一种垂直大位移MEMS微镜

技术特征：
1.一种垂直大位移mems微镜，包括微镜壳(1)，其特征在于，所述微镜壳(1)的内部为中空设置，所述微镜壳(1)的侧壁内开设有一个移动槽(2)，所述移动槽(2)呈环形设置，所述移动槽(2)的左右两侧均滑动连接有一根调节齿杆(3)，两根所述调节齿杆(3)的侧壁上固定连接有一块滑块一(8)，所述移动槽(2)的侧壁上也开设有与两块滑块一(8)相对应的滑槽一(7)，两根所述调节齿杆(3)的一端均固定连接有一块限位块(6)，两根所述调节齿杆(3)的另一端贯穿移动槽(2)的侧壁设置，且两根调节齿杆(3)相对的一侧侧壁之间固定连接有一个固定环(26)，所述固定环(26)的内部固定连接有微镜镜头(4)，所述微镜壳(1)的内部还设置有mems控制系统(13)。2.根据权利要求1所述的一种垂直大位移mems微镜，其特征在于，所述移动槽(2)一侧侧壁上还固定连接有两个微电机(30)，两个所述微电机(30)的输出端均固定连接有一根固定轴一(9)，两根所述固定轴一(9)上均固定套设有一个齿轮一(10)，两个所述齿轮一(10)的位置与两根调节齿杆(3)相对应，且两个齿轮一(10)与对应的调节齿杆(3)啮合设置，两个所述微电机(30)均与mems控制系统(13)通过导线相连接。3.根据权利要求1所述的一种垂直大位移mems微镜，其特征在于，所述固定环(26)上设置有两根对称设置的旋转杆(14)，且两根旋转杆(14)的位置与两根调节齿杆(3)的位置分别对应，两根所述旋转杆(14)均与固定环(26)转动连接，且两根旋转杆(14)贯穿固定环(26)设置，两根所述旋转杆(14)位于微镜镜头(4)外侧的一端均固定连接有一根刷杆(11)，每根所述刷杆(11)的长度均与微镜镜头(4)的半径相等，两根所述刷杆(11)均采用软橡胶制成。4.根据权利要求3所述的一种垂直大位移mems微镜，其特征在于，两根所述旋转杆(14)的另一端均固定连接有一个锥形齿轮一(15)，两根所述调节齿杆(3)相对一侧的侧壁上均转动连接有一根连接杆一(16)，每根所述连接杆一(16)的另一端均固定连接有一个锥形齿轮二(17)，两个所述锥形齿轮二(17)分别于两个锥形齿轮一(15)啮合设置，每个所述连接杆一(16)的另一端均固定连接有一根连接杆二(18)，所述连接杆二(18)的另一端固定连接有一个转动轮一(19)，两个所述滑槽一(7)靠近微镜镜头(4)的一侧侧壁上均开设有一个连接腔，两个所述连接腔的侧壁上均转动连接有一根连接轴(22)，两根所述连接轴(22)上均固定套设有一个转动轮二(20)，两个所述转动轮二(20)的位置分别于两个转动轮一(19)相对应，每个所述转动轮二(20)于对应的转动轮一(19)之间通过连接带(21)相连接。5.根据权利要求4所述的一种垂直大位移mems微镜，其特征在于，两根所述连接轴(22)上还固定套设有一个齿轮二(23)，两个所述连接腔的后侧壁上滑动连接有一根齿条(24)，两根所述齿条(24)的侧壁上固定连接有一块滑块二(28)，每个所述连接腔的后侧壁上也开设有与滑块二(28)相对应的滑槽二(27)，两块所述滑槽二(27)的一端还固定连接有一个弹簧(29)，两根所述弹簧(29)的另一端分别固定连接在对应的滑槽二(27)的侧壁上，所述齿条(24)的另一端贯穿连接腔伸入到滑槽一(7)内设置，且每个齿条(24)的另一端均固定连接有一块碰撞块(25)，两根所述齿条(24)分别与对应的齿轮二(23)啮合设置。6.根据权利要求1所述的一种垂直大位移mems微镜，其特征在于，所述微镜壳(1)靠近微镜镜头(4)的一侧设置有一个螺纹盖板(12)，所述微镜壳(1)的外侧壁上还刻有螺纹槽，所述螺纹槽与螺纹盖板(12)相对应。7.根据权利要求1所述的一种垂直大位移mems微镜，其特征在于，两根所述调节齿杆
(3)之间还固定连接有一个保护层(5)，所述保护层(5)位于微镜镜头(4)的外侧设置，且微镜镜头(4)与保护层(5)不接触，所述保护层(5)采用透明且坚韧的材料制成。

技术总结
本发明公开了一种垂直大位移MEMS微镜，包括微镜壳，所述微镜壳的侧壁内开设有一个移动槽，所述移动槽呈环形设置，所述移动槽的左右两侧均滑动连接有一根调节齿杆，两根所述调节齿杆的侧壁上固定连接有一块滑块一，所述移动槽的侧壁上也开设有与两块滑块一相对应的滑槽一，两根所述调节齿杆的一端均固定连接有一块限位块，两根所述调节齿杆的另一端贯穿移动槽的侧壁设置，且两根调节齿杆相对的一侧侧壁之间固定连接有一个固定环，所述固定环的内部固定连接有微镜镜头，所述微镜壳的内部还设置有MEMS控制系统。本发明结构简单，操作方便，有效的提高了MEMS微镜的工作效率，能在微镜镜头沾上灰尘时对其进行自净，有利于装置的正常使用。用。用。


技术研发人员：秦毅 郭芳 王福杰 任斌 姜鸣 胡耀华 姚智伟
受保护的技术使用者：东莞理工学院
技术研发日：2021.06.11
技术公布日：2022/12/12