电极遮挡结构的制作方法

技术特征：
1.一种电极遮挡结构，其特征在于：所述电极遮挡结构包括底板、活动板以及多个挡板；所述底板设置有第一通孔；所述活动板及多个所述挡板均与所述底板连接，且多个所述挡板均与所述活动板传动连接；其中，所述活动板用于在外力的作用下带动所有的所述挡板相对于所述底板运动，以使得多个所述挡板遮蔽所述第一通孔。2.根据权利要求1所述的电极遮挡结构，其特征在于：所述活动板与所述底板可转动地连接，且所述底板上开设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔的轴线重合，且所述活动板相对于所述底板的转动轴线与所述第一通孔的轴线重合。3.根据权利要求2所述的电极遮挡结构，其特征在于：所述第一通孔的直径小于或等于所述第二通孔的直径。4.根据权利要求2所述的电极遮挡结构，其特征在于：沿所述第一通孔的轴线方向，所述活动板与所述底板重合的区域为第一分区，所述第一通孔与所述第二通孔导通的区域为第二分区；多个所述挡板可活动地设置于所述第一分区，并且多个所述挡板均用于在所述活动板的驱动作用下由所述第一分区朝向所述第二分区运动。5.根据权利要求4所述的电极遮挡结构，其特征在于：多个所述挡板均与所述底板可转动地连接。6.根据权利要求5所述的电极遮挡结构，其特征在于：所述活动板上开设有多个条形槽，每个所述挡板上均设置有配合部；多个所述条形槽与多个所述配合部一一对应，且每个所述配合部均可滑动地与对应的所述条形槽配合；当所有的所述配合部均与对应的所述条形槽的一端配合时，所有的所述挡板的至少部分位于所述第一分区内，且位于所述第二分区外；当所有的所述配合部均与对应的所述条形槽的另一端配合时，多个所述挡板的部分均位于所述第二分区内，且多个所述挡板位于所述第二分区内的部分共同围合成遮挡所述第一通孔的环形遮挡。7.根据权利要求6所述的电极遮挡结构，其特征在于：多个所述挡板绕所述第一通孔的轴线依次设置，多个所述条形槽绕所述第一通孔的轴线依次设置。8.根据权利要求6所述的电极遮挡结构，其特征在于：每个所述挡板均包括主体以及遮挡部，所述主体与所述遮挡部连接，所述主体与所述底板可转动地连接；所述遮挡部用于遮挡所述第一通孔，并且所述遮挡部用于与相邻的所述挡板的遮挡部共同围合成所述环形遮挡。9.根据权利要求8所述的电极遮挡结构，其特征在于：绕所述第一通孔的轴线，所述遮挡部靠近所述第二分区的一侧设置有连续的第一边缘、第二边缘及第三边缘；
所述第一边缘用于与相邻的所述挡板的第三边缘贴合，所述第二边缘用于与相邻的所述挡板的第二边缘共同围合成连续的环形。10.根据权利要求9所述的电极遮挡结构，其特征在于：所述第一边缘、所述第二边缘及所述第三边缘均为弧形。

技术总结
本实用新型涉及电镀技术领域，具体而言，涉及一种电极遮挡结构。电极遮挡结构包括底板、活动板以及多个挡板；底板设置有第一通孔；活动板及多个挡板均与底板连接，且多个挡板均与活动板传动连接；其中，活动板用于在外力的作用下带动所有的挡板相对于底板运动，以使得多个挡板遮蔽第一通孔。电极遮挡结构其能够调整电极的遮挡面积，进而能够在晶圆的尺寸发生变化时，使得遮挡面积与晶圆的尺寸相匹配，进而能够避免在晶圆的尺寸发生变化时，更换遮挡部件，从而能够提高工作效率；同时也能对统一尺寸晶圆进行边缘遮挡动态调整，以获得均匀镀层。层。层。


技术研发人员：张二航 陈爱民
受保护的技术使用者：东莞市晟悦半导体设备有限公司
技术研发日：2022.09.28
技术公布日：2022/12/13