加工站点产能的获取方法及获取系统与流程

技术特征：
1.一种加工站点产能的获取方法，所述加工站点包括若干加工位置，其特征在于，包括：将运行同一制程菜单步骤的加工位置作为一个加工集合；获取各所述加工集合对应的加工时间，所述加工时间是指将所述加工集合中的各加工位置等效为一个加工位置时得到的等效工艺时间；将各所述加工集合中所述加工位置可放置的产品数量和所述加工时间的比值作为所述加工集合对应的集合产能，并将最小的所述集合产能作为所述加工站点的产能；其中，同一加工集合中各加工位置可放置的产品数量相同。2.根据权利要求1所述的获取方法，其特征在于，所述将运行同一制程菜单步骤的加工位置作为一个加工集合之后包括：获取各所述加工集合中加工位置的位置数量。3.根据权利要求2所述的获取方法，其特征在于，所述获取各所述加工集合对应的加工时间的步骤包括：获取所述加工集合中任一加工位置对应的工艺时间，所述工艺时间是指所述加工位置运行所述制程菜单步骤时，产品从放入加工位置到离开加工位置的时间间隔；根据所述工艺时间和所述加工集合中位置数量的比值，得到所述加工集合对应的加工时间。4.根据权利要求2所述的获取方法，其特征在于，还包括：获取加工时间最长的加工集合作为第一加工集合；获取位置数量大于1且加工时间最短的加工集合作为第二加工集合；增加所述第一加工集合的位置数量，并同时减少所述第二加工集合的位置数量；其中，所述第一加工集合的位置数量的增加值等于所述第二加工集合的位置数量的减少值。5.根据权利要求1所述的获取方法，其特征在于，所述获取各所述加工集合对应的加工时间的步骤包括：获取所述加工集合中所有加工位置同时运行对应制程菜单步骤时，在预设时间内得到的产品的预设产品数量；根据所述预设时间和所述预设产品数量，得到通过所述加工集合得到产品数量的产品所需的工艺时间，并将其作为所述加工集合对应的加工时间。6.根据权利要求1所述的获取方法，其特征在于，所述加工站点包括刻蚀设备、光刻设备、清洗设备、沉积设备或测试设备中的一种。7.根据权利要求1所述的获取方法，其特征在于，所述加工位置包括清洗槽，所述加工站点中各加工位置的产品数量均为50。8.一种加工站点产能的获取系统，所述加工站点包括若干加工位置，其特征在于，包括：设置模块，用于设置运行同一制程菜单步骤的加工位置为一个加工集合；获取模块，用于获取各所述加工集合对应的加工时间，所述加工时间是指将所述加工集合中的各加工位置等效为一个加工位置时得到的等效工艺时间；运算模块，用于根据各所述加工集合中所述加工位置可放置的产品数量和所述加工时
间的比值得到所述加工集合对应的集合产能，并将最小的所述集合产能作为所述加工站点的产能；其中，同一加工集合中各加工位置可放置的产品数量相同。9.根据权利要求8所述的获取系统，其特征在于，所述获取模块还用于获取各所述加工集合中加工位置的位置数量。10.根据权利要求9所述的获取系统，其特征在于，所述获取模块还用于获取所述加工集合中任一加工位置对应的工艺时间，所述工艺时间是指所述加工位置运行所述制程菜单步骤时，产品从放入加工位置到离开加工位置的时间间隔；所述运算模块还用于根据所述加工时间和所述加工集合中位置数量的比值，得到所述加工集合对应的加工时间。11.根据权利要求9所述的获取系统，其特征在于，还包括：控制模块，用于将加工时间最长的加工集合作为第一加工集合，并将位置数量大于1且加工时间最短的加工集合作为第二加工集合；所述控制模块还用于控制增加所述第一加工集合的位置数量，同时控制减少所述第二加工集合的位置数量；其中，所述第一加工集合的位置数量的增加值等于所述第二加工集合的位置数量的减少值。12.根据权利要求8所述的获取方法，其特征在于，所述获取模块还用于获取所述加工集合中所有加工位置同时运行对应制程菜单步骤时，在预设时间内得到的产品的预设产品数量；所述运算模块还用于根据所述预设时间和所述预设产品数量，得到通过所述加工集合得到产品数量的产品所需的工艺时间，并将其作为所述加工集合的加工时间。13.根据权利要求8所述的获取方法，其特征在于，所述加工站点包括刻蚀设备、光刻设备、清洗设备、沉积设备或测试设备中的一种。14.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至7中任一项所述的方法的步骤。15.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至7中任一项所述的方法的步骤。

技术总结
本申请实施例涉及一种加工站点产能的获取方法及获取系统。加工站点包括若干加工位置，该获取方法包括将运行同一制程菜单步骤的加工位置作为一个加工集合；获取各加工集合对应的加工时间，加工时间是指将加工集合中的各加工位置等效为一个加工位置时得到的等效工艺时间；将各加工集合中加工位置可放置的产品数量和加工时间的比值作为加工集合对应的集合产能，并将最小的集合产能作为加工站点的产能；其中，同一加工集合中各加工位置可放置的产品数量相同。该获取方法可以有效剔除产品生产中的等待时间，并且不需要人工堆积具有相同步骤且运行相同制程菜单的产品，操作简单、准确性高。确性高。确性高。


技术研发人员：王剑平 王晓 操津津
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2021.08.16
技术公布日：2023/2/17