前驱体容器的制作方法

技术特征：
1.一种前驱体容器，包括：第一容积，所述第一容积由第一腔室形成以容纳前驱体材料；第二容积，所述第二容积由第二腔室形成并且通过分隔壁与所述第一容积分开；以及导管，所述导管穿过所述分隔壁并且从所述第一容积延伸到所述第二容积，从而在所述第一容积中的压力增加之后，向被容纳在所述第一容积内的所述前驱体材料提供到所述第二容积的路径，并且所述分隔壁是允许气体从所述第一容积渗透至所述第二容积的透气壁。2.根据权利要求1所述的前驱体容器，其中所述前驱体容器包括被布置到所述第一容积的入口。3.根据权利要求1或2所述的前驱体容器，其中所述前驱体容器包括被布置到所述第二容积的出口。4.根据前述权利要求中任一项所述的前驱体容器，其中所述前驱体容器包括用于在脉冲阶段期间向所述第一容积提供惰性气体的、被布置到所述第一容积的入口。5.根据前述权利要求中任一项所述的前驱体容器，其中所述前驱体容器包括用于从所述第二容积排出惰性气体和前驱体材料的混合物的、被布置到所述第二容积的出口。6.根据权利要求2至5中任一项所述的前驱体容器，其中所述入口或所述出口包括阀。7.根据前述权利要求中任一项所述的前驱体容器，包括附接的加热部件，所述附接的加热部件被布置为加热所述第二容积。8.根据权利要求7所述的前驱体容器，其中所述加热部件被布置为：在脉冲阶段期间，将所述第二容积加热到比所述第一容积中的温度高的温度。9.根据前述权利要求中任一项所述的前驱体容器，其中与所述第一腔室的材料相比，所述第一腔室由具有低热导率的材料制成，并且所述第二腔室由具有高热导率的材料制成。10.根据前述权利要求中任一项所述的前驱体容器，包括被布置或附接到所述第二容积的、用于增大蒸发的部件，所述部件优选地包括超声源、红外源或微波源。11.一种用于对前驱体容器中的前驱体材料进行处理的方法，所述前驱体容器包括由第一腔室形成的第一容积、由第二腔室形成的第二容积，所述第二容积通过透气分隔壁与所述第一容积分开，所述方法包括：增加所述第一容积中的压力，以使被容纳在所述第一容积内的前驱体材料沿着穿过所述分隔壁的导管、从所述第一容积延伸到所述第二容积；以及通过所述透气分隔壁，提供从所述第一容积到所述第二容积的气体流动。12.根据权利要求11所述的方法，其中所述方法包括：通过使惰性气体经由入口流进所述第一容积，来增加所述压力。13.根据权利要求11或12所述的方法，其中所述方法包括：在脉冲阶段期间，使所述惰性气体通向第一容积。14.根据权利要求11至13中任一项所述的方法，其中所述方法包括：经由出口，从所述第二容积排出惰性气体和前驱体材料。15.根据权利要求11至14中任一项所述的方法，其中所述方法包括：在脉冲阶段期间，将所述第二容积加热到比所述第一容积中的温度高的温度。
16.根据权利要求11至15中任一项所述的方法，其中所述方法包括：利用诸如超声源、红外ir源或微波源的能量源，增大对所述第二容积内的所述前驱体材料的蒸发。

技术总结
本公开的实施例涉及一种前驱体容器，包括：第一容积，由第一腔室形成以容纳前驱体材料；第二容积，由第二腔室形成并通过分隔壁与第一容积分开；以及导管，穿过分隔壁并从第一容积延伸到第二容积，在第一容积中的压力增加之后，向被容纳在第一容积中的前驱体材料提供到第二容积的路径。分隔壁是允许气体从第一容积渗透至第二容积的透气壁。积渗透至第二容积的透气壁。积渗透至第二容积的透气壁。


技术研发人员：T
受保护的技术使用者：皮考逊公司
技术研发日：2022.09.02
技术公布日：2023/3/10