用于六氟化硫降解的热等离子体处理方法与流程

技术特征：
1.一种用于六氟化硫降解的热等离子体处理方法，其特征在于，其包括以下步骤，ar作为载气输入热等离子体发生器中的反应腔，所述反应腔通过旋流器接收载气ar，环形电极电连接直流电源以在ar载气下生成电弧等离子体区域；待反应的预定比例的sf6与反应气输入所述电弧等离子体区域中产生氢/氧自由基与氟自由基并互相结合生成最终产物，其中，最终产物主要为酸性气体，可以被碱液吸收并无害化处理。2.根据权利要求1所述的用于六氟化硫降解的热等离子体处理方法，其中，优选的，硫粉滤除装置连通所述电弧等离子体区域以滤除电弧等离子体区域反应后混合气体中的硫粉，碱液喷淋塔连通所述硫粉滤除装置并以碱液喷淋来自硫粉滤除装置的酸性尾气。3.根据权利要求1所述的用于六氟化硫降解的热等离子体处理方法，其中，所述h2与sf6的预定比例为下限比例3∶1至上限比例，其中，上限比例受有害副产物h2s限制。4.根据权利要求1所述的用于六氟化硫降解的热等离子体处理方法，其中，ar∶h2∶sf6的预定比例为30∶40∶10l/min。5.根据权利要求1所述的用于六氟化硫降解的热等离子体处理方法，其中，ar、h2、sf6分别经由旋流器导入热等离子体发生器中。6.根据权利要求1所述的用于六氟化硫降解的热等离子体处理方法，其中，热等离子体发生器包括可循环的水冷夹层，其连通水冷系统以驱动水冷夹层中的循环水源。7.根据权利要求1所述的用于六氟化硫降解的热等离子体处理方法，其中，所述热等离子体发生器包括三个环状电极，其分别为阴极、引弧阳极和燃弧阳极，放电时先在阴极与引弧阳极之间施加高压交流电压来引弧，燃弧成功后再在阴极与燃弧阳极之间施加稳定的直流电流来维持热等离子体发生器放电。8.根据权利要求7所述的用于六氟化硫降解的热等离子体处理方法，其中，直流电源的负极连接阴极，所述直流电源的正极连接引弧阳极与燃弧阳极，所述直流电源产生过电压用于引弧，燃弧后再提供恒定电流，直流电源输出功率可调。9.根据权利要求8所述的用于六氟化硫降解的热等离子体处理方法，其中，直流电源的工作电压为150v，工作电流为100a。10.根据权利要求2所述的用于六氟化硫降解的热等离子体处理方法，其中，所述碱液喷淋塔使用5％的ca(oh)2碱液。

技术总结
本发明公开了一种用于六氟化硫降解的热等离子体处理方法，用于六氟化硫降解的热等离子体处理方法中，Ar作为载气输入热等离子体发生器中，环形电极电连接直流电源以在Ar载气下生成电弧等离子体区域；待反应的预定比例的SF6与H2输入所述电弧等离子体区域中产生氢自由基与氟自由基并互相结合生成HF以抑制SF6的自恢复反应，最终产物为HF与S单质。最终产物为HF与S单质。最终产物为HF与S单质。


技术研发人员：孙昊 荣命哲 唐猷成 印天鹏 吴翊 郭运顺 龙虎
受保护的技术使用者：四川义结科技有限责任公司
技术研发日：2022.09.20
技术公布日：2022/12/16