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一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置

2023-03-09 17:52:43 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及陶瓷覆铜基板加工技术领域,具体涉及一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置。


背景技术:

2.陶瓷覆铜基板是大功率电子电力技术的基础材料,陶瓷覆铜板由陶瓷基材,键合粘接层及导电层等构成。amb工艺运用活性金属钎焊的方式制作基板,制得的aln覆cu陶瓷基板具有更高的热导率、铜层结合强度高等特点,已成为当前高压大功率igbt模块封装中首选的陶瓷衬板。由于amb工艺难度较大,铜与基板粘接/钎焊后需要进行层压蚀刻工序,现有技术是两次蚀刻,但是是手工涂抹蚀刻液,送进钎焊炉钎焊后取出,再涂上第二层蚀刻液送入钎焊炉,如此,容易出现工序繁琐、蚀刻效率低等问题,为了提升基板层压蚀刻效率,故提出了一种一体化层压蚀刻加工装置。


技术实现要素:

3.鉴于现有技术存在的问题,本实用新型的目的在于提供一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置,用于陶瓷覆铜基板的层压蚀刻工序,目的是为了自动化改变两次层压蚀刻过程的蚀刻液种类,无需取出基板,减少加工操作量,提高蚀刻效率。
4.本实用新型的技术方案如下:
5.一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置,包括蚀刻液贮藏箱和出料管、所述蚀刻液贮藏箱的内部设有隔板,所述隔板将蚀刻液贮藏箱的内腔分为腔体一和腔体二,其中每个腔体的底部开设有用于连接出料管的通孔,所述蚀刻液贮藏箱的底部设有使出料管能够自由移动至腔体一或腔体二移动机构,所述出料管卡接于移动机构。
6.进一步地,所述移动机构包括移动滑槽、六角卡板及锥形嘴,所述移动滑槽设置于蚀刻液贮藏箱的底部,所述出料管伸出移动滑槽的底端设有六角卡板,所述六角卡板的中出处设有锥形嘴。
7.进一步地,所述出料管靠近上部的端部表面设有凸台,所述出料管位于凸台的下部伸出移动滑槽,且其底端设有六角卡板。
8.进一步地,包括止动弹簧,所述止动弹簧套设于出料管位于凸台的下部的外表面,其中弹簧放松,将进料管向上顶,卡入通孔内,下拉进料管,弹簧压紧,进料口上端从通孔脱出,随后进料管可在滑槽内滑动。
9.进一步地,所述出料管与六角卡板配合处开外螺纹,所述六角卡板的内壁开设有与外螺纹相匹配的内螺纹,所述出料管与六角卡板通过外螺纹和内螺纹连接。
10.进一步地,所述腔体一和腔体二底部的通孔位于移动滑槽内。
11.进一步地,所述出料管与凸台一体成型;所述锥形嘴与六角卡板一体成型。
12.与现有技术相比较,本实用新型的有益效果:
13.采用本实用新型的技术方案,蚀刻液贮藏箱的隔板将其内腔分为腔体一和腔体
二,其中每个腔体的底部开设有用于连接出料管的通孔,蚀刻液贮藏箱的底部设有使出料管能够自由移动至腔体一或腔体二移动机构,在陶瓷覆铜基板第一次及第二次层压蚀刻过程中,无需在真空钎焊炉内重复取放基板,直接转换蚀刻液种类实现一体化涂抹,隔绝外界接触,降低氧化可能,提高蚀刻效率与质量。
附图说明
14.图1为本实用新型的整体结构示意图;
15.图2为本实用新型的主视图;
16.图3为本实用新型的剖视图;
17.图4为本实用新型的出料管的结构示意图;
18.图5为图3中a处的细节放大图。
19.图中:1、蚀刻液贮藏箱;11、隔板;12、通孔;2、出料管;3、移动滑槽;4、六角卡板;5、锥形嘴;6、凸台;7、止动弹簧。
具体实施方式
20.下面结合附图对本实用新型作进一步地说明,但本实用新型所保护的范围不限于所述范围。
21.如图1-5所示,一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置,包括蚀刻液贮藏箱1、出料管2及移动机构,蚀刻液贮藏箱1的内部设有隔板11,隔板11将蚀刻液贮藏箱1的内腔分为腔体一和腔体二,其中每个腔体的底部设有通孔12,通孔12与出料管2的大小相匹配,蚀刻液贮藏箱1的底部设有移动机构,出料管2可接于移动机构上,使得出料管2能够自由移动至腔体一或腔体二后与通孔12接通。
22.本实用新型的一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置,移动机构包括移动滑槽3、六角卡板4及锥形嘴5,移动滑槽3设置于蚀刻液贮藏箱1的底部,本实施例中移动滑槽3与蚀刻液贮藏箱1一体成型,出料管2伸出移动滑槽3的底端设有六角卡板4,六角卡板4的中出处设有锥形嘴5,控制蚀刻流量,使得蚀刻液一点一点蚀刻,本实施例中锥形嘴5与六角卡板4一体成型。
23.本实用新型的一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置,出料管2靠近上部的端部表面设有凸台6,本实施例中出料管2与凸台6一体成型,出料管2位于凸台6的下部伸出移动滑槽3,且其底端设有六角卡板4,本实施例中,出料管2与六角卡板4配合处开外螺纹,六角卡板4的内壁开设有与外螺纹相匹配的内螺纹,出料管2与六角卡板4通过外螺纹和内螺纹连接,方便安装与维修。
24.本实用新型的一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置,腔体一和腔体二底部的通孔位于移动滑槽3内。
25.本实用新型的一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置,包括止动弹簧7,止动弹簧7套设于出料管2位于凸台6的下部的外表面。
26.具体地,出料管2到达任意一个通孔12位置时,止动弹簧7放松,出料管2顶起卡入通孔12,退出时将出料管2向下拉,出料管2上端脱出通孔12下端,止动弹簧7受压锁紧,涂抹时六角卡板4顺时针旋开,使得锥形嘴5与六角卡板4之间产生空隙,令蚀刻液自上而下流
动,留出至锥形嘴5下端开口处进行涂抹,涂抹完毕后,六角卡板4逆时针旋转关紧,蚀刻液不再流出,陶瓷覆铜基板第一次蚀刻时可将出料管2连接至腔体一的通孔12内,蚀刻液从锥形嘴5流出后进行涂抹,完成涂抹与钎焊工序后,转换至腔体二重复上述操作完成基板两次蚀刻,无需手工涂抹与取出基板,一体化完成陶瓷覆铜基板两次层压蚀刻工序。


技术特征:
1.一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置,其特征在于包括蚀刻液贮藏箱(1)和出料管(2)、所述蚀刻液贮藏箱(1)的内部设有隔板(11),所述隔板(11)将蚀刻液贮藏箱(1)的内腔分为腔体一和腔体二,其中每个腔体的底部开设有用于连接出料管(2)的通孔(12),所述蚀刻液贮藏箱(1)的底部设有使出料管(2)能够自由移动至腔体一或腔体二移动机构,所述出料管(2)卡接于移动机构。2.根据权利要求1所述的一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置,其特征在于所述移动机构包括移动滑槽(3)、六角卡板(4)及锥形嘴(5),所述移动滑槽(3)设置于蚀刻液贮藏箱(1)的底部,所述出料管(2)伸出移动滑槽(3)的底端设有六角卡板(4),所述六角卡板(4)的中出处设有锥形嘴(5)。3.根据权利要求1所述的一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置,其特征在于所述出料管(2)靠近上部的端部表面设有凸台(6),所述出料管(2)位于凸台(6)的下部伸出移动滑槽(3),且其底端设有六角卡板(4)。4.根据权利要求1所述的一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置,其特征在于包括止动弹簧(7),所述止动弹簧(7)套设于出料管(2)位于凸台(6)的下部的外表面。5.根据权利要求4所述的一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置,其特征在于所述出料管(2)与六角卡板(4)配合处开外螺纹,所述六角卡板(4)的内壁开设有与外螺纹相匹配的内螺纹,所述出料管(2)与六角卡板(4)通过外螺纹和内螺纹连接。6.根据权利要求2所述的一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置,其特征在于所述腔体一和腔体二底部的通孔位于移动滑槽(3)内。7.根据权利要求6所述的一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置,其特征在于所述出料管(2)与凸台(6)一体成型;所述锥形嘴(5)与六角卡板(4)一体成型。

技术总结
本实用新型公开了一种陶瓷覆铜基板一体化蚀刻液涂抹装置,包括蚀刻液贮藏箱和出料管,蚀刻液贮藏箱的内部设有隔板,隔板将蚀刻液贮藏箱的内腔分为腔体一和腔体二,每个腔体的底部开设有用于连接出料管的通孔,蚀刻液贮藏箱的底部设有使出料管能够自由移动至腔体一或腔体二移动机构,出料管卡接于移动机构,蚀刻液贮藏箱的隔板将其内腔分为腔体一和腔体二,每个腔体的底部开设有用于连接出料管的通孔,蚀刻液贮藏箱的底部设有使出料管能够自由移动至腔体一或腔体二移动机构,在陶瓷覆铜基板第一次及第二次层压蚀刻过程中,无需在真空钎焊炉内重复取放基板,直接转换蚀刻液种类实现一体化涂抹,隔绝外界接触,降低氧化可能,提高蚀刻效率与质量。提高蚀刻效率与质量。提高蚀刻效率与质量。


技术研发人员:叶阳天 戴浩凯 李亚飞 程钰翔 董大鑫 黄涵逸 李科桥 闾川阳
受保护的技术使用者:浙江工业大学
技术研发日:2022.08.28
技术公布日:2023/3/3
再多了解一些

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