一种用于精细金属掩膜板的蚀刻装置的制作方法

1.本实用新型涉及掩膜板蚀刻技术领域，尤其涉及一种用于精细金属掩膜板的蚀刻装置。


背景技术：

2.fmm(精细金属掩膜板)是oled制程中蒸镀有机发光层不可或缺的材料；fmm是一种厚度很薄的invar金属合金，上面布满了密密麻麻的孔洞。在oled蒸镀设备中，rgb材料通过这些孔洞在ltps背板指定区域形成像素发光层。
3.目前制备ffm的化学蚀刻工艺步骤为：基材清洗、光阻涂布、双面曝光、显影、后烘、第一次蚀刻、刻蚀阻挡层涂布(保护第一次蚀刻图形)、第二次蚀刻以及光阻剥离。专利文件cn212833993u就公开了一种目前工艺上常见的半蚀刻掩膜板。
4.传统工艺中要进行两次蚀刻，第一次蚀刻后要在其表面涂布刻蚀阻挡层(保护其在第二次蚀刻工艺中不被蚀刻)，然后进行第二次蚀刻；采用两步蚀刻是由于fmm两面刻蚀要求不同导致，具体来说是fmm朝向ltps背板和朝向蒸发源的两面上的孔洞开口尺寸、蚀刻深度等参数细节不同。然而两步蚀刻工艺所需时间长，且需要涂布一次刻蚀阻挡层，整体制作成本较高。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本实用新型提出了一种用于精细金属掩膜板的蚀刻装置，用于解决目前的工艺无法对掩膜板的两面同时进行蚀刻，从而造成工序复杂的问题。
6.本实用新型的技术方案是这样实现的：本实用新型提供了一种用于精细金属掩膜板的蚀刻装置，包括主体，还包括第一夹具、第二夹具及喷淋组件；第一夹具设置在主体上；第二夹具设置主体上并位于第一夹具正上方，第二夹具与第一夹具之间设置膜板，并使膜板的板面沿铅垂线方向设置；两个喷淋组件对称设置主体上，两个喷淋组件分别对准膜板的两个板面并分别朝两个板面上喷淋蚀刻液。
7.在以上技术方案的基础上，优选的，主体为中空盒体或中空壳体，主体内能够储存蚀刻液，主体内设置第一夹具及第二夹具，膜板设置在蚀刻液的液面之上。
8.更进一步优选的，喷淋组件包括固定座及喷头；两个固定座对称设置在主体内并分别面对膜板的两个板面；若干喷头均匀布设在固定座上，同一固定座上的若干喷头能够同时对膜板的其中一个板面喷淋蚀刻液。
9.更进一步优选的，喷淋组件还包括导管及泵体；导管一端与主体相连通并位于液面以下，导管另一端贯穿主体并延伸至液面以上，导管位于液面以上的一端同时与同一固定座上的若干喷头相连通；泵体设置在导管上并靠近导管连通主体的一端，泵体用于将主体内的蚀刻液通过导管泵送至各喷头。
10.更进一步优选的，还包括回流管及单向阀；回流管一端连通在导管的中部，回流管的另一端贯穿主体并插入主体内，回流管用于使导管内的蚀刻液回流至主体内；单向阀设
置在回流管上，单向阀用于控制回流管的通断。
11.更进一步优选的，回流管插入主体内的一端位于液面以上。
12.更进一步优选的，喷淋组件还包括压力表及调节阀，压力表设置在导管上并靠近导管与喷头的连通端，压力表用于检测导管内输送至喷头的蚀刻液的压力；调节阀设置在导管上并位于泵体远离主体的一侧，调节阀用于调整导管内流通蚀刻液的单位流量。
13.在以上技术方案的基础上，优选的，还包括光阻部件，若干光阻部件对称贴覆在膜板的两个板面上，位于同一板面的若干光阻部件之间留有间隔，光阻用于遮挡住部分板面并使该部分板面不与蚀刻液接触。
14.本实用新型的一种用于精细金属掩膜板的蚀刻装置相对于现有技术具有以下有益效果：
15.本实用新型通过上下夹具将膜板竖立并使膜板的两个板面分别面向喷淋组件，从而能够同时对膜板的两个板面喷淋蚀刻液实现同时蚀刻作业，从而大幅缩短了工序流程并使膜板两个板面的蚀刻效果能够更具一致性。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本实用新型的蚀刻装置的正剖示意图。
18.图中：1、主体；2、第一夹具；3、第二夹具；4、喷淋组件；41、固定座；42、喷头；43、导管；44、泵体；45、回流管；46、单向阀；47、压力表；48、调节阀；5、光阻。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施方式，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
20.实施例一：
21.如图1所示，本实用新型的一种用于精细金属掩膜板的蚀刻装置，包括主体1、第一夹具2、第二夹具3、喷淋组件4及光阻5。
22.其中，本案中的膜板是还未受到蚀刻的invar金属合金薄板。
23.第一夹具2设置在主体1上，第二夹具3设置主体1上并位于第一夹具2正上方，第一夹具2及第二夹具3形成上下两个夹具将膜板夹持固定在二者之间，为了限制膜板不会脱离夹具，第一夹具2及第二夹具3夹住膜板的端面上可以对称设置较浅的凹槽，不仅能够限制膜板移动，而且也不会阻碍膜板的板面完整的受到蚀刻。第二夹具3与第一夹具2之间设置膜板，并使膜板的板面沿铅垂线方向设置，从而同时暴露出膜板的两个板面；需要说明的是，尽管膜板也可以倾斜放置，但为了保证两个板面受到蚀刻的一致性，膜板优选竖直放置。
24.两个喷淋组件4对称设置主体1上，两个喷淋组件4分别对准膜板的两个板面并分别朝两个板面上喷淋蚀刻液。
25.若干光阻5对称贴覆在膜板的两个板面上，位于同一板面的若干光阻5之间留有间隔，光阻5用于遮挡住部分板面并使该部分板面不与蚀刻液接触。
26.实施例二：
27.在实施例一的理论基础上，其具体的实现为，主体1为中空盒体或中空壳体，从而使主体1内能够储存蚀刻液，主体1内设置第一夹具2及第二夹具3，膜板设置在蚀刻液的液面之上，避免膜板直接与主体1内的蚀刻液接触。
28.实施例三：
29.在实施例二的基础上，具体来说，喷淋组件4包括固定座41、喷头42、导管43及泵体44。
30.其中，两个固定座41对称设置在主体1内并分别面对膜板的两个板面，固定座41用于定位安装各喷头42。
31.若干喷头42纵横排列呈矩阵均匀布设在固定座41上，同一固定座41上的若干喷头42能够同时对膜板的其中一个板面喷淋蚀刻液，通常来说，同一行的喷头42能够针对于相邻的两个光阻5之间的板面进行喷淋。
32.导管43一端与主体1相连通并位于液面以下，导管43另一端贯穿主体1并延伸至液面以上，导管43位于液面以上的一端同时与同一固定座41上的若干喷头42相连通。
33.泵体44设置在导管43上并靠近导管43连通主体1的一端，泵体44用于将主体1内的蚀刻液通过导管43泵送至各喷头42。
34.实施例四：
35.在实施例三的基础上，由于蚀刻过程并非一直对膜板的板面进行喷淋，而是喷淋一段时间后停止喷淋，是蚀刻液能够充分的与板面反应，因此喷淋组件4还包括回流管45及单向阀46。
36.其中，回流管45一端连通在导管43的中部，回流管45的另一端贯穿主体1并插入主体1内，回流管45用于使导管43内的蚀刻液回流至主体1内。通常来说，回流管45插入主体1内的一端位于液面以上，而并非插入液面内，以便蚀刻液能够顺利回流。
37.单向阀46设置在回流管45上，单向阀46用于控制回流管45的通断。
38.实施例五：
39.在实施例四的基础上，还需要对喷头42喷出的压力进行控制，以避免蚀刻液冲破膜板，因此喷淋组件4还包括压力表47及调节阀48。
40.其中，压力表47设置在导管43上并靠近导管43与喷头42的连通端，压力表47用于检测导管43内输送至喷头42的蚀刻液的压力。
41.调节阀48设置在导管43上并位于泵体44远离主体1的一侧，调节阀48用于调整导管43内流通蚀刻液的单位流量，通过调整蚀刻液的单位流量来控制喷出液体的压力。
42.实施例六：
43.在不存在技术冲突的情况下，还包括实施例一至五的任意组合。
44.以上所述仅为本实用新型的较佳实施方式而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新
型的保护范围之内。