一种钽靶材喷砂装置的制作方法

技术特征：
1.一种钽靶材喷砂装置，包括喷砂箱（1），其特征在于：所述喷砂箱（1）内设置有上挡板（10）和下挡板（30）；所述下挡板（30）用于放置圆柱形的钽靶材（11），且其直径大于等于钽靶材（11）的背板的直径；所述下挡板（30）的下方设有转动支撑组件；所述转动支撑组件包括下固定板（2），以及贯穿下固定板（2）的转动轴（3）；所述下固定板（2）通过至少一个下支撑杆固定在喷砂箱（1）的内壁上；所述转动轴（3）与所述下固定板（2）之间转动连接，且所述转动轴（3）的下端与驱动机构连接，该驱动机构带动转动轴（3）旋转；所述转动轴（3）的上端设置有截面为矩形的插块一（9），所述下挡板（30）下表面的中心部位设置有与所述插块一（9）配合的凹槽一，所述下挡块通过该凹槽一插接在所述插块一（9）上；所述上挡板（10）放置在钽靶材（11）上方且与钽靶材（11）的溅射区大小一致，所述上挡板（10）的上表面设置有凹槽二，凹槽二中插接有与其配合的插块二（18），所述插块二（18）的截面为矩形，且其上连接有固定轴（16），该固定轴（16）的上端转动连接有可调节高度的压紧组件；所述喷砂箱（1）的顶部设置有用于向钽靶材（11）和背板的上表面喷砂的喷砂组件一；所述喷砂箱（1）的侧壁处设置有用于向钽靶材（11）和背板的侧圆周面喷砂的喷砂组件二。2.如权利要求1所述的一种钽靶材喷砂装置，其特征在于：所述压紧组件包括竖直设置的至少一根螺纹杆（12），从上往下套装在螺纹杆（12）上的锁紧块（14）和调节块（13），以及上固定板（17）；所述螺纹杆（12）的上端固定在所述喷砂箱（1）的顶板上，且下端固定在所述喷砂箱（1）的底板上或所述下支撑杆上；所述调节块（13）与所述螺纹杆（12）之间间隙配合；所述固定轴（16）与所述上固定板（17）之间转动连接，且所述调节块（13）通过水平设置的上支撑杆（15）与所述上固定板（17）之间连接；所述锁紧块（14）与所述螺纹杆（12）之间螺纹连接。3.如权利要求1所述的一种钽靶材喷砂装置，其特征在于：所述驱动机构包括设置在所述喷砂箱（1）内的驱动盒（4），设置在驱动盒（4）内的相互啮合的主动锥齿轮（7）和从动锥齿轮（6），以及设置在喷砂箱（1）外的电机（8）；所述转动轴（3）的下端延伸至所述驱动盒（4）内，并与所述驱动盒（4）之间转动连接；所述从动锥齿轮（6）同轴设置在所述转动轴（3）的端部；所述主动锥齿轮（7）的中心轴依次贯穿所述驱动盒（4）和喷砂箱（1），并与所述电机（8）的输出轴之间连接；所述主动锥齿轮（7）的中心轴分别与所述驱动盒（4）和所述喷砂箱（1）之间转动连接。4.如权利要求1所述的一种钽靶材喷砂装置，其特征在于：所述喷砂组件一包括设置在喷砂箱（1）上部的水平设置的丝杠一（20）和导向杆一（19），套装在丝杠一（20）和导向杆一（19）上的移动块一，设置在移动块一上的移动板一（21），以及设置在移动板一（21）上的至少一个喷头一（22）；所述丝杠一（20）与所述喷砂箱（1）之间转动连接，且其一端延伸至所述喷砂箱（1）外；所述移动块一与所述丝杠一（20）之间螺纹连接，且与所述导向杆一（19）之间滑动连接；所述喷头一（22）朝向钽靶材（11）和背板上表面的喷砂区设置，且所述喷头一（22）通过软管一与设置在喷砂箱（1）外的供砂装置连通。5.如权利要求4所述的一种钽靶材喷砂装置，其特征在于：所述喷砂组件二包括靠近所述喷砂箱（1）侧壁且竖直设置的丝杠二（25）和导向杆二（24），套装在丝杠二（25）和导向杆二（24）上的移动块二（26），设置在移动块二（26）上的移动板二（27），以及设置在移动板二（27）上的至少一个喷头二（28）；所述丝杠二（25）与所述喷砂箱（1）之间转动连接，且其一端
延伸至所述喷砂箱（1）外；所述移动块二（26）与所述丝杠二（25）之间螺纹连接，且与所述导向杆二（24）之间滑动连接；所述喷头二（28）朝向所述钽靶材（11）和背板的侧圆周面设置，且所述喷头二（28）通过软管二与设置在喷砂箱（1）外的供砂装置连通。6.如权利要求5所述的一种钽靶材喷砂装置，其特征在于：所述丝杠一（20）和丝杠二（25）位于所述喷砂箱（1）外的部分上均设置有手轮（23）。7.如权利要求3所述的一种钽靶材喷砂装置，其特征在于：所述驱动盒与所述下固定板（2）之间设置有顶点向上的锥形板（5），所述锥形板（5）固定在所述转动轴（3）上。8.如权利要求1所述的一种钽靶材喷砂装置，其特征在于：所述喷砂箱（1）的底部成锥状，且其锥顶处设有下料口（29）。

技术总结
本实用新型公开了一种钽靶材喷砂装置，包括喷砂箱，喷砂箱内设置有上挡板和下挡板；下挡板直径大于等于钽靶材背板的直径；下挡板的下方设有转动支撑组件；转动支撑组件包括下固定板，贯穿下固定板的转动轴；下固定板固定在喷砂箱的内壁上；转动轴与下固定板之间转动连接，且转动轴的下端与驱动机构连接；转动轴的上端设置有截面为矩形的插块一，下挡板下表面的中心部位设置有与插块一配合的凹槽一，下挡块通过该凹槽一插接在插块一上；上挡板与钽靶材的溅射区大小一致，上挡板的上表面设置有凹槽二，凹槽二中插接有插块二，插块二的截面为矩形，且其上连接有固定轴，该固定轴的上端转动连接有压紧组件；喷砂箱内设置有喷砂组件一和喷砂组件二。和喷砂组件二。和喷砂组件二。


技术研发人员：王永超 居炎鹏 李心然 赵泽良 王留土 范振清 史豪杰 郑海强 杨志刚
受保护的技术使用者：河南东微电子材料有限公司
技术研发日：2022.08.12
技术公布日：2022/12/23