1.本发明涉及应力双折射检测技术领域，具体涉及一种集成化应力双折射检测装置。
背景技术：
2.基板玻璃生产是经过玻璃熔体快速冷却定形而成，在冷却定形过程中质点偏离平衡位置，会产生较大的热应力，使得热收缩往往高达几十ppm(收缩量与原长比值)，甚至上百ppm，无法达到小于10ppm的要求。现有的应力双折射检测通常是当基板玻璃退火后，在放入相位延迟检测系统，对应力双折射进行检测。因此，需要设计可以应用于基板玻璃退火的应力双折射实时检测装置，可以对退火状态下的基板玻璃应力双折射进行实时监测。
技术实现要素：
3.针对退火状态下的基板玻璃应力双折射实时检测的问题，本申请提供一种集成化应力双折射检测装置，旨在解决退火状态下基板玻璃应力双折射实时检测的问题。
4.本发明的技术方案如下：
5.本发明提供一种集成化应力双折射检测装置，包括：激光器、第一保偏光纤、待测样品、全光纤结构可调波片、第二保偏光纤、光电探测器、控制器；
6.所述激光器、第一保偏光纤、待测样品、全光纤结构可调波片、第二保偏光纤、光电探测器依次按序设置；
7.所述控制器用于控制所述激光器发射激光，控制所述第一保偏光纤和第二保偏光纤移动至待测样品的测试点，控制全光纤结构可调波片的快轴角与第二保偏光纤的光轴夹角为四个预设角度，获取相应预设角度下的光电探测器上所对应的光强，通过四步相移法计算测试点的相位延迟量和快轴角。
8.进一步优选的，所述第一保偏光纤与第二保偏光纤的光轴相互垂直。
9.进一步优选的，还包括第一位移台和第二位移台，所述第一保偏光纤安装于所述第一位移台，所述第二保偏光纤安装于所述第二位移台；所述控制器分别与所述第一位移台和第二位移台信号连接。
10.进一步优选的，所述控制器控制所述第一位移台和第二位移台移动，使第一保偏光纤和第二保偏光纤移动至待测样品的测试点，所述控制器控制全光纤结构可调波片的快轴角与第二保偏光纤的光轴夹角为0
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、45
°
、90
°
及135
°
，并通过四步相移法计算测试点的相位延迟量和快轴角。
11.进一步优选的，所述待测样品为退火状态下的基板玻璃。
12.依据上述实施例的集成化应力双折射检测装置，可以实现实时的应力双折射测量，为退火工作提供反馈。
附图说明
13.图1为集成化应力双折射检测装置原理图；
14.图2为退火状态下的待测样品应力双折射检测示意图。
具体实施方式
15.下面通过具体实施方式结合附图对本发明作进一步详细说明。
16.应力双折射：在外加力的影响下，原本各项同性的光学材料转为各项异性，产生双折射效应，并且在外力撤去之后，材料又恢复各项同性，双折射效应消失，这种效应成为应力双折射。
17.本申请提供一种集成化应力双折射检测装置，原理图如图1所示，包括激光器1、第一保偏光纤2、第一位移台3、待测样品4、第二位移台5、全光纤结构可调波片6、第二保偏光纤7、光电探测器8和控制器9。
18.激光器1、第一保偏光纤2、待测样品4、全光纤结构可调波片6、第二保偏光纤7和光电探测器8依次按序设置；激光器1输出的激光，通过第一保偏光纤2形成偏振光，通过待测样品4、全光纤结构可调波片6、第二保偏光纤7，被光电探测器8所接收。
19.控制器9用于控制激光器1发射激光，控制第一保偏光纤2和第二保偏光纤7移动至待测样品4的测试点，控制全光纤结构可调波片6的快轴角与第二保偏光纤7的光轴夹角为四个预设角度，获取相应预设角度下的光电探测器8上所对应的光强，通过四步相移法计算测试点的相位延迟量和快轴角。
20.进一步，第一保偏光纤2安装于第一位移台3上，第二保偏光纤7安装于第二位移台5上，第一保偏光纤2与第二保偏光纤7的光轴相互垂直，控制器9分别与第一位移台3和第二位移台5信号连接，控制器9控制第一位移台3和第二位移台5移动，使第一保偏光纤2和第二保偏光纤7移动至待测样品4的测试点，控制器1控制全光纤结构可调波片6的快轴角与第二保偏光纤7的光轴夹角为0
°
、45
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、90
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及135
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，并通过四步相移法计算测试点的相位延迟量和快轴角。
21.下面以待测样品4为退火状态下的基板玻璃为例，对本申请的集成化应力双折射检测装置的使用过程进行说明。
22.如图2所示，退火装置10靠近激光器1的一侧设有第一光学窗口11，退火装置10靠近光电探测器8的一侧设有第二光学窗口12，待测样品4设置于退火装置10内，利用本申请提供的集成化应力双折射检测装置对退火状态下的待测样品4的应力进行实时检测。具体检测方法如下：
23.1)控制器9控制激光器1打开，控制第一位移台3和第二位移台5移动到初始探测点，控制全光纤结构可调波片6的快轴角与第二保偏光纤7的光轴夹角为0
°
、45
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、90
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及135
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，并分别记录光电探测器8上的光强；
24.2)通过四步相移法的公式计算初始探测点的相位延迟量和快轴角；
25.3)控制器9控制第一位移台3以及第二位移台5移动，使装置移动到下一测试点，直至样品4平面所有点测试完毕。
26.以上应用了具体个例对本发明进行阐述，只是用于帮助理解本发明，并不用以限制本发明。对于本发明所属技术领域的技术人员，依据本发明的思想，还可以做出若干简单
推演、变形或替换。
技术特征：
1.一种集成化应力双折射检测装置，其特征在于，包括：激光器、第一保偏光纤、待测样品、全光纤结构可调波片、第二保偏光纤、光电探测器、控制器；所述激光器、第一保偏光纤、待测样品、全光纤结构可调波片、第二保偏光纤、光电探测器依次按序设置；所述控制器用于控制所述激光器发射激光，控制所述第一保偏光纤和第二保偏光纤移动至待测样品的测试点，控制全光纤结构可调波片的快轴角与第二保偏光纤的光轴夹角为四个预设角度，获取相应预设角度下的光电探测器上所对应的光强，通过四步相移法计算测试点的相位延迟量和快轴角。2.如权利要求1所述的集成化应力双折射检测装置，其特征在于，所述第一保偏光纤与第二保偏光纤的光轴相互垂直。3.如权利要求1所述的集成化应力双折射检测装置，其特征在于，还包括第一位移台和第二位移台，所述第一保偏光纤安装于所述第一位移台，所述第二保偏光纤安装于所述第二位移台；所述控制器分别与所述第一位移台和第二位移台信号连接。4.如权利要求3所述的集成化应力双折射检测装置，其特征在于，所述控制器控制所述第一位移台和第二位移台移动，使第一保偏光纤和第二保偏光纤移动至待测样品的测试点，所述控制器控制全光纤结构可调波片的快轴角与第二保偏光纤的光轴夹角为0
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、45
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、90
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及135
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，并通过四步相移法计算测试点的相位延迟量和快轴角。5.如权利要求1-4任一项所述的集成化应力双折射检测装置，其特征在于，所述待测样品为退火状态下的基板玻璃。
技术总结
一种集成化应力双折射检测装置，包括：激光器、第一保偏光纤、待测样品、全光纤结构可调波片、第二保偏光纤、光电探测器、控制器；激光器、第一保偏光纤、待测样品、全光纤结构可调波片、第二保偏光纤、光电探测器依次按序设置；控制器用于控制激光器发射激光，控制第一保偏光纤和第二保偏光纤移动至待测样品的测试点，控制全光纤结构可调波片的快轴角与第二保偏光纤的光轴夹角为四个预设角度，获取相应预设角度下的光电探测器上所对应的光强，通过四步相移法计算测试点的相位延迟量和快轴角。本申请提供的集成化应力双折射检测装置，可以实现实时的应力双折射测量，为退火工作提供反馈。为退火工作提供反馈。为退火工作提供反馈。
技术研发人员：朱玲琳 曾爱军 黄惠杰
受保护的技术使用者：上海镭望光学科技有限公司
技术研发日：2022.09.30
技术公布日：2023/1/13
再多了解一些
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