一种一级主动式超低频垂直隔振系统的制作方法

技术特征：
1.一种一级主动式超低频垂直隔振系统，包括被动式隔振平台、负载、振动传感器(4)、驱动器(5)、控制电路，其特征在于，所述被动式隔振平台内设有水平限位机构，所述水平限位机构为任意能够限制物体的三个旋转自由度和在水平面内平移的两个自由度的机构。2.根据权利要求1所述的一级主动式超低频垂直隔振系统，其特征在于，所述被动式隔振平台包括基座(1)、顶部平台(2)，所述顶部平台(2)水平设置在基座(1)内，所述基座(1)与顶部平台(2)之间设有弹簧(3)。3.根据权利要求1所述的一级主动式超低频垂直隔振系统，其特征在于，所述负载包括参考镜(6)、镜架(13)、配重(7)。4.根据权利要求2所述的一级主动式超低频垂直隔振系统，其特征在于，所述水平限位机构为限位杆(8)，所述限位杆(8)设有若干根，其中一部分呈旋转对称分布在上层水平面内，另一部分呈旋转对称分布在下层水平面内；每根限位杆(8)的两端分别与顶部平板(2)和基座(1)连接。5.根据权利要求4所述的一级主动式超低频垂直隔振系统，其特征在于，所述限位杆(8)为钢丝或采用形状记忆合金制成的杆。6.根据权利要求2所述的一级主动式超低频垂直隔振系统，其特征在于，所述限位机构为直线轴承组件(9)，所述直线轴承组件(9)包括光轴(10)、轴承(11)、连接件(12)，所述光轴(10)与基座(1)连接，所述连接件(12)的下端与顶部平台(2)连接，所述连接件(12)的上端通过轴承(11)与光轴(10)连接。7.根据权利要求1所述的一级主动式超低频垂直隔振系统，其特征在于，所述振动传感器(4)为地震计或加速度型传感器。8.根据权利要求1所述的一级主动式超低频垂直隔振系统，其特征在于，所述驱动器(5)为音圈电机或其他直流电机。9.根据权利要求1所述的一级主动式超低频垂直隔振系统，其特征在于，所述控制电路为模拟电路或数字电路。10.根据权利要求9所述的一级主动式超低频垂直隔振系统，其特征在于，所述控制电路包括放大模块、调偏模块、滤波模块、pid模块、驱动模块五大部分，以及电源整流模块、基准模块、电机开关辅助环节。

技术总结
本发明公开了一种一级主动式超低频垂直隔振系统，包括被动式隔振平台、负载、振动传感器、驱动器、控制电路，被动式隔振平台内设有水平限位机构，水平限位机构为任意能够限制物体的三个旋转自由度和在水平面内平移的两个自由度的机构，保证其仅具有垂直方向平移的单自由度。本发明系统具有复杂度较低、长期稳定性好的特点，通过机械设计实现水平限位的方案更为简单，且有助于提升主动隔振系统的稳定性。与现有技术相比，本发明无需更多成本，效率无明显降低。明显降低。明显降低。


技术研发人员：要佳敏 庄伟 田秦 吴书清
受保护的技术使用者：中国计量科学研究院
技术研发日：2022.11.21
技术公布日：2023/2/3