一种PET复合铜箔卷的连续制备工艺的制作方法

技术特征：
1.一种pet复合铜箔卷的连续制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：s1：在pet薄膜卷表面溅射铜，得到初级pet复合铜箔卷；s2：将初级pet复合铜箔卷置于电解液中进行脉冲电镀，得到终级pet复合铜箔卷。2.根据权利要求1所述的一种pet复合铜箔卷的连续制备工艺，其特征在于，所述步骤s1的具体操作如下：pet薄膜卷在空气气氛下，采取功率为45-55w,压力为70-90pa进行等离子体处理，随后立即将表面经过等离子体处理的pet薄膜卷安装入磁控溅射真空室放卷辊中，采用多阴极真空磁控溅射仪在pet薄膜卷表面溅射铜。3.根据权利要求2所述的一种pet复合铜箔卷的连续制备工艺，其特征在于，所述pet薄膜卷表面在溅射铜时，真空室内的真空度为6*10-6-5*10-5
pa，溅射功率为30-50w，靶基间距为30-50mm，通过传动辊进入多阴极磁控溅射室，沉积时间为10-15min，经过收卷辊将pet复合铜箔收卷。4.根据权利要求1所述的一种pet复合铜箔卷的连续制备工艺，其特征在于，所述步骤s2中的电解液的制备方法是：将每l电解液中的浓度为150-200g/l的主盐五水合硫酸铜与每l电解液中的浓度为20-45g/l的络合剂六亚甲基四胺在温度为25-36℃的去离子水溶剂中搅拌溶解，接着依次加入每l电解液中的浓度为40-50g/l的主光亮剂二硫苯并咪唑、每l电解液中的浓度为10-15g/l的辅助光亮剂丙基磺酸钠、每l电解液中的浓度为2.5-4.5ml/l的整平剂3-乙基-3-己烯-2,5-二醇和每l电解液中的浓度为5-10g/l的晶粒细化剂苯基二硫丙烷磺酸钠，充分搅拌防止聚沉，最后加入每l电解液中的浓度为20-50g/l的导电剂磷酸钠和每l电解液中的浓度为20-30ml/l的ph调节剂磷酸，调节ph值为3.5-4.5。5.根据权利要求1所述的一种pet复合铜箔卷的连续制备工艺，其特征在于，所述步骤s2的具体操作如下：将初级pet复合铜箔卷安装入释放辊中，进行流程为化学除油-水洗-电化学除油-水洗-活化-预镀铜-脉冲电镀铜的电镀工艺处理，其中化学除油中清洗剂采用质量浓度为10％-20％的碳酸钠溶液和质量浓度为12-18％的硅酸钠混合碱性除油剂，清洗时间为5-10min；水洗均采用纯水涮洗；电化学除油采用质量浓度为10-20％的氢氧化钠和质量浓度为5％-10％的碳酸钠混合碱性除油剂，并添加质量浓度为2％-5％op乳化剂，时间为8-10min；活化采用质量浓度95％盐酸，活化时间为2-5min；预镀铜采用质量分数为20％-30％的氯化铜和质量分数为20％-30％的盐酸，温度为5-40℃，预镀时间为10-15min；脉冲电镀铜工艺中，电镀槽的温度为20-36℃，脉冲电镀电流密度为3-8a/dm2，占空比为0.7-0.85，t
正向电流
为0.5-1ms，t
反向电流
为0.3-0.8ms，t
电镀周期
为5-6min，电镀结束后，经收卷辊收集终极pet复合铜箔。6.根据权利要求1所述的一种pet复合铜箔卷的连续制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：s1：在pet薄膜卷表面溅射铜，得到初级pet复合铜箔卷；s2：将初级pet复合铜箔卷置于电解液中进行脉冲电镀，得到终级pet复合铜箔卷；所述步骤s1的具体操作如下：pet薄膜卷在空气气氛下，采取功率为45w，压力为70pa进行等离子体处理，随后立即将表面经过等离子体处理的pet薄膜卷安装入磁控溅射真空室放卷辊中，采用多阴极真空磁控溅射仪在pet薄膜卷表面溅射铜；所述pet薄膜卷表面在溅射铜时，真空室内的真空度为6*10-6
pa，溅射功率为30w，靶基间距为30mm，通过传动辊进入多阴极磁控溅射室，沉积时间为10min，经过收卷辊将初级pet
复合铜箔收卷；所述步骤s2中的电解液的制备方法是：将每l电解液中的浓度为150g/l的主盐五水合硫酸铜与每l电解液中的浓度为20g/l的络合剂六亚甲基四胺在25℃的去离子水溶剂中搅拌溶解，接着依次加入每l电解液中的浓度为40g/l的主光亮剂二硫苯并咪唑、每l电解液中的浓度为40g/l的辅助光亮剂丙基磺酸钠、每l电解液中的浓度为2.5ml/l的整平剂3-己烯-2,5-二醇和每l电解液中的浓度为5g/l的晶粒细化剂苯基二硫丙烷磺酸钠，充分搅拌防止聚沉，最后加入每l电解液中的浓度为20g/l的导电剂磷酸钠和每l电解液中的浓度为20ml/l的ph调节剂磷酸，调节ph值为3.5；所述步骤s2的具体操作如下：将初级pet复合铜箔卷安装入释放辊中，进行流程为化学除油-水洗-电化学除油-水洗-活化-预镀铜-脉冲电镀铜的电镀工艺处理，其中化学除油中清洗剂采用质量浓度为10％的碳酸钠溶液和质量浓度为12％的硅酸钠混合碱性除油剂，清洗时间为5min；水洗均采用纯水涮洗；电化学除油采用质量浓度为10％的氢氧化钠和浓度为5％的碳酸钠混合碱性除油剂，并添加质量浓度为2％op乳化剂，时间为8min；活化采用质量浓度95％盐酸，活化时间为5min；预镀铜采用质量分数为20％-30％的氯化铜和质量分数为20％的盐酸，温度为5℃，预镀时间为10min；脉冲电镀铜工艺中电镀槽的温度为20℃，脉冲电镀电流密度为3a/dm2，占空比为0.7，t
正向电流
为0.5ms，t
反向电流
为0.3ms，t
电镀周期
为5min，电镀结束后，经收卷辊收集终极pet复合铜箔。7.根据权利要求1所述的一种pet复合铜箔卷的连续制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：s1：在pet薄膜卷表面溅射铜，得到初级pet复合铜箔卷；s2：将初级pet复合铜箔卷置于电解液中进行脉冲电镀，得到终级pet复合铜箔卷；所述步骤s1的具体操作如下：pet薄膜卷在空气气氛下，采取功率50w，压力为80pa进行等离子体处理，随后立即将表面经过等离子体处理的pet薄膜卷安装入磁控溅射真空室放卷辊中，采用多阴极真空磁控溅射仪在pet薄膜卷表面溅射铜；所述pet薄膜卷表面在溅射铜时，真空室内的真空度为9*10-6
pa，溅射功率为35w，靶基间距为45mm，通过传动辊进入多阴极磁控溅射室，沉积时间为12min，经过收卷辊将初级pet复合铜箔收卷；所述步骤s2中的电解液的制备方法是：将每l电解液中的浓度为180g/l的主盐五水合硫酸铜与每l电解液中的浓度为30g/l的络合剂六亚甲基四胺在30℃的去离子水溶剂中搅拌溶解，接着依次加入每l电解液中的浓度为50g/l的主光亮剂二硫苯并咪唑、每l电解液中的浓度为12g/l的辅助光亮剂丙基磺酸钠、每l电解液中的浓度为3ml/l的整平剂3-己烯-2,5-二醇和每l电解液中的浓度为8g/l的晶粒细化剂苯基二硫丙烷磺酸钠，充分搅拌防止聚沉，最后加入每l电解液中的浓度为30g/l的导电剂磷酸钠和每l电解液中的浓度为25ml/l的ph调节剂磷酸，调节ph值为4；所述步骤s2的具体操作如下：将初级pet复合铜箔卷安装入释放辊中，进行流程为化学除油-水洗-电化学除油-水洗-活化-预镀铜-脉冲电镀铜的电镀工艺处理，其中化学除油中清洗剂采用质量浓度为15％的碳酸钠溶液和质量浓度为15％的硅酸钠混合碱性除油剂，清洗时间为7min；水洗均采用纯水涮洗；电化学除油采用质量浓度为10％的氢氧化钠和质量浓度为5％的碳酸钠混合碱性除油剂，并添加质量浓度为3％op乳化剂，时间为9min；活化采
用质量浓度95％盐酸，活化时间为3min；预镀铜采用质量分数为25％的氯化铜和质量分数为25％的盐酸，温度为20℃，预镀时间为12min；脉冲电镀铜工艺中电镀槽的温度为30℃，脉冲电镀电流密度为6a/dm2，占空比为0.8，t
正向电流
为0.8ms，t
反向电流
为0.5ms，t
电镀周期
为6min，电镀结束后，经收卷辊收集终极pet复合铜箔。8.根据权利要求1所述的一种pet复合铜箔卷的连续制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：s1：在pet薄膜卷表面溅射铜，得到初级pet复合铜箔卷；s2：将初级pet复合铜箔卷置于电解液中进行脉冲电镀，得到终级pet复合铜箔卷；所述步骤s1的具体操作如下：pet薄膜卷在空气气氛下，采取功率为55w，压力为90pa进行等离子体处理，随后立即将表面经过等离子体处理的pet薄膜卷安装入磁控溅射真空室放卷辊中，采用多阴极真空磁控溅射仪在pet薄膜卷表面溅射铜；所述pet薄膜卷表面在溅射铜时，真空室内的真空度为5*10-5
pa，溅射功率为45w，靶基间距为50mm，通过传动辊进入多阴极磁控溅射室，沉积时间为15min，经过收卷辊将初级pet复合铜箔收卷；所述步骤s2中的电解液的制备方法是：将每l电解液中的浓度为200g/l的主盐五水合硫酸铜与每l电解液中的浓度为45g/l的络合剂六亚甲基四胺在36℃的去离子水溶剂中搅拌溶解，接着依次加入每l电解液中的浓度为50g/l的主光亮剂二硫苯并咪唑、每l电解液中的浓度为15g/l的辅助光亮剂丙基磺酸钠、每l电解液中的浓度为4.5ml/l的整平剂3-己烯-2,5-二醇和每l电解液中的浓度为10g/l晶粒细化剂苯基二硫丙烷磺酸钠，充分搅拌防止聚沉，最后加入每l电解液中的浓度为50g/l的导电剂磷酸钠和每l电解液中的浓度为30ml/l的ph调节剂磷酸，调节ph值为4.5；所述步骤s2的具体操作如下：将初级pet复合铜箔卷安装入释放辊中，进行流程为化学除油-水洗-电化学除油-水洗-活化-预镀铜-脉冲电镀铜的电镀工艺处理，其中化学除油中清洗剂采用质量浓度为20％的碳酸钠溶液和质量浓度为18％的硅酸钠混合碱性除油剂，清洗时间为10min；水洗均采用纯水涮洗；电化学除油采用质量浓度为10％的氢氧化钠和浓度为5％的碳酸钠混合碱性除油剂，并添加质量浓度为5％op乳化剂，时间为8-10min；活化采用质量浓度95％盐酸，活化时间为2min；预镀铜采用质量分数为30％的氯化铜和质量分数为30％的盐酸，温度为40℃，预镀时间为15min；脉冲电镀铜工艺中电镀槽的温度为36℃，脉冲电镀电流密度为8a/dm2，占空比为0.85，t
正向电流
为1ms，t
反向电流
为0.8ms，t
电镀周期
为6min，电镀结束后，经收卷辊收集终极pet复合铜箔。

技术总结
一种PET复合铜箔卷的连续制备工艺，包括以下步骤：S1：在PET薄膜卷表面溅射铜，得到初级PET复合铜箔卷；S2：将初级PET复合铜箔卷置于电解液中进行脉冲电镀，得到终级PET复合铜箔卷；采用Cu-PET-Cu的夹层复合结构，实现了从PET薄膜卷的预处理到磁控溅射工艺再到脉冲电镀的PET铜箔卷的连续制备，制备过程稳定可控，该复合结构的厚度为6.5-7.5μm，突破了现有量产PET铜箔厚度为10μm的局限，减小了电镀液的浓差极化，降低了镀层内应力和孔隙率，PET复合铜箔厚度均匀性保持在0.05μm的公差范围内，且其抗拉强度与传统的铜箔相当，但却具有更优异的延展性；用PET取代部分铜，能够提高材料的柔性，同时使得该复合材料具有更轻的质量，具有安全性高和轻量化的特点。有安全性高和轻量化的特点。


技术研发人员：冯庆 郝泽泽 王宇飞 程坤 郝小军 侯丝丝 窦泽坤
受保护的技术使用者：西安泰金新能科技股份有限公司
技术研发日：2022.11.15
技术公布日：2023/2/6