预湿处理方法与流程

技术特征：
1.一种预湿处理方法，用于在镀覆装置中对基板实施镀覆处理之前实施预湿处理，上述镀覆装置具备：镀覆模块，用于对所述基板实施所述镀覆处理；和预湿模块，用于对所述基板实施所述预湿处理，所述预湿模块具有喷嘴头，所述喷嘴头构成为能够伴随着沿着所述基板的板面的移动向所述基板的板面供给预湿液，所述预湿处理方法包括：基于决定所述镀覆装置整体的处理速率的速率決定工序，算出所述预湿模块中的最大处理时间的工序；基于算出的所述最大处理时间，算出所述喷嘴头的最低移动速度的工序；以及以算出的所述最低移动速度以上的速度使所述喷嘴头移动并向所述基板的板面供给所述预湿液的工序。2.根据权利要求1所述的预湿处理方法，其特征在于，算出所述最低移动速度的工序中，基于所述最大处理时间、和所述喷嘴头扫掠所述板面的次数，算出所述最低移动速度。3.根据权利要求1或2所述的预湿处理方法，其特征在于，所述镀覆装置具备规定数量的速率決定模块，所述速率決定模块进行所述速率決定工序，算出所述最大处理时间的工序包括：所述速率決定模块的处理时间与同所述速率決定模块有关的搬运时间的和除以所述规定数量，而算出所述镀覆装置的生产率相关值。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的预湿处理方法，其特征在于，供给所述预湿液的工序中，所述喷嘴头扫掠所述板面规定次数，在第一扫掠次数中，所述喷嘴头对所述板面吹送所述预湿液的吹送角度为第一角度，在第二扫掠次数中，所述吹送角度为与所述第一角度不同的第二角度。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的预湿处理方法，其特征在于，供给所述预湿液的工序中，所述喷嘴头扫掠所述板面规定次数，在第一扫掠次数和第二扫掠次数中，来自所述喷嘴头的所述预湿液的供给量或所述预湿液的成分不同。6.根据权利要求1～5中的任一项所述的预湿处理方法，其特征在于，算出所述最低移动速度的工序包括从所述最大处理时间减去基本时间来算出所述喷嘴头的扫掠时间，所述基本时间包括与所述预湿模块有关的所述基板的搬运时间。7.根据权利要求6所述的预湿处理方法，其特征在于，所述预湿模块具有预湿槽，所述预湿槽用于收容所述基板并使该基板浸渍于处理液，所述基本时间包括用于在所述预湿槽中使所述基板浸渍于所述处理液的时间。8.根据权利要求1～7中的任一项所述的预湿处理方法，其特征在于，所述速率決定工序是在所述镀覆模块中进行的工序。9.根据权利要求1～8中的任一项所述的预湿处理方法，其特征在于，所述镀覆模块设置于第一位置，所述预湿模块设置于与所述第一位置不同的第二位置。10.根据权利要求1～9中的任一项所述的预湿处理方法，其特征在于，供给所述预湿液的工序在所述基板的被镀覆面朝向上方的状态下进行。

技术总结
本发明提出一种能够在不影响生产率的情况下有效地对基板实施预湿处理的预湿处理方法。提出用于在镀覆装置中对基板实施镀覆处理之前实施预湿处理的预湿处理方法。预湿处理方法包括：基于决定上述镀覆装置整体的处理速率的速率決定工序，算出预湿模块中的最大处理时间的工序；基于算出的上述最大处理时间，算出上述预湿模块中的喷嘴头的最低移动速度的工序；以及以算出的上述最低移动速度以上的速度使上述喷嘴头移动并向上述基板的板面供给上述预湿液的工序。述预湿液的工序。述预湿液的工序。


技术研发人员：辻一仁
受保护的技术使用者：株式会社荏原制作所
技术研发日：2021.10.14
技术公布日：2023/2/24