技术特征：
1.一种合成石英玻璃基板用的抛光剂，其是至少含有抛光颗粒及水的合成石英玻璃基板用的抛光剂，其特征在于，所述抛光颗粒含有铈与钇的复合氧化物颗粒及铈与钇的复合无定形颗粒，所述铈与钇的复合氧化物颗粒的平均一次粒径为30nm以上且80nm以下，并且所述铈与钇的复合无定形颗粒的平均一次粒径为100nm以上且300nm以下。2.根据权利要求1所述的合成石英玻璃基板用的抛光剂，其特征在于，所述抛光剂中的所述铈与钇的复合氧化物颗粒和所述铈与钇的复合无定形颗粒的混合比例为1.5以上且3.0以下，其中，所述混合比例为铈与钇的复合氧化物颗粒的质量/铈与钇的复合无定形颗粒的质量，所述混合比例为质量比。3.一种合成石英玻璃基板用的抛光剂的制备方法，其是权利要求1或权利要求2所述的合成石英玻璃基板用的抛光剂的制备方法，其特征在于，所述制备方法含有：至少使用含有铈的盐及含有钇的盐、与相对于所述含有铈的盐及含有钇的盐过量的碱性化合物，通过湿式沉淀法，得到所述铈与钇的复合无定形颗粒，从而制备平均一次粒径为100nm以上且300nm以下的所述铈与钇的复合无定形颗粒的工序；通过对平均一次粒径小于100nm的所述铈与钇的复合无定形颗粒进行氧化处理，得到所述铈与钇的复合氧化物颗粒，从而制备平均一次粒径为30nm以上且80nm以下的所述铈与钇的复合氧化物颗粒的工序；及至少将所述平均一次粒径为100nm以上且300nm以下的所述铈与钇的复合无定形颗粒、所述平均一次粒径为30nm以上且80nm以下的所述铈与钇的复合氧化物颗粒、及水进行混合，从而制备合成石英玻璃基板用的抛光剂的工序。4.根据权利要求3所述的合成石英玻璃基板用的抛光剂的制备方法，其特征在于，使用铈的硝酸盐及钇的硝酸盐作为所述含有铈的盐及含有钇的盐，使用尿素或含有尿素的化合物作为所述碱性化合物。5.一种合成石英玻璃基板的抛光方法，其是具有粗抛光工序与进行了该粗抛光工序后的最终抛光工序的合成石英玻璃基板的抛光方法，其特征在于，在所述最终抛光工序中，使用权利要求1或权利要求2所述的合成石英玻璃基板用的抛光剂进行最终抛光。
技术总结
本发明为一种合成石英玻璃基板用的抛光剂，其是至少含有抛光颗粒及水的合成石英玻璃基板用的抛光剂，所述抛光颗粒含有铈与钇的复合氧化物颗粒及铈与钇的复合无定形颗粒，所述铈与钇的复合氧化物颗粒的平均一次粒径为30nm以上且80nm以下，并且所述铈与钇的复合无定形颗粒的平均一次粒径为100nm以上且300nm以下。由此，可提供一种具有高抛光速度、同时能够充分减少因抛光导致的缺陷的产生的合成石英玻璃基板用的抛光剂。英玻璃基板用的抛光剂。英玻璃基板用的抛光剂。
技术研发人员：高桥光人
受保护的技术使用者：信越化学工业株式会社
技术研发日：2021.03.12
技术公布日：2023/1/13
再多了解一些
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