电极遮挡结构的制作方法

1.本实用新型涉及电镀技术领域，具体而言，涉及一种电极遮挡结构。


背景技术：

2.对于镀件的镀层均匀性，主要是依靠镀液均匀搅拌和电场线分布控制，所以控制好镀液流态分布、电极或者电极遮挡就可以改善镀层分布的均匀性。而对于不同尺寸的晶圆，电极边缘电场线的控制和遮挡是不同的，晶圆尺寸变化需要更换遮挡使之与晶圆尺寸匹配，而更换部件的效率较低，同时新的设计也能提高边缘均匀性。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种电极遮挡结构，其能够调整电极的遮挡面积，进而能够在晶圆的尺寸发生变化时，使得遮挡面积与晶圆的尺寸相匹配，进而能够避免在晶圆的尺寸发生变化时，更换遮挡部件，从而能够提高工作效率；同时新的设计也能提高边缘均匀性。
4.本实用新型的实施例是这样实现的：
5.本实用新型提供一种电极遮挡结构，电极遮挡结构包括底板、活动板以及多个挡板；
6.底板设置有第一通孔；活动板及多个挡板均与底板连接，且多个挡板均与活动板传动连接；
7.其中，活动板用于在外力的作用下带动所有的挡板相对于底板运动，以使得多个挡板遮蔽第一通孔。
8.在可选的实施方式中，活动板与底板可转动地连接，且底板上开设有第二通孔，第一通孔与第二通孔的轴线重合，且活动板相对于底板的转动轴线与第一通孔的轴线重合。
9.在可选的实施方式中，第一通孔的直径小于或等于第二通孔的直径。
10.在可选的实施方式中，沿第一通孔的轴线方向，活动板与底板重合的区域为第一分区，第一通孔与第二通孔导通的区域为第二分区；
11.多个挡板可活动地设置于第一分区，并且多个挡板均用于在活动板的驱动作用下由第一分区朝向第二分区运动。
12.在可选的实施方式中，多个挡板均与底板可转动地连接。
13.在可选的实施方式中，活动板上开设有多个条形槽，每个挡板上均设置有配合部；
14.多个条形槽与多个配合部一一对应，且每个配合部均可滑动地与对应的条形槽配合；
15.当所有的配合部均与对应的条形槽的一端配合时，所有的挡板的至少部分位于第一分区内，且位于第二分区外；
16.当所有的配合部均与对应的条形槽的另一端配合时，多个挡板的部分均位于第二分区内，且多个挡板位于第二分区内的部分共同围合成遮挡第一通孔的环形遮挡。
17.在可选的实施方式中，多个挡板绕第一通孔的轴线依次设置，多个条形槽绕第一通孔的轴线依次设置。
18.在可选的实施方式中，每个挡板均包括主体以及遮挡部，主体与遮挡部连接，主体与底板可转动地连接；
19.遮挡部用于遮挡第一通孔，并且遮挡部用于与相邻的挡板的遮挡部共同围合成环形遮挡。
20.在可选的实施方式中，绕第一通孔的轴线，遮挡部靠近第二分区的一侧设置有连续的第一边缘、第二边缘及第三边缘；
21.第一边缘用于与相邻的挡板的第三边缘贴合，第二边缘用于与相邻的挡板的第二边缘共同围合成连续的环形。
22.在可选的实施方式中，第一边缘、第二边缘及第三边缘均为弧形。
23.本实用新型实施例的有益效果包括：
24.该电极遮挡结构包括底板、活动板以及多个挡板；底板设置有第一通孔；活动板及多个挡板均与底板连接，且多个挡板均与活动板传动连接；其中，活动板用于在外力的作用下带动所有的挡板相对于底板运动，以使得多个挡板遮蔽第一通孔。电极遮挡结构其能够调整电极的遮挡面积，进而能够在晶圆的尺寸发生变化时，使得遮挡面积与晶圆的尺寸相匹配，进而能够避免在晶圆的尺寸发生变化时，更换遮挡部件，从而能够提高工作效率,同时针对同一个尺寸的晶圆也能调节边缘遮挡的面积，以获得均匀的镀层。
附图说明
25.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
26.图1为本实用新型实施例中电极遮挡结构的结构示意图；
27.图2为本实用新型实施例中环形遮挡的结构示意图；
28.图3为本实用新型实施例中转动组件的结构示意图；
29.图4为本实用新型实施例中挡板的结构示意图。
30.图标:200-电极遮挡结构；210-底板；220-活动板；230-挡板；211-第一通孔；221-第二通孔；201-第一分区；202-第二分区；222-条形槽；231-配合部；203-环形遮挡；232-主体；233-遮挡部；234-第一边缘；235-第二边缘；236-第三边缘；240-转动组件；241-转动件。
具体实施方式
31.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
32.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的
实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
33.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
34.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
35.此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
36.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
37.请参照图1及图2，本实施例提供一种电极遮挡结构200，电极遮挡结构200包括底板210、活动板220以及多个挡板230；
38.底板210设置有第一通孔211；活动板220及多个挡板230均与底板210连接，且多个挡板230均与活动板220传动连接；
39.其中，活动板220用于在外力的作用下带动所有的挡板230相对于底板210运动，以使得多个挡板230遮蔽第一通孔211。
40.请参照图1及图2，该电极遮挡结构200的工作原理是：
41.该电极遮挡结构200包括底板210、活动板220以及多个挡板230；其中，底板210设置有第一通孔211，而活动板220及多个挡板230均与底板210连接，并且活动板220用于在外力的作用下带动所有的挡板230相对于底板210运动，以使得多个挡板230遮蔽第一通孔211，从而能够对该电极遮挡结构200的遮挡面积进行调整；
42.由此，通过电极遮挡结构200对其遮挡面积的调整，进而能够在晶圆的尺寸发生变化时，使得遮挡面积与晶圆的尺寸相匹配，进而能够避免在晶圆的尺寸发生变化时，更换遮挡部233件，从而能够提高工作效率。
43.进一步地，请参照图1-图3，在本实施例中，在设置活动板220时，采用的是活动板220与底板210可转动地连接的方式，且底板210上开设有第二通孔221，第一通孔211与第二通孔221的轴线重合，且活动板220相对于底板210的转动轴线与第一通孔211的轴线重合。
44.由此，在需要将该电极遮挡结构200的遮挡面积进行调整时，便可通过转动活动板220，便可使得所有的挡板230均相对于底板210运动，从而对挡板230遮挡第一通孔211的部分进行调整。而且，为避免第二通孔221在电镀的过程中对遮挡面积造成影响，故，第一通孔211的直径小于或等于第二通孔221的直径。
45.需要说明的是，进一步地，请参照图1-图4，为使得活动板220与底板210可转动地连接，故电极遮挡结构200还包括转动组件240，转动组件240用于将活动板220与底板210可转动地连接，其可以包括转动件241以及连接件，其中转动件241通过连接件与底板210连接，且转动件241与活动板220可转动地连接；在转动件241与活动板220连接时，可以采用将转动件241套设于活动板220的方式，且转动件241与底板210固定连接，而活动板220与转动件241可转动地连接；也可以是的转动件241与底板210可转动地连接，而活动板220与转动件241固定连接。而在本实用新型的其他实施例中，转动组件240还可以采用其他类型的转动连接结构。
46.基于上述的设置方式，进一步地，请参照图1-图4，在将活动板220与底板210可转动地连接时，可以使得活动板220与底板210间隔设置，进而在底板210与活动板220之间形成容置多个挡板230的空间，并且沿第一通孔211的轴线方向，活动板220与底板210重合的区域为第一分区201，第一通孔211与第二通孔221导通的区域为第二分区202；而多个挡板230可活动地设置于第一分区201，并且多个挡板230均用于在活动板220的驱动作用下由第一分区201朝向第二分区202运动。
47.由此，通过活动板220相对于底板210的转动，便可使得多个挡板230在活动板220的驱动作用下，相对于第一分区201运动，并使得多个挡板230朝向第二分区202运动，从而对第一通孔211进行遮蔽，在此过程中，便可通过对活动板220的转动量的调整，对第一通孔211被遮挡的面积进行调整。
48.基于上述的活动板220的设置，请参照图1-图4，在设置多个挡板230时，多个挡板230均与底板210可转动地连接。即，当活动板220相对于底板210转动时，便可带动多个挡板230同步转动。
49.具体的，为使得活动板220的转动能够带动多个挡板230运动，故，活动板220上开设有多个条形槽222，每个挡板230上均设置有配合部231；多个条形槽222与多个配合部231一一对应，且每个配合部231均可滑动地与对应的条形槽222配合；
50.由此，通过这样的设置方式，能够在活动板220转动时，通过配合部231相对于对应的条形槽222的滑动，便可带动所有的挡板230相对于转动，从而能够使得挡板230遮蔽第二分区202，或移出第二分区202。
51.需要说明的是，在设置条形槽222时，当配合部231与条形槽222的两端配合时，即为挡板230沿同一方向的最大行程，具体的，当所有的配合部231均与对应的条形槽222的一端配合时，所有的挡板230的至少部分位于第一分区201内，且位于第二分区202外；当所有的配合部231均与对应的条形槽222的另一端配合时，多个挡板230的部分均位于第二分区202内，且多个挡板230位于第二分区202内的部分共同围合成遮挡第一通孔211的环形遮挡203；由此，当配合部231在对应的条形槽222的两端之间滑动时，便可对其遮挡面积进行调整。
52.在设置上述的挡板230及条形槽222时，多个挡板230绕第一通孔211的轴线依次设置，多个条形槽222绕第一通孔211的轴线依次设置。
53.基于上述内容，请参照图1-图4，在本实施例中，在设置挡板230时，每个挡板230均包括主体232以及遮挡部233，主体232与遮挡部233连接，主体232与底板210可转动地连接；
54.其中，遮挡部233用于遮挡第一通孔211，并且遮挡部233用于与相邻的挡板230的
遮挡部233共同围合成环形遮挡203。
55.由此，当活动板220在外力的作用下相对于底板210转动时，便可通过主体232的转动带动遮挡部233相对于底板210运动，随着遮挡部233逐渐移入第二分区202或逐渐移出第二分区202，便可对遮挡面积起到调整的作用，需要说明的是，当所有的配合部231均与对应的条形槽222的其中一端配合，且多个挡板230的部分均位于第二分区202内时，且多个挡板230的遮挡部233共同围合成遮挡第一通孔211的环形遮挡203，从而能够使得晶圆边缘和与晶圆中部电场线分布均匀，最终使得镀层在整个晶圆上均匀分布。
56.为使得多个挡板230的遮挡部233能够共同围合成遮挡第一通孔211的环形遮挡203，故，绕第一通孔211的轴线，遮挡部233靠近第二分区202的一侧设置有连续的第一边缘234、第二边缘235及第三边缘236；其中，第一边缘234、第二边缘235及第三边缘236均为弧形；而且第一边缘234用于与相邻的挡板230的第三边缘236贴合，第二边缘235用于与相邻的挡板230的第二边缘235共同围合成连续的环形。
57.综上，请参照图1-图4，该电极遮挡结构200具备以下优点：
58.通过电极遮挡结构200对其遮挡面积的调整，进而能够在晶圆的尺寸发生变化时，使得遮挡面积与晶圆的尺寸相匹配，进而能够避免在晶圆的尺寸发生变化时，更换遮挡部233件，从而能够提高工作效率；同时可针对同一种晶圆调节边缘遮挡的强度，达到晶圆边缘和与晶圆中部电场线分布均匀，最终使得镀层在整个晶圆上均匀分布。
59.以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。