方向的多个第二导电性物质。
25.在一实施例中，绝缘部包括贯通部，贯通部沿着上述上下方向包围第一周边部，在内周面限定贯通孔，并且包含第二弹性物质。
26.在一实施例中，在贯通孔的内周面与第一周边部的外周面之间形成通过内周面的至少一部分与外周面的至少一部分形成的作为空心空间的间隙。
27.在一实施例中，本发明还可包括：支撑部，与中心导电部的下端部相结合，沿着上下方向支撑中心导电部；以及绝缘膜，与第一周边部的上端部相结合。
28.本公开另一个实施方式的用于电连接的连接器包括至少一个导电部及绝缘部，上述导电部包含：多个第一导电性物质，以能够沿着上下方向导电的方式接触；以及第一弹性物质，沿着上下方向维持上述第一导电性物质，上述连接器包括绝缘部，上述绝缘部具有可使导电部沿着上下方向插入的至少一个贯通孔，并且包含第二弹性物质。在导电部的上下方向上的加压状态下，第一弹性物质与第二弹性物质具有不同的膨胀率。
29.在一实施例中，在第一温度范围内的加压状态下，第一弹性物质及第二弹性物质中的一个的膨胀率小于另一个的膨胀率，在比第一温度范围低的第二温度范围内的加压状态下，第一弹性物质及第二弹性物质中的一个的膨胀率大于另一个的膨胀率。
30.在一实施例中，第一弹性物质及第二弹性物质中的一个包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶，第一弹性物质及第二弹性物质中的另一个包含氟及硅橡胶。
31.在一实施例中，在导电部的外周面与贯通孔的内周面之间形成通过外周面的至少一部分与内周面的至少一部分形成的作为空心空间的间隙。
32.发明效果
33.根据本公开的一实施例，导电部包含具有耐寒性的弹性物质，因此，当在低温或极低温环境下进行检查时，连接器可以在适当的压力下呈现出确切的弹性复原力及所需的导电性。因此，与不包含具有耐寒性的弹性物质的一般的连接器相比，无需在低温环境下进行检查时向连接器施加过度的压力。根据本公开的一实施例，导电部包含具有耐热性的弹性物质，因此，当在高温或极高温环境下进行检查时，可以防止连接器过度膨胀及变形。根据本发明的一实施例，导电部、或导电部及绝缘部包含具有耐寒性及耐热性的弹性物质，因
此，与常温检查下的压力及导电部的按压量相比，连接器可通过没有太大变化的压力及按压量，在多种温度范围内，以良好的检查可靠性实现对受检设备的检查。
附图说明
34.图1简要示出应用一实施例的连接器的例。
35.图2为示出本公开第一实施例的连接器的一部分的剖视图。
36.图3简要示出图2所示的连接器的水平方向的剖面形状。
37.图4为示出第一实施例的连接器的代替例的剖视图。
38.图5为示出本公开第二实施例的连接器的一部分的剖视图。
39.图6简要示出图5所示的连接器的水平方向的剖面形状。
40.图7示出第二实施例的连接器的代替例的剖视图。
41.图8为示出本公开第三实施例的连接器的一部分的剖视图。
42.图9简要示出图8所示的连接器的水平方向的剖面形状。
43.图10为示出本公开第四实施例的连接器的一部分的剖视图。
44.图11简要示出图10所示的连接器的水平方向的剖面形状。
45.图12为示出本公开第五实施例的连接器的一部分的剖视图。
46.图13简要示出图12所示的连接器的水平方向的剖面形状。
47.图14为示出本公开第六实施例的连接器的一部分的剖视图。
48.图15简要示出图14所示的连接器的水平方向的剖面形状。
具体实施方式
49.本公开的实施例以说明本公开的技术思想为目的而例示。本公开的发明要求保护范围并不限定于以下公开的实施例或对实施例的具体说明。
50.除非另有定义，否则本公开中所使用的所有技术术语及科学术语具有本公开所属技术领域的普通技术人员通常所理解的含义。本公开中所使用的所有术语用于进一步明确说明本公开，并非用于限制本公开的发明要求保护范围。
51.除非在包括以下表达方式的句子或文章中另有说明，否则本公开中所使用的“包括”、“设置”、“具有”等表达方式应以开放性术语(open-ended terms)加以理解，具有包括其他实施例的可能性。
52.除非另有定义，否则本公开中所记述的单数的表达可包括複数的含义，这也同样适用于发明要求保护范围中所记载的单数的表达。
53.本公开中所使用的“第一”、“第二”等表达方式用于相互区分多个结构要素，并不限定相应结构要素的顺序或重要性。
54.在本公开中，当某结构要素与另一结构要素相“连接”或相“结合”时，应当理解为上述某结构要素可直接连接或结合在上述另一结构要素，或者，以其他新的结构要素为介质相连接或相结合。
55.本公开中所使用的方向指示语“上方”基于连接器相对于检查装置所处的方向，而方向指示语“下方”是指与上方相反的方向。虽然本公开中所使用的方向指示语“上下方向”包括上方方向和下方方向，但应当理解的是，并不表示上方方向和下方方向中的特定的一
个方向。
56.以下，参照附图所示出的例来说明实施例。在附图中，对于相同或相对应的结构要素赋予了相同的附图标记。并且，在说明以下实施例的过程中，省略了对于相同或相对应的结构要素的说明。但即使省略了对于有关结构要素的记述，也并不意味着这种结构要素不属于某实施例。
57.以下说明的实施例和附图所示出的例涉及用于使两个电子设备之间电连接的连接器。在实施例的连接器等应用例中，上述两个电子设备中的一个可以为检查装置，上述连个电子设备中的另一个可以为由检查装置进行检查的受检设备。实施例的连接器可以在受检设备的电检查时用于使检查装置与受检设备电连接。作为一例，实施例的连接器在半导体设备的制造工序中的后工序中，可用于半导体设备的最终电检查，应用实施例的连接器的例并不限定于此。
58.图1示出应用一实施例的连接器的例。图1简要示出连接器与连接器相接触的电子设备，图1所示的形状仅是为了理解实施例而选择的例。
59.参照图1，在本公开多种实施例中的一个实施例的连接器可配置于两个电子设备之间。多个实施例的连接器为片(sheet)形状的结构物。两个电子设备中的一个可以为检查装置10，另一个可以为由检查装置10进行检查的受检设备20。图1中示出本公开一实施例的连接器100配置于检查装置10与受检设备20之间，以用于检查受检设备20。
60.连接器100可安装于测试插座30，通过测试插座30来位于检查装置10上。测试插座30以可去除的方式安装于检查装置10。测试插座30在内部收容通过手工作业或通过搬运装置向检查装置10搬运的受检设备20，可将受检设备20排列在连接器100。当检查受检设备20时，连接器100沿着上下方向vd与检查装置10及受检设备20相接触，并且使检查装置10及受检设备20相互电连接。
61.受检设备20可以为使用树脂材料来以六面体形状封装半导体集成电路(ic)晶片和多个端子的半导体设备。受检设备20在下侧具有多个端子21。受检设备20的端子21可以为球(ball)型端子。
62.检查装置10可以检查受检设备20的各种工作特性。检查装置10可具有执行检查的板，上述板可包括用于检查受检设备的检查电路11。并且，检查电路11包括通过连接器100与受检设备的端子21电连接的多个端子12。检查装置10的端子12可以发送电测试信号并接收回应信号。
63.连接器100可通过测试插座30与检查装置10的端子12相接触。当检查受检设备20时，连接器100使受检设备的各个端子21和与此对应的检查装置的各个端子12沿着上下方向vd电连接，通过连接器100由检查装置10执行对受检设备20的检查。
64.连接器100的至少一部分可以由弹性物质形成。当检查受检设备20时，受检设备20放置于连接器100的上侧。为了检查受检设备20，可通过机械装置或手动沿着上下方向vd中的下方，向连接器100施加压力p。通过压力p，受检设备的端子21与连接器100可以沿着上下方向vd相接触，连接器100与检查装置的端子12可以沿着上下方向vd相接触。并且，通过压力p，连接器100的一部分结构要素可以沿着下方和水平方向hd弹性变形。若去除压力p，则连接器100的上述一部分结构要素可以复原成原来形状。
65.参照图1，一实施例的连接器100包括至少一个导电部110，当检查受检设备20时上
述导电部110沿着上下方向vd传输信号。导电部110可包括：中心导电部111，可沿着上下方向vd导电；以及第一周边部112，包围中心导电部111。并且，连接器100可包括：支撑部121，与导电部110的下端部附近结合成一体，沿着上下方向vd支撑导电部110；以及绝缘膜130，与导电部110的上端部相结合。
66.导电部110的一部分由弹性物质形成，导电部110具有弹性。导电部110可通过压力p沿着上下方向vd及与上下方向vd正交的水平方向hd弹性变形。
67.在施加压力p的状态下，导电部110的上端与受检设备的端子21相接触，下端与检查装置的端子12相接触。由此，在与一个导电部110对应的受检设备的端子21与检查装置的端子12之间，以导电部110为介质来形成上下方向的导电路。检查装置的测试信号可从端子12通过导电部110向受检设备20的端子21传输，受检设备20的回应信号可从端子21通过导电部110向检查装置10的端子12传输。
68.在压力p的作用下，导电部110在受检设备20与检查装置10之间受到向下方的按压，通过导电部110可沿着上下方向vd传输电信号。以下，导电部110通过压力p受到向下方的按压并沿着上下方向及水平方向弹性变形的状态参照在导电部的上下方向上的加压状态或连接器的加压状态。
69.若从连接器100去除压力p，则导电部110可以弹性复原成其原本形状。以下，不向导电部110施加压力p，导电部110维持其原本形状的状态参照在导电部的上下方向上的非加压状态或连接器的非加压状态。在实施例的连接器中，导电部110在上述非加压状态与上述加压状态之间可逆地弹性变形。
70.例如，受检设备可以在如-60℃至160℃的温度范围内接受检查。当在上述温度范围内检查时，多个实施例的连接器可以保证与常温检查的检查可靠性类似的检查可靠性。当进行比较高的温度范围内的检查时，多个实施例的连接器的结构要素可从常温的膨胀程度膨胀成稍大的程度。当进行比较低的温度范围内的检查时，与常温下的膨胀程度相比，多个实施例的连接器的结构要素能够以稍小的程度膨胀，即，更少膨胀。当进行比较高的温度范围及比较低的温度范围内的检查时，为了保证常温检查的检查可靠性，多个实施例的连接器可具有在加压状态下，两种不同类型的弹性物质交互配置的结构。
71.在本公开的实施例中，上述两种类型的弹性物质中的一个包含耐寒性材料，另一个包含耐热性材料。包含耐寒性材料的弹性材料可以在比较低的温度范围内的加压状态下呈现出高的膨胀率。包含耐热性材料的弹性材料可以在比较高的温度范围内的加压状态下呈现出低的膨胀率。因此，在比较低的温度及比较高的温度的加压状态下，一实施例的连接器以与常温的膨胀程度类似的程度膨胀，从而可以保证与常温检查的检查可靠性类似的检查可靠性。
72.在本公开的实施例中，上述两种类型的弹性物质中的一个参照第一弹性物质，另一个参照第二弹性物质。若第一弹性物质包含耐寒性材料，则第二弹性物质可包含耐热性材料。若第一弹性物质包含耐热性材料，则第二弹性物质可包含耐寒性材料。上述耐寒性材料可以为氟，但并不局限于此。上述耐热性材料可以为氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种，但并不局限于此。因此，在本公开的实施例中，第一弹性物质可选自第一组及第二组，上述第一组包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶，上述第二组包含氟及硅橡胶，第二弹性物质可选自上述第一组及第二组中的剩余一组。
73.参照图1，在一实施例的连接器100中，构成中心导电部111的弹性物质及构成第一周边部112的弹性物质在加压状态下具有不同的膨胀率。
74.实施例的连接器可包括多个导电部110。多个导电部110的平面排列形态可根据受检设备20的端子21的平面排列形态改变。例如，多个导电部可以在连接器内以一个行列形态或一对以上的行列形态排列。
75.在实施例的连接器中，导电部110与支撑部121可形成为一体并构成一个导电模组120。在这种导电模组120中，多个导电部110从一个支撑部121向上方突出，因此，导电模组120具有一个支撑部121及多股导电部110。
76.为了说明实施例的连接器而参照图2至图15。图2至图15简要示出连接器的形状、导电部的形状、导电部之外的连接器的结构要素的形状。图2至图15所示的形状仅是为了理解实施例而选择的例。
77.图2为示出本公开第一实施例的连接器的一部分的剖视图，图3简要示出图2所示的连接器的水平方向的剖面形状。一同参照图2及图3来说明第一实施例的连接器。
78.在连接器100中，导电部110在检查装置与受检设备之间沿着上下方向vd传输信号。连接器100可包括沿着至少一个导电部110或与上下方向vd正交的水平方向hd相互隔开的多个导电部110。
79.导电部110可呈沿着上下方向vd延伸的圆柱形状，但导电部的形状并不局限于圆柱形状。在一实施例中，导电部110具有包括中心导电部111及第一周边部112的双重结构。
80.中心导电部111可沿着上下方向vd进行导电。中心导电部111包括多个第一导电性物质113及第一弹性物质114。多个第一导电性物质113以可沿着上下方向vd导电的方式接触，沿着上下方向vd，例如，以圆柱形状集合。以可沿着上下方向vd导电的方式接触的多个第一导电性物质113在导电部110内形成沿着上下方向vd执行信号传输的导电体。
81.如图2所示，第一导电性物质113可以为粒子。第一导电性物质113的粒子可以由高导电性金属材料形成。或者，第一导电性物质113的粒子可具有在由具有弹性的树脂材料或金属材料形成的芯涂敷上述高导电性金属材料的形态。作为另一例，第一导电性物质113可以为细长纤维或金属线，这种纤维或金属线可以由金属或碳形成。
82.第一弹性物质114处于固化的状态并具有弹性。在第一弹性物质114中，以使多个第一导电性物质113形成上述导电体形状的方式使多个第一导电性物质113维持上下方向vd。在多个第一导电性物质113之间可填充第一弹性物质114。第一弹性物质114与多个第一导电性物质113形成为一体来构成中心导电部111。在中心导电部111中，第一弹性物质114与第一导电性物质113相混合。
83.第一弹性物质114可以为具有绝缘性的弹性物质或具有导电性的弹性物质。第一弹性物质114包含耐寒性材料。作为一例，第一弹性物质114可包含氟及硅橡胶，但在比较低的温度范围内可以包含具有相对高的膨胀率的耐寒性材料。氟可作为添加剂存在于硅橡胶。由氟及硅橡胶形成的第一弹性物质114可以在比较低的温度范围内呈现出比通常的硅橡胶的膨胀率高的膨胀率，因此，在比较低的温度范围内的加压状态下可以具有耐寒性。
84.第一周边部112沿着上下方向vd包围中心导电部111。作为一例，如图3所示，第一周边部112能够以环形状包围中心导电部111。第一周边部112可仅由第二弹性物质115形成。第二弹性物质115可以为具有绝缘性的弹性物质或具有导电性的弹性物质。第二弹性物
质115包含耐热性材料。作为一例，第二弹性物质115可包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶，但在比较高的温度范围内可以包含具有相对低的膨胀率的耐热性材料。氧化铁、氮化硼或氮化铝可作为添加剂存在于硅橡胶。包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶的第二弹性物质115可以在比较高的温度范围内呈现出比一般的硅橡胶的膨胀率低的膨胀率，因此，在比较高的温度范围内的加压状态下可具有耐热性。
85.在连接器100中，支撑部121位于朝向检查装置的一侧。支撑部121起到沿着上下方向vd支撑一个导电部或多个导电部的支撑体的功能。在实施例的连接器中，至少一个导电部110与支撑部121或多个导电部110与支撑部121可以为形成为一体的结构物。因此，形成为一体的多个导电部110及支撑部121可构成沿着上下方向传输信号的一个导电模组120。
86.支撑部121沿着水平方向hd配置，与导电部110的中心导电部111的下端部结合成一体。支撑部121可以与导电部110的中心导电部111的下端部形成为一体。支撑部121使多个导电部110沿着水平方向hd隔开及绝缘。导电部110的下端(中心导电部111的下端)比支撑部121的下部面更向下方突出。或者，导电部110的下端可以不从支撑部121的下部面突出。
87.支撑部121可以由具有绝缘性的物质或具有绝缘性及弹性的物质形成。作为一例，支撑部121可以为配置在与上下方向vd正交的连接器的水平面的一个膜。构成支撑部121的膜可以包含聚酰亚胺，构成支撑部121的材料并不局限于此。
88.在连接器100中，绝缘膜130位于面向受检设备的一侧。绝缘膜130可以与导电部110的上端部相结合。作为一例，绝缘膜130可以为与导电部110的第一周边部112的上端部相结合，且形成连接器100的上部面的一个膜。绝缘膜130可以使多个导电部110绝缘，可以沿着上下方向vd支撑多个导电部110。作为一例，绝缘膜130可包括具有绝缘性的聚酰亚胺膜或由具有绝缘性的聚合物形成的膜。
89.在连接器100中，多个导电部110通过间隙150来沿着与上下方向vd正交的水平方向hd隔开。间隙150可以为相邻的多个导电部110的第一周边部112的外周面之间的空心空间。间隙150可以被空气填充。
90.在导电部110的上下方向上的加压状态下，根据用于受检设备的检查的温度环境，中心导电部111的第一弹性物质114及第一周边部112的第二弹性物质115具有不同的膨胀率。在规定的温度范围内的加压状态下，上述膨胀率可根据导电部的膨胀程度改变。当通过压力向上下方向按压导电部时，导电部可沿着上下方向vd收缩，并沿着水平方向hd或直径方向(相对于沿着上下方向经过导电部的中心轴的直径方向)扩大的形态膨胀。当导电部膨胀时，以导电部的横截面形状的面积增加的形态弹性变形。在加压状态下的导电部的体积或直径可大于非加压状态下的体积或直径。考虑到导电部的这种变形，膨胀率可以为非加压状态下的导电部的体积或直径与加压状态下的导电部的体积或直径的比。
91.受检设备可以在比较高的第一温度范围及比较低的第二温度范围内检查。上述第一温度范围可以为25℃至160℃的温度范围。上述第二温度范围为比上述第一温度范围低的温度范围，可以为-60℃至25℃的温度范围。在上述第一温度范围内的加压状态下，第一弹性物质114可具有第一膨胀率，第二弹性物质115可具有与第一膨胀率不同的第二膨胀率。在上述第二温度范围内的加压状态下，第一弹性物质114可具有第三膨胀率，第二弹性物质115可具有与第三膨胀率不同的第四膨胀率。
92.在上述第一温度范围内的加压状态下，包含耐热性材料的第二弹性物质115具有比第一弹性物质114的第一膨胀率低的第二膨胀率或比一般的硅橡胶的膨胀率低的膨胀率。在上述第二温度范围内的加压状态下，包含耐寒性材料的第一弹性物质114具有比第二弹性物质115的第四膨胀率高的第三膨胀率或比一般的硅橡胶的膨胀率高的膨胀率。如上所述，在上述第一温度范围内的加压状态下，第二弹性物质115具有比第一弹性物质114的膨胀率低的膨胀率，在上述第二温度范围内的加压状态下，第一弹性物质114具有比第二弹性物质115的膨胀率高的膨胀率。
93.构成中心导电部111的弹性物质具有耐寒性，构成第一周边部112的弹性物质具有耐热性。中心导电部111及第一周边部112可以在上述第一温度范围内的加压状态或上述第二温度范围内的加压状态下能够以不同的程度膨胀，导电部110在多种温度下的加压状态下能够以良好的水准膨胀。因此，与常温下的加压状态的膨胀程度相比，在上述第一温度范围内的加压状态或上述第二温度范围内的加压状态下，导电部110能够以并未发生太大改变的程度进行膨胀。因此，上述实施例的连接器在比较高温的加压状态(例如，在上述第一温度范围内的加压状态)下，可以通过防止导电部110的过度膨胀来具有得到提高的耐热性。并且，上述实施例的连接器在比较低温的加压状态(例如，在上述第二温度范围内的加压状态)下，可通过防止导电部110的过度收缩来具有得到提高的耐寒性。在比较低的温度下的加压状态下，若导电部110过度收缩(即，以极少程度膨胀)，则导电部110为了呈现出适当的导电性，需要向导电部110施加过大的压力。但是，当在比较低的温度下进行检查时，上述实施例的连接器100可无需施加强力压力，在适当的压力下，即可以获得确切的导电部的弹性复原力。
94.与常温下的加压状态相比，在上述第一温度范围内的加压状态下，导电部110可以进一步膨胀。在上述第一温度范围内的加压状态下，包含耐热性材料的第一周边部112提高导电部110的耐热性。因此，与在上述第一温度范围内对包括并不具有上述耐热性材料的一般的硅橡胶的导电部施压力的情况相比，导电部110可以更少膨胀，由此，可具有更低的膨胀率。与常温下的加压状态相比，在上述第二温度范围内的加压状态下，导电部110可以更少膨胀。在上述第二温度范围内的加压状态下，包含上述耐寒性材料的中心导电部111提高导电部110的耐寒性。因此，与在上述第二温度范围内对包括并不具有上述耐寒性材料的一般的硅橡胶的导电部施压力的情况相比，导电部110可以更少膨胀，由此，可具有更高的膨胀率。
95.膨胀率能够以在特定的极限温度(例如，-60℃或150℃)下的行程(stroke)及压力的相关关系为基础，对并不包含上述耐寒性及耐热性材料的一般的导电部及包含上述耐寒性或耐热性材料的导电部的膨胀程度进行比较来测定。行程可以为非加压状态下的导电部的高度与在以可检查的方式使电流流动的加压状态下的导电部的高度之间的差异。
96.作为一例，对以使上述一般导电部和实施例的导电部呈现出相同行程的方式施加的多个压力进行比较来比较及测定膨胀率。为了在如-60℃的极限温度下产生相同的行程，需要向并不具有耐寒性材料的上述一般的导电部施加比实施例的导电部高的压力。这意味着在上述第二温度范围内的加压状态下，实施例的导电部比上述一般的导电部更膨胀以及实施例的导电部具有更高的膨胀率。
97.作为另一例，可通过比较上述一般的导电部与实施例的导电部在相同的压力下呈
现的多个行程来比较及测定膨胀率。在如-60℃的极限温度下施加相同的压力的情况下，上述一般的导电部所呈现的行程可小于实施例的导电部所呈现的行程。这意味着在上述第二温度范围内的加压状态下，实施例的导电部比上述一般的导电部更膨胀以及实施例的导电部具有更高的膨胀率。
98.当在特定温度下，向导电部施加相同的压力时，膨胀率可根据导电部沿着水平方向延伸的长度的比例或体积的比例测定。针对上述长度的比例，以在非加压状态下的导电部的最外侧表面的直径尺寸为基准，可以求出加压状态下的导电部的膨胀的最外侧表面的尺寸。针对上述体积的比例，以在非加压状态下的导电部的体积的尺寸为基准，可求出在加压状态下的导电部的膨胀的体积的尺寸。
99.在参照图2及图3说明的一实施例的连接器中，中心导电部111具有耐寒性，第一周边部112具有耐热性。作为代替例，中心导电部111可具有耐热性，第一周边部112可具有耐寒性。即，第一弹性物质114可包含氧化铁、氮化硼及氮化铝及硅橡胶中的一个，第二弹性物质115可包含氟及硅橡胶。在此情况下，在上述第一温度范围内的加压状态下，第一弹性物质114具有比第二弹性物质115的膨胀率低的膨胀率，在上述第二温度范围内的加压状态下，第二弹性物质115具有比第一弹性物质114的高的膨胀率。
100.图4示出上述实施例的连接器的代替例。参照图4，第一周边部112包含第二弹性物质115及多个第二导电性物质116。多个第二导电性物质116以可沿着上下方向vd导电的方式接触，通过第二弹性物质115，沿着上下方向vd维持第一周边部112的形状。在第一周边部112中，第二弹性物质115与第二导电性物质116相混合。第二导电性物质116可以为与中心导电部111的第一导电性物质113相同或不同的物质。
101.作为一例，导电部110及支撑部121可通过向成型模具注入液态成型材料，通过磁场的施加来使多个导电性物质沿着上下方向集合并进行固化处理来制造。上述液态成型材料可包含用于耐热性或耐寒性的液态弹性物质，向上述液态弹性物质分散导电性物质。上述成型模具可以在每个形成导电部的位置设置与导电部的形状对应的成型空腔。在上述成型模具可包括可沿着上下方向向成型空腔施加磁场的磁铁。并且，向成型模具投入构成支撑部121的膜部件，在上述膜部件中，在每个形成中心导电部111的位置穿有贯通孔。通过磁铁施加的磁场，多个导电性物质沿着上下方向集合并接触，由此形成设置于中心导电部并沿着上下方向传输信号的导电体。之后，通过规定的固化处理，多个中心导电部111可以与支撑部121形成为一体。之后，从用于耐热性或耐寒性的液态弹性物质，使用另一个成型模具来成型形成有包围中心导电部的第一周边的导电部。在此情况下，用于成型第一周边部的液态弹性物质可包含上述第二导电性物质。
102.图5为示出本公开第二实施例的连接器的一部分的剖视图，图6简要示出图5所示的在连接器的水平方向的剖面形状。一同参照图5及图6来说明第二实施例的连接器。
103.与上述第一实施例的连接器相比，本实施例的连接器200除导电部包括追加的周边部之外，与上述第一实施例的连接器的结构类似。
104.连接器200的导电部210具有包括中心导电部111、第一周边部112及第二周边部217的三重结构。第一周边部112可仅包括上述第二弹性物质。第二周边部217沿着上下方向vd包围第一周边部112。作为一例，如图6所示，第二周边部217能够以环形状包围第一周边部112。第二周边部217可仅包括中心导电部111的第一弹性物质114。多个导电部110可通过
间隙150沿着水平方向hd隔开，间隙150可以由相邻的多个导电部110的第二周边部217的外周面之间的空心空间形成。
105.在三重结构的导电部110中，在中心配置第一弹性物质114，在第一弹性物质114的外侧配置第二弹性物质115，在第二弹性物质115的外侧配置第一弹性物质114。因此，在上述实施例的导电部110中，中心导电部111包含上述耐寒性材料，第一周边部112包含上述耐热性材料，第二周边部217包含上述耐寒性材料。作为代替例，中心导电部111可包含上述耐热性材料，第一周边部112可包含上述耐寒性材料，第二周边部217可包含上述耐热性材料。
106.在上述实施例中，导电部110的中心导电部111具有从绝缘膜130的上部面突出的上端部218。中心导电部111的上端可以不从绝缘膜130的上部面突出。中心导电部111的上端部218可以与中心导电部111的本体形成为一体，绝缘膜130可以与上端部218相结合。或者，中心导电部111的上端部218可包含上述第一导电性物质及上述第一弹性物质并预先设置于绝缘膜130，这种上端部218可以与中心导电部111的本体相结合。
107.图7示出上述第二实施例的连接器的代替例。参照图7，第二周边部217包含第一弹性物质114及多个第三导电性物质219。多个第三导电性物质219以可沿着上下方向vd导电的方式接触，通过第一弹性物质114，沿着上下方向vd维持第二周边部217的形状。在第二周边部217中，第一弹性物质114与多个第三导电性物质219相混合。第三导电性物质219可以为与中心导电部111的第一导电性物质相同或不同的物质。
108.图8为示出本公开第三实施例的连接器的一部分的剖视图，图9简要示出图8所示的在连接器的水平方向的剖面形状。一同参照图8及图9来说明第三实施例的连接器。
109.与上述第一实施例的连接器相比，本实施例的连接器300除包括使多个导电部110沿着水平方向隔开及绝缘的绝缘部之外，与上述第一实施例的连接器的结构类似。
110.在上述实施例中，导电部110与上述第一实施例的导电部构成相同。导电部110的中心导电部111包含上述第一导电性物质113及上述第一弹性物质114。导电部110的第一周边部112包含上述第二弹性物质115。因此，在导电部110的加压状态下，导电部110的第一弹性物质114及第二弹性物质115具有不同的膨胀率。
111.绝缘部340使多个导电部110沿着水平方向隔开及绝缘。绝缘部340位于支撑部121与绝缘膜130之间。支撑部121与中心导电部111的下端部相结合，沿着上下方向vd支撑中心导电部111。导电部110与支撑部121可形成为一体并构成一个导电模组120。上述实施例的连接器300可包括一个以上的导电模组120。支撑部121以可去除的方式与绝缘部340相结合。例如，支撑部121的上部面与绝缘部340的下部面粘结，由此，支撑部121与绝缘部340可以结合，支撑部121与绝缘部340的结合方式并不局限于使用粘结剂的粘结方式。绝缘膜130与第一周边部112的上端部相结合来形成连接器300的上部面。绝缘膜130的下部面可通过粘结方式与绝缘部340的上部面相结合。
112.绝缘部340可以由一个弹性体形成。绝缘部340由中心导电部111的第一弹性物质114形成。绝缘部340具有使导电部110沿着上下方向vd插入的至少一个贯通孔341。贯通孔341沿着贯通孔341在绝缘部340穿孔而成，沿着上下方向vd，从绝缘部340的上部面延伸至绝缘部340的下部面。在导电部110被支撑部121支撑的状态下，从下往上向贯通孔341插入。在贯通孔341的水平方向的形状可以与导电部110的横截面形状对应。若导电部110呈圆柱形状，则在贯通孔341的水平方向的形状可大致为圆形。
113.在由双重结构形成的导电部110中，在中心配置第一弹性物质114，在第一弹性物质114的外侧配置第二弹性物质115。在配置于导电部110的外侧的绝缘部340配置第一弹性物质。第一弹性物质114包含氟及硅橡胶，第二弹性物质115包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶。因此，中心导电部111包含上述耐寒性材料，第一周边部112包含上述耐热性材料，绝缘部340包含上述耐寒性材料。在上述第一温度范围内的加压状态下，包含耐热性材料的第二弹性物质115具有比第一弹性物质114的膨胀率低的膨胀率或比不包含耐热性材料的硅橡胶低的膨胀率。在上述第二温度范围内的加压状态下，包含耐寒性材料的第一弹性物质114具有比第二弹性物质115的膨胀率高的膨胀率及比不包含耐寒性材料的硅橡胶高的膨胀率。
114.在上述实施例的连接器300中，构成中心导电部111的弹性物质具有耐寒性，构成第一周边部112的弹性物质具有耐热性，绝缘部340包括构成中心导电部111的弹性物质。因此，与常温下的加压状态的膨胀程度相比，在上述第一温度范围内的加压状态下或上述第二温度范围内的加压状态下，导电部110以并未发生太大改变的程度膨胀。并且，绝缘部340具有耐寒性或耐热性，在比较高温的加压状态下不会过度膨胀，在比较低温的加压状态下不会过度收缩。因此，上述实施例的连接器在比较高温的加压状态(例如，在上述第一温度范围内的加压状态)下，可以防止导电部110及绝缘部340的过度膨胀，在比较低温的加压状态(例如，在上述第二温度范围的加压状态)下，可以防止导电部110及绝缘部340过度收缩。因此，当在比较低的温度下进行检查时，上述实施例的连接器100可以无需施加强力的压力，在比较高温下进行检查时可以防止连接器的变形。
115.作为代替例，中心导电部111可包含上述耐热性材料，第一周边部112可包含上述耐寒性材料，绝缘部340可包含上述耐热性材料。即，第一弹性物质114包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶，第二弹性物质115包含氟及硅橡胶。在上述情况下，在上述第一温度范围内的加压状态下，包含耐热性材料的第一弹性物质114具有比第二弹性物质115的膨胀率低的膨胀率。在上述第二温度范围内的加压状态下，包含耐寒性材料的第二弹性物质115具有比第一弹性物质114的膨胀率高的膨胀率。
116.作为另一代替例，在上述实施例的连接器300中，第一周边部112可包含上述第二导电性物质，上述第二导电性物质以可沿着上下方向vd导电的方式接触，通过第二弹性物质115，沿着上下方向vd维持第一周边部112的形状。
117.准备构成绝缘部340的如膜或块的绝缘部件，在上述绝缘部件，贯通孔34通过镭射或钻机形成，由此制造绝缘部340。之后，导电部110及支撑部121的导电模组120通过使用粘结剂的接合方式与绝缘部340结合并构成上述实施例的连接器。
118.图10为示出本公开第四实施例的连接器的一部分的剖视图，图11简要示出图10所示的在连接器的水平方向的剖面形状。一同参照图10及图11来说明第四实施例的连接器。
119.与上述第三实施例的连接器相比，本实施例的连接器400除绝缘部包含两种类型的弹性物质之外，与上述第三实施例的连接器的结构类似。
120.绝缘部340包括：贯通部442，用于限定贯通孔341；以及本体部443，作为在绝缘部340中除贯通部442之外的部分。贯通部442可呈沿着上下方向vd延伸的环形状，在上述圆筒型的内周面限定贯通孔341。贯通部442沿着上下方向vd包围导电部110的第一周边部112。贯通部442包含与导电部110的第一周边部112的弹性物质相同的第二弹性物质115。绝缘部
340的本体部443包含与中心导电部111的弹性物质相同的第一弹性物质114。
121.在上述实施例的连接器400中，构成中心导电部111的弹性物质及构成第一周边部112的弹性物质在上述第一温度范围及第二温度范围内的加压状态下分别具有不同的膨胀率。并且，绝缘部340的贯通部442包含构成第一周边部112的弹性物质，绝缘部340的本体部443包含构成中心导电部111的弹性物质。中心导电部111包含上述耐寒性材料，第一周边部112包含上述耐热性材料。绝缘部340的贯通部442包含上述耐热性材料，绝缘部340的本体部443包含上述耐寒性材料。
122.因此，与常温下的加压状态的膨胀程度相比，在上述第一温度范围内的加压状态下或上述第二温度范围内的加压状态下，具有中心导电部111及第一周边部112的导电部110以不发生太大改变的程度膨胀。并且，绝缘部340包含上述耐寒性材料及上述耐热性材料，与在比较高温的过度膨胀及比较低温的过度收缩对应。因此，上述实施例的连接器在比较高温的加压状态(例如，在上述第一温度范围内的加压状态)下可防止导电部110及绝缘部340的过度膨胀，在比较低温的加压状态(例如，在上述第二温度范围内的加压状态)下可以防止导电部110及绝缘部340过度收缩。
123.作为代替例，中心导电部111可包含上述耐热性材料，第一周边部112可包括第一周边部112，绝缘部340的贯通部442可包含上述耐寒性材料，绝缘部340的本体部443可包含上述耐热性材料。
124.作为另一代替例，在上述实施例的连接器400中，第一周边部112也可包含上述第二导电性物质及第二弹性物质。
125.图12为示出本公开的第五实施例的连接器的一部分的剖视图，图13简要示出图12所示的在连接器的水平方向的剖面形状。一同参照图12及图13来说明第五实施例的连接器。
126.与上述第三实施例的连接器相比，本实施例的连接器500除在导电部与绝缘部之间形成间隙之外，与上述第三实施例的连接器的结构类似。
127.在连接器500中，导电部110具有与上述第三实施例或第五实施例的导电部相同的结构。作为代替例，导电部110的第一周边部112也可包含第二弹性物质115及上述第二导电性物质。绝缘部340具有与上述第三实施例的绝缘部相同的结构。即，绝缘部340包含与中心导电部111的第一弹性物质相同的第一弹性物质114。
128.在连接器500中，在贯通孔341的水平方向的大小尺寸大于在导电部110的水平方向的大小尺寸。由此，贯通孔341的内周面与导电部110的外周面(详细地，第一周边部112的外周面)之间形成通过贯通孔341的内周面的一部分或整体以及导电部110的外周面的一部分或整体形成的间隙550。间隙550被空气填充。间隙550为贯通孔341的内周面与第一周边部112的外周面之间的空心空间。在导电部的非加压状态下，在间隙550的水平方向的形状可以为甜甜圈形状(例如，内侧圆及外侧面以同心形成的形状)。
129.在导电部110的非加压状态下，位于一个贯通孔341的一个导电部110在间隙550所在的其外周面的一部分不与贯通孔341接触。在间隙550具有上述甜甜圈形状的情况下，导电部110在整个间隙550中并不与贯通孔341相接触。在导电部的非加压状态下，一个导电部110通过在一个贯通孔341和与此对应的导电部110之间形成的间隙550与绝缘部340分离。在导电部的加压状态下，间隙550允许在各个贯通孔341内的各个导电部110的弹性变形。间
隙550允许各个导电部110在不受到绝缘部340的贯通孔341的限制的情况下沿着上下方向及水平方向弹性变形。即，在加压状态下，导电部110在除固定于支撑部121及绝缘膜130的部分之外的部分，在贯通孔341内自由地弹性变形。导电部110、贯通孔341及间隙550的尺寸可以为了导电部110的顺畅的弹性变形而确定。
130.图14为示出本公开第六实施例的连接器的一部分的剖视图，图15简要示出图14所示的在连接器的水平方向的剖面形状。一同参照图14及图15来说明第六实施例的连接器。
131.与上述第五实施例的连接器相比，本实施例的连接器600除导电部具有单一结构且绝缘部包括与导电部的弹性物质不同的弹性物质之外，与上述第五实施例的连接器的结构类似。
132.连接器600包括沿着上下方向vd传输信号的至少一个导电部610。导电部610可呈沿着上下方向vd延伸的圆柱形状，但是，导电部的形状并不局限于圆柱形状。导电部610包含上述多个第一导电性物质113及上述第一弹性物质114。多个第一导电性物质113以可沿着上下方向vd导电的方式接触，第一弹性物质114以使多个第一导电性物质113形成导电部610的形状的方式使多个第一导电性物质113维持上下方向vd。在导电部610中，第一弹性物质114与多个第一导电性物质113相混合。
133.支撑部121起到沿着上下方向vd支撑一个导电部610或多个导电部610的功能。支撑部121可沿着水平方向hd配置，与导电部610的下端部结合成一体。支撑部121使多个导电部610沿着水平方向hd隔开及绝缘。至少一个导电部610与支撑部121或多个导电部610与支撑部121形成为一体并构成执行上下方向信号传输的一个导电模组120。
134.绝缘膜130可以与导电部610的上端部相结合来形成连接器600的上部面。绝缘膜130可以使多个导电部610绝缘，可以沿着上下方向vd支撑多个导电部610。
135.绝缘部640使多个导电部610沿着水平方向隔开及绝缘。
136.绝缘部640位于支撑部121及绝缘膜130之间。支撑部121以可去除的方式与绝缘部640相结合。例如，支撑部121的上部面与绝缘部640的下部面粘结，由此支撑部121与绝缘部640可以相结合。绝缘膜130的下部面可通过粘结方式与绝缘部640的上部面相结合。
137.绝缘部640可以由一个弹性体形成。绝缘部340由上述第二弹性物质115形成。绝缘部640具有使导电部610沿着上下方向vd插入的至少一个贯通孔341。贯通孔341沿着上下方向vd在绝缘部640穿孔而成，沿着上下方向vd，从绝缘部640的上部面延伸至绝缘部640的下部面。在导电部610被支撑部121支撑的状态下，从下往上向贯通孔341插入。在贯通孔341的水平方向的形状可以与导电部610的横截面形状对应。
138.在导电部610配置第一弹性物质114，在绝缘部640配置第二弹性物质115。第一弹性物质114可包含氟及硅橡胶并具有耐寒性。第二弹性物质可包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶并具有耐热性。在上述第一温度范围内的加压状态下，包含耐热性材料的第二弹性物质115具有比第一弹性物质114的膨胀率低的膨胀率或比不包含耐热性材料的硅橡胶低的膨胀率。在上述第二温度范围加压状态下，包含耐寒性材料的第一弹性物质114具有比第二弹性物质115的膨胀率低的膨胀率或比不包含耐寒性材料的硅橡胶高的膨胀率。
139.作为代替例，导电部610可包含上述耐热性材料，绝缘部640可包含上述耐寒性材料。即，导电部610的第一弹性物质114可包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶，
绝缘部640的第二弹性物质115可包含氟及硅橡胶。在此情况下，在上述第一温度范围内的加压状态下，包含耐热性材料的第一弹性物质114具有比第二弹性物质115的膨胀率低的膨胀率或具有比并不包含耐热性材料的硅橡胶低的膨胀率。并且，在上述第二温度范围内的加压状态下，包含耐寒性材料的第二弹性物质115具有比第一弹性物质114的膨胀率高的膨胀率或比并不包含耐寒性材料的硅橡胶高的膨胀率。
140.在上述实施例的连接器600中，构成导电部610的弹性物质包含上述耐寒性材料，构成绝缘部640的弹性物质包含上述耐热性材料。或者，构成导电部610的弹性物质包含上述耐热性材料，构成绝缘部640的弹性物质包含上述耐寒性材料。
141.因此，在比较高温的加压状态(例如，在上述第一温度范围内的加压状态)下，可以防止导电部610及绝缘部640过度膨胀，在比较低温的加压状态(例如，在上述第二温度范围内的加压状态)下，可以防止导电部610及绝缘部640过度收缩。因此，当在比较低的温度下进行检查时，上述实施例的连接器100可以无需施加强力的压力，当在比较高温下进行检查时，可以防止变形。
142.作为另一个代替例，导电部610及绝缘部640均可包含上述耐寒性材料，导电部610及绝缘部640均可包含上述耐热性材料。在这种情况下，连接器600可具有耐寒性及耐热性中的一个。
143.在连接器600中，能够以使在贯通孔341的水平方向的大小尺寸大于在导电部110的水平方向的大小尺寸的方式形成绝缘部640的贯通孔341。在此情况下，如图14及图15所示，在贯通孔341的内周面与导电部610的外周面之间形成通过贯通孔341的内周面的一部分或整体及导电部610的外周面的一部分或整体形成的间隙550。间隙550为贯通孔341的内周面与导电部610的外周面之间的空心空间。在导电部610的非加压状态下，一个导电部610通过在一个贯通孔341和与此对应的导电部610之间形成的间隙550与绝缘部640分离。在导电部610的加压状态下，间隙550允许电部610在不受到绝缘部640的贯通孔341的限制的情况下沿着上下方向及水平方向弹性变形。由此，除了提高基于上述耐寒性材料的耐寒性之外，导电部610在低的压力下可以呈现出充分的导电性。
144.以上，虽然根据一部分实施例和附图所示的例说明了本公开的技术思想，但应当理解的是，本公开所属技术领域的普通技术人员可在不脱离本公开的技术思想及范畴内进行多种修改、变形及变更。并且，这种修改、变形及变更均属于所附的发明要求保护范围内。