一种真空镀膜设备用观察窗装置的制作方法

1.本实用新型涉及大型卧式连续真空镀膜设备、真空观察系统设计、镀膜技术领域，尤其涉及一种真空镀膜设备用观察窗装置。


背景技术：

2.真空镀膜设备观察窗系统是真空镀膜设备的关键部件，各种真空镀膜工艺都必须在真空室中进行，在真空镀膜室中安装不同的功能部件，真空镀膜设备的观察窗系统主要用于观察和检测真空室内的工作状况，及时发现处理设备异常。
3.目前真空镀膜设备中的观察窗装置密封效果不好，稳定性差，特别是在工艺镀膜区的观察窗时间久了观察窗玻璃容易被镀膜溅射物覆盖，从而使得工作人员看不到真空设备里运行情况，不能及时发现问题，因此，本领域技术人员提出了一种真空镀膜设备用观察窗装置，用来解决上述所提到的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空镀膜设备用观察窗装置。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种真空镀膜设备用观察窗装置，包括真空腔体，所述真空腔体的一侧设置有连接法兰一，所述连接法兰一靠近真空侧的一侧内部设置有卡环，所述卡环的内侧设置有玻璃二，所述连接法兰一远离真空侧的内侧靠近边缘处设置有o型圈，所述玻璃二远离真空侧的一侧设置有玻璃一，且所述玻璃一靠近真空侧的一侧边缘处与o型圈相接触。
6.作为上述技术方案的进一步描述：
7.所述真空腔体远离连接法兰一的一侧设置有真空卡箍，所述真空腔体通过真空卡箍与连接法兰二相连接，所述连接法兰二的内侧中部转动连接有旋转轴，所述旋转轴远离真空腔体的一端贯穿连接法兰二并向外延伸，所述旋转轴靠近真空腔体的一端贯穿真空腔体并向内延伸，所述旋转轴靠近真空侧的一端通过螺栓固定连接有挡板，所述旋转轴靠近大气侧的一端通过螺栓固定连接有手柄。
8.作为上述技术方案的进一步描述：
9.所述连接法兰二靠近挡板的内侧一端设置有卡簧，所述连接法兰二内侧中部两端的靠近边缘处分别设置有轴承一和轴承二，所述连接法兰二内侧的中部两端分别设置有骨架油封一和骨架油封二，所述连接法兰二靠近挡板的内侧中部一侧设置有挡圈。
10.作为上述技术方案的进一步描述：
11.所述玻璃一靠近大气侧的一侧上设置有缓冲垫，所述连接法兰一靠近大气侧的一侧上设置有压板。
12.作为上述技术方案的进一步描述：
13.所述手柄远离连接法兰二的一端上转动连接有防脱球头，所述旋转轴和手柄的材
质均采用的是不锈钢材质。
14.作为上述技术方案的进一步描述：
15.所述连接法兰二的中心位置与连接法兰一的中心位置处于同一水平线上。
16.本实用新型具有如下有益效果：
17.1、本实用新型中，通过采用双层高透玻璃一和玻璃二的设计，玻璃一为固定式观察玻璃，玻璃二为可更换式的玻璃，如果在真空设备工作时玻璃二被镀膜溅射物污染，使用者可以通过拆卸卡环对被镀膜溅射物污染的玻璃二进行更换，更换起来比较方便，便于使用者通过观察窗对内部真空设备运行的情况进行查看。
18.2、本实用新型中，通过可旋转移动的挡板，在真空镀膜方便观察时通过转动手柄带动旋转轴以及挡板进行转动，将挡板进行打开，方便工作人员对工艺镀膜区内部真空设备运行情况进行查看，在挡板不使用的时候，可以通过转动挡板将玻璃二进行遮挡，防止溅射物污染玻璃，对观察窗进行防护。
19.3、本实用新型中，通过骨架油封一和骨架油封二双道骨架油封对旋转轴进行密封，密封效果好的同时密封效果稳定，并且使用寿命长。
20.4、本实用新型中，通过采用真空卡箍对旋转轴与真空腔体进行连接密封，密封效果好，并且便于拆卸更换。
附图说明
21.图1为本实用新型提出的一种真空镀膜设备用观察窗装置的整体装置水平方向结构剖视示意图；
22.图2为本实用新型提出的一种真空镀膜设备用观察窗装置的挡板结构立体示意图；
23.图3为本实用新型提出的一种真空镀膜设备用观察窗装置的挡板结构正视示意图；
24.图4为本实用新型提出的一种真空镀膜设备用观察窗装置的挡板结构水平方向剖视示意图；
25.图5为本实用新型提出的一种真空镀膜设备用观察窗装置的连接法兰二水平方向剖视示意图。
26.图例说明：
27.1、真空腔体；2、挡板；3、卡环；4、o型圈；5、压板；6、缓冲垫；7、玻璃一；8、玻璃二；9、连接法兰一；10、旋转轴；11、真空卡箍；12、轴承一；13、连接法兰二；14、骨架油封一；15、挡圈；16、骨架油封二；17、轴承二；18、卡簧；19、手柄。
具体实施方式
28.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖
直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
30.参照图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种真空镀膜设备用观察窗装置，包括真空腔体1，真空腔体1的一侧设置有连接法兰一9，连接法兰一9靠近真空侧的一侧内部设置有卡环3，卡环3的内侧设置有玻璃二8，连接法兰一9远离真空侧的内侧靠近边缘处设置有o型圈4，玻璃二8远离真空侧的一侧设置有玻璃一7，且玻璃一7靠近真空侧的一侧边缘处与o型圈4相接触。
31.整体观察窗装置采用双层高透玻璃一7和玻璃二8的设计，玻璃一7为固定式观察玻璃，玻璃二8为可更换式的玻璃，如果在真空设备工作时玻璃二8被镀膜溅射物污染，使用者可以通过拆卸卡环3对被镀膜溅射物污染的玻璃二8进行更换，更换起来比较方便，便于使用者通过观察窗对内部真空设备运行的情况进行查看，方便工作人员能及时对工艺镀膜区内真空设备运行情况进行确认，保证正常真空镀膜作业的正常进行。
32.真空腔体1远离连接法兰一9的一侧设置有真空卡箍11，真空腔体1通过真空卡箍11与连接法兰二13相连接，连接法兰二13的内侧中部转动连接有旋转轴10，旋转轴10远离真空腔体1的一端贯穿连接法兰二13并向外延伸，旋转轴10靠近真空腔体1的一端贯穿真空腔体1并向内延伸，旋转轴10靠近真空侧的一端通过螺栓固定连接有挡板2，旋转轴10靠近大气侧的一端通过螺栓固定连接有手柄19。
33.在真空镀膜需要进行观察时通过转动手柄19带动旋转轴10以及挡板2进行转动，将挡板2进行打开，方便工作人员对工艺镀膜区内部真空设备运行情况进行查看，在挡板2不使用的时候，可以通过转动挡板2将玻璃二8进行遮挡，防止溅射物污染玻璃，方便工作人员通过观察窗对内部镀膜情况进行查看。
34.连接法兰二13靠近挡板2的内侧一端设置有卡簧18，连接法兰二13内侧中部两端的靠近边缘处分别设置有轴承一12和轴承二17，连接法兰二13内侧的中部两端分别设置有骨架油封一14和骨架油封二16，连接法兰二13靠近挡板2的内侧中部一侧设置有挡圈15。
35.旋转轴10上采用骨架油封一14和骨架油封二16双道骨架油封对旋转轴10进行密封，密封效果好的同时密封效果稳定，并且使用寿命长，不易发生损坏，并且同步通过轴承一12和轴承二17辅助旋转轴10进行转动，降低旋转轴10转动时的摩擦。
36.玻璃一7靠近大气侧的一侧上设置有缓冲垫6，连接法兰一9靠近大气侧的一侧上设置有压板5，玻璃一7在使用的时候为固定式的玻璃窗，通过压板5将玻璃一7进行固定，并且通过在玻璃一7和压板5之间设置的缓冲垫6，可以防止玻璃一7被压板5压坏。
37.手柄19远离连接法兰二13的一端上转动连接有防脱球头，通过手柄19的末端进行设置防脱球头，方便使用者对手柄19进行转动，旋转轴10和手柄19的材质均采用的是不锈钢材质，不锈钢材质的旋转轴10和手柄19在使用的过程中结构强度较高并且表面不易发生
锈蚀损坏。
38.连接法兰二13的中心位置与连接法兰一9的中心位置处于同一水平线上，连接法兰二13和连接法兰一9的中心位置处于同一水平线上可以保证挡板2在转动的时候可以充分将玻璃二8进行遮挡，防止镀膜溅射物将玻璃观察窗上的玻璃污染覆盖，保证观察窗上玻璃的正常观察效果。
39.工作原理：在进行真空镀膜需要对管材窗进行遮挡的时候，使用者可以通过转动手柄19，手柄19转动的同时通过旋转轴10带动挡板2进行转动，通过挡板2将连接法兰一9上的玻璃二8进行遮挡，并且旋转轴10在进行旋转的同时通过连接法兰二13内的轴承一12和轴承二17进行辅助旋转，同时在旋转轴10转动的同时通过连接法兰二13内的骨架油封一14和骨架油封二16保证旋转轴10转动时的密封，防止真空设备在工作时进入大气，在不需要对玻璃二8进行遮挡的时候，使用者即可通过转动手柄19，手柄19转动的同时通过旋转轴10带动挡板2进行复位，在真空设备工作一段时间之后，玻璃二8被镀膜溅射物污染后，使用者可以通过拆卸卡环3对玻璃二8进行更换，以此保证后续真空镀膜的正常进行。
40.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。