有轨台车系统的制作方法

1.本发明的一个方面涉及有轨台车系统。


背景技术：

2.公知有使用能够沿着行驶用轨道移动的行驶台车，用于输送例如收纳多个半导体晶片的foup(front opening unified pod：前开式联合吊舱)以及收纳玻璃基板的容器、标线片容器等那样的容器以及一般部件等物品的系统。例如，在专利文献1中公开了在敷设于高度方向上的多个层的各个的轨道间输送物品时，利用具有升降功能的升降机的有轨台车系统。
3.专利文献1：日本特开2006-261145号公报
4.然而，在具备具有升降功能的升降机的上述现有的有轨台车系统中，例如存在升降机相关的维护负担大，或行驶台车在升降机的上游侧拥堵这样的课题。因此，考虑了通过轨道直接连接具有高低差的层间的方案。然而，在这样的轨道上需要设置坡度，需要使在该坡度下降的行驶台车的制动器适当地动作。


技术实现要素：

5.因此，本发明的一个方面的目的在于提供一种在连接具有高低差的层间的下行轨道中，能够使行驶台车的制动器适当地动作的有轨台车系统。
6.本发明的一个方面的有轨台车系统是具备用于连接具有高低差的层间彼此并且使行驶台车向下方移动的下行轨道的有轨台车系统，其中，下行轨道配置为螺旋状，并且具有形成通过设置在行驶台车的制动器动作而产生从动能转换的热能或者电能的第一区间的轨道、以及形成将在第一区间产生的热能释放出或者消耗在第一区间产生的电能的第二区间的轨道。
7.这里所说的“将热能释放出”是也包含释放出的热能大于供给的热能的状态的概念。另外，这里所说的“消耗电能”是也包含消耗的电能大于供给的电能的状态的概念。
8.在该结构的有轨台车系统中，通过将下行轨道配置为螺旋状，能够调整为行驶台车在下行轨道行驶的适当(能够控制行驶台车的速度)的坡度，并且能够在紧凑的平面空间形成下行轨道。另外，下行轨道不仅设置有形成在制动器动作时产生从动能转换的热能或者电能的第一区间的轨道，还设置有形成将在第一区间产生的热能释放出或者消耗在第一区间产生的电能的第二区间的轨道。由此，能够在第二区间释放或者消耗在第一区间产生的热能或者电能，所以能够防止由过充电或者发热等引起的制动器的不良情况的产生。其结果是，在连接具有高低差的层间的下行轨道中，能够使行驶台车的制动器适当地动作。
9.在本发明的一个方面中，行驶台车也可以具有：作为制动器的再生制动器、以及积蓄在再生制动器中产生的电能的蓄电池或者将在再生制动器中产生的电能转换为热能的电阻器，第一区间也可以是在电阻器中将电能转换为热能的区间或者将电能积蓄在蓄电池的区间，第二区间也可以是将在电阻器中转换后的热能释放出的区间或者消耗在蓄电池中
积蓄的电能的区间。
10.在该结构的有轨台车系统中，下行轨道不仅设置有形成在再生制动器动作时产生从动能转换的热能或者电能的第一区间的轨道，还设置有形成将在第一区间产生的热能释放出或者消耗在第一区间产生的电能的第二区间的轨道。由此，能够在第二区间释放或者消耗在第一区间产生的热能或者电能，所以，例如能够防止由电阻器的过度发热导致的再生失效或者由损伤等引起的再生制动器的不良情况的产生，例如，能够防止由蓄电池的过充电导致的再生失效或者因蓄电池的寿命降低引起的再生制动器的不良情况的产生。其结果是，在连接具有高低差的层间的下行轨道中，能够使行驶台车的再生制动器适当地动作。
11.在本发明的一个方面的有轨台车系统中，形成第二区间的轨道也可以沿水平方向延伸。在该结构中，能够以简易的结构形成将在第一区间行驶时产生的热能释放出或者消耗电能的第二区间。另外，在这样的水平区间，行驶台车能够从各种方向将物品载置于载置部。
12.在本发明的一个方面的有轨台车系统中，也可以在第二区间设置有分支部和/或合流部。在该结构中，能够容易地进行针对多层的下方移动。
13.在本发明的一个方面的有轨台车系统中，形成第一区间的轨道的下行坡度也可以大于形成第二区间的轨道的下行坡度。作为第一区间的比较对象的第二区间的坡度也包含沿水平方向延伸的情况、即坡度为0的情况。在该结构中，能够以简易的结构形成消耗在第一区间行驶时产生的能量的第二区间。
14.在本发明的一个方面的有轨台车系统中，在从铅垂方向上方观察的俯视图中，下行轨道也可以具有形成以相互大致平行的方式配置的直线区间的轨道、和形成设置在形成直线区间的轨道的端部的弯曲区间的轨道。在该结构中，能够在建筑物间等细长的空间容易地设置下行轨道。
15.在本发明的一个方面的有轨台车系统中，也可以还具备：上行轨道，其用于连接具有高低差的层间彼此并且使行驶台车向上方移动，在从铅垂方向上方观察的俯视图中，上行轨道也可以配置为与下行轨道重叠。在该结构中，能够在建筑物间等细长的空间一体地设置上行轨道以及下行轨道。
16.在本发明的一个方面的有轨台车系统中，下行轨道以及上行轨道也可以具有从配置为螺旋状的下行轨道以及上行轨道的螺旋中心以放射状延伸的区间。在该结构中，能够调整下行轨道以及上行轨道的长度，能够增大下行轨道与上行轨道的高度间隔。
17.在本发明的一个方面的有轨台车系统中，也可以在由配置为螺旋状的下行轨道围起的区域设置有用于作业者进行维护的踏板。在该结构中，能够有效利用空间，能够容易地进行下行轨道的维护作业。
18.根据本发明的一个方面，在连接具有高低差的层间的下行轨道中，能够使行驶台车的制动器适当动作。
附图说明
19.图1是从行驶方向观察在一实施方式的有轨台车系统中使用的行驶台车的正面简图。
20.图2是将有轨台车系统应用于建筑物间输送的情况下的简要配置图。
21.图3是表示有轨台车系统的下行轨道以及上行轨道的立体图。
22.图4是表示变形例1的下行轨道以及上行轨道的立体图。
23.图5是表示变形例2的下行轨道以及上行轨道的立体图。
24.图6是表示变形例3的下行轨道以及上行轨道的立体图。
具体实施方式
25.以下，参照附图详细说明本发明的一个方面的优选的一实施方式。此外，在附图的说明中，对同一构件标注同一附图标记，并省略重复的说明。
26.如图1所示，有轨台车系统1是使用能够沿着行驶用轨道(轨道)4移动的行驶台车6在载置部9、9间(参照图2)输送物品10的系统。物品10例如包含收纳多个半导体晶片的foup(front opening unified pod：前开式联合吊舱)以及收纳玻璃基板的容器、标线片容器等那样的容器以及一般部件等。有轨台车系统1具备多个行驶台车6、行驶用轨道4以及多个载置部9。
27.行驶台车6在行驶用轨道4行驶，输送物品10。行驶台车6构成为能够移载物品10。行驶台车6是桥式无人行驶车。有轨台车系统1具备的行驶台车6的台数没有特别限定，是多台。行驶台车6具有主体部7、行驶部50以及控制部35。主体部7具有主体框架22、横向输送部24、θ驱动器26、升降驱动部28、升降台30以及罩33。
28.主体框架22与行驶部50连接，支承横向输送部24、θ驱动器26、升降驱动部28、升降台30以及罩33。横向输送部24将θ驱动器26、升降驱动部28以及升降台30一起沿与行驶用轨道4的行驶方向成直角的方向横向输送。θ驱动器26使升降驱动部28以及升降台30中的至少任一个在水平面内以规定的角度范围内转动。升降驱动部28通过金属线、绳索以及带等吊持件的卷绕或放出而使升降台30升降。在升降台30设置有卡盘，能够进行物品10的把持或者释放。罩33例如在行驶台车6的行驶方向的前后设置有一对。罩33使未图示的爪等伸缩来防止在输送中物品10的落下。
29.行驶部50使行驶台车6沿着行驶用轨道4行驶。行驶部50主要具有行驶辊51、侧辊52、再生制动器(制动器)53、电阻器54、供电芯57以及ldm(linear dc motor：直线直流电动机)59。
30.行驶辊51在行驶用轨道4的下表面部40b滚动。行驶辊51配置在行驶部50的前后的左右两端。侧辊52设置为能够与行驶用轨道4的侧面部40c接触。再生制动器53是通过将动能转换为电能，将行驶台车6制动的装置，例如由控制ldm59的控制部35以及未图示的驱动器等构成。电阻器54将由再生制动器53产生的电能转换为热能并释放到大气中。
31.供电芯57配置为在行驶部50的前后，沿左右方向夹着ldm59。供电芯57在与配置在行驶用轨道4的供电部40e之间进行非接触的供电，进行非接触的各种信号的收发。供电芯57与控制部35之间交换信号。ldm59设置在行驶部50的前后。设置于ldm59的电磁铁在与配置在行驶用轨道4的上表面的磁板40f之间，产生用于使行驶台车6加速或者制动的磁力。
32.行驶用轨道4是用于使行驶台车6行驶的被预先决定的行驶路。行驶用轨道4具有由一对下表面部40b、40b、一对侧面部40c、40c及顶面部40d构成的筒状的轨道主体部40；供电部40e；以及磁板40f。轨道主体部40收纳(内包)行驶台车6的行驶部50。下表面部40b向行驶台车6的行驶方向延伸，构成轨道主体部40的下表面。下表面部40b是使行驶台车6的行驶
辊51滚动地行驶的板状部件。侧面部40c向行驶台车6的行驶方向延伸，构成轨道主体部40的侧面。侧面部40c是使行驶台车6的侧辊52滚动的板状部件。顶面部40d向行驶台车6的行驶方向延伸，构成轨道主体部40的上表面。
33.供电部40e是向行驶台车6的供电芯57供给电力，并且与供电芯57进行信号的收发的部位。供电部40e固定于一对侧面部40c、40c的各个，沿着行驶方向延伸。供电部40e以非接触的状态对供电芯57供给电力。磁板40f使行驶台车6的ldm59产生用于行驶或者停止的磁力。磁板40f固定于顶面部40d，沿着行驶方向延伸。
34.如图2所示，行驶用轨道4由配置在建筑物(第一建筑物b1以及第二建筑物b2)的各层(楼层)的建筑物内输送部t1、和将第一建筑物b1与第二建筑物b2之间连接的建筑物间输送部t2构成。在建筑物内输送部t1中，行驶用轨道4例如敷设在作业者的头上空间亦即顶棚附近。行驶用轨道4例如由支柱40a、40a悬挂支承在建筑物的顶棚(参照图1)。
35.建筑物间输送部t2包含下行轨道t21、上行轨道t22及连接轨道t23而构成。下行轨道t21为了连接在铅垂方向上具有高低差的层间彼此并且使行驶台车6向下方移动而设置。上行轨道t22为了连接在铅垂方向上具有高低差的层间彼此并且使行驶台车6向上方移动而设置。下行轨道t21以及上行轨道t22将配置有连接轨道t23的最低位置、与处于第一建筑物b1的最高层的最高位置之间连接。连接轨道t23为了连接在铅垂方向上没有高低差的位置彼此并且使行驶台车6水平地移动而设置。
36.如图3所示，下行轨道t21配置为螺旋状。如图1以及图3所示，下行轨道t21具有：形成将设置在行驶台车6的再生制动器53动作时产生的电能在电阻器54中转换为热能的第一区间71的行驶用轨道4；以及形成将在第一区间71中转换后的热能从电阻器54释放出的第二区间72的行驶用轨道4。
37.形成第一区间71的行驶用轨道4的下行坡度大于形成第二区间72的行驶用轨道4的下行坡度。在本实施方式中，形成第二区间72的行驶用轨道4沿水平方向延伸。另外，下行轨道t21在从铅垂方向上方观察的俯视图中，具有形成以相互大致平行的方式配置的直线区间73的行驶用轨道4；以及形成设置在形成直线区间73的行驶用轨道4的端部的弯曲区间74的行驶用轨道4。
38.上行轨道t22配置为螺旋状，并且具有形成上行坡度的第三区间75的行驶用轨道4、以及形成沿水平方向延伸的第四区间76的行驶用轨道4。另外，上行轨道t22在从铅垂方向上方观察的俯视图中，具有形成以相互大致平行的方式配置的直线区间73的行驶用轨道4、和形成设置在形成直线区间73的行驶用轨道4的端部的弯曲区间74的行驶用轨道4。上行轨道t22在从铅垂方向上方观察的俯视图中，配置为与下行轨道t21重叠。
39.下行轨道t21以及上行轨道t22被框架81支承。框架81具有横框架81a和纵框架81b。下行轨道t21以及上行轨道t22例如经由支承部件40g(参照图1)而支承在框架81。框架81设置在由配置为螺旋状的下行轨道t21以及上行轨道t22围起的区域。另外，在框架81沿铅垂方向隔开规定的间隔而配置有多个作业者用于维护行驶台车6或者行驶用轨道4的踏板(踏台)85。即、踏板85配置在由配置为螺旋状的下行轨道t21以及上行轨道t22围起的区域。在地上与最下层的踏板85之间、以及相互邻接的踏板85、85之间设置有用于作业者上下的梯子87。
40.如图2所示，载置部9沿着行驶用轨道4而配置，设置在能够与行驶台车6之间交接
物品10的位置。载置部9包含缓冲区以及交接端口。缓冲区是临时载置物品10的载置部。缓冲区例如是在基于作为目的交接端口载置有其它物品10等的理由，而无法将行驶台车6输送的物品10载置于该交接端口的情况下，临时放置物品10的载置部。交接端口例如是用于相对于以清洗装置、成膜装置、光刻装置、蚀刻装置、热处理装置、平坦化装置为代表的半导体的处理装置(未图示)进行物品10的交接的载置部。此外，处理装置并没有特别限定，也可以是各种装置。
41.图1所示的控制部35是由cpu(central processing unit：中央处理器)、rom(read only memory：只读存储器)以及ram(random access memory：随机存取存储器)等构成的电子控制单元。控制部35控制行驶台车6的各种动作。具体而言，控制部35控制行驶部50、横向输送部24、θ驱动器26、升降驱动部28以及升降台30。控制部35例如能够构成为将存储于rom的程序加载到ram上并由cpu执行的软件。控制部35也可以构成为基于电子电路等的硬件。控制部35利用行驶用轨道4的供电部40e(或者馈电线)等与控制器90进行通信。
42.本实施方式的控制部35在行驶台车6在下行坡度的第一区间71(参照图2以及图3)行驶时，通过控制驱动器等使再生制动器53的制动器动作，并以预先决定的安全速度使行驶台车6行驶。另外，控制部35在行驶台车6在没有坡度的第二区间72(参照图2以及图3)行驶时，通过控制驱动器等来解除再生制动器53的制动器，并且通过控制ldm59使行驶台车6以预先决定的速度行驶。控制部35在行驶台车6在第三区间75以及第四区间76(参照图2以及图3)行驶时，通过控制驱动器等来解除再生制动器53的制动器，并且通过控制ldm59使行驶台车6以预先决定的速度行驶。
43.控制器90是由cpu、rom以及ram等构成的电子控制单元。控制器90例如能够构成为将存储于rom的程序加载到ram上并由cpu执行的软件。控制器90也可以构成为基于电子电路等的硬件。控制器90发送使行驶台车6输送物品10的输送指令。
44.对上述实施方式的有轨台车系统1的作用效果进行说明。如图3所示，在上述实施方式的有轨台车系统1中，将下行轨道t21配置为螺旋状，由此能够调整为行驶台车6在下行轨道t21行驶的适当的下行坡度，并且能够在紧凑的平面空间形成下行轨道t21。另外，在上述实施方式的有轨台车系统1的下行轨道t21中，不仅设置有形成在再生制动器53动作时产生从动能转换来的热能的第一区间71的行驶用轨道4，还设置有形成将在第一区间71中产生的热能释放出的第二区间72的行驶用轨道4。由此，能够在第二区间72中释放出或者消耗在第一区间71中产生的热能或者电能，所以能够防止由电阻器54的过度发热导致的再生失效或者由损伤等引起的再生制动器53的不良情况的产生。其结果是，在连接具有高低差的层间的下行轨道t21中，能够使行驶台车6的再生制动器53适当地动作。
45.在上述实施方式的有轨台车系统1中，由于形成第二区间72的行驶用轨道4沿水平方向延伸，所以能够以简易的结构形成将在第一区间71行驶时产生的热能释放出的第二区间72。另外，在这样的水平区间中，行驶台车6能够从各种方向将物品10载置于载置部9，也能够容易地进行分支、合流。
46.在上述实施方式的有轨台车系统1中，形成第一区间71的行驶用轨道4的下行坡度大于形成第二区间72的行驶用轨道的下行坡度，所以能够以简易的结构形成将在第一区间71行驶时产生的热能消耗的第二区间72。
47.在上述实施方式的有轨台车系统1中，下行轨道t21在从铅垂方向上方观察的俯视
图中，具有以相互大致平行的方式配置的直线区间73的行驶用轨道4、以及形成设置在形成直线区间73的行驶用轨道4的端部的弯曲区间74的行驶用轨道4。另外，在上述实施方式的有轨台车系统1中，上行轨道t22在从铅垂方向上方观察的俯视图中，配置为与下行轨道t21重叠。在这样结构的有轨台车系统1中，能够在建筑物间等细长的空间一体地设置上行轨道以及下行轨道。
48.在上述实施方式的有轨台车系统1中，在由配置为螺旋状的下行轨道t21以及上行轨道t22围起的区域设置有用于作业者进行维护的踏板85。由此，能够有效利用空间，能够容易地进行下行轨道t21以及上行轨道t22的维护作业。
49.以上，虽说明了一实施方式，但本发明并不限于上述实施方式。在不脱离发明的宗旨的范围内，能够进行各种变更。
50.(变形例1)
51.例如，在变形例1的有轨台车系统1中，如图4所示，除了在上述实施方式的有轨台车系统1的结构之外，还在上述最低位置与上述最高位置之间设置有分支部91以及合流部92。分支部91是在将下行轨道t21或者上行轨道t22作为主线轨道时，从主线轨道分支为设置在各层的轨道亦即支线轨道的部分。合流部92是在将下行轨道t21或者上行轨道t22作为主线轨道时，从上述支线轨道合流到主线轨道的部分。在第一建筑物b1由多层构成时，分支部91以及合流部92与各个层对应地设置。上述分支部91以及合流部92设置在沿水平方向延伸的行驶用轨道4。
52.在上述变形例1的有轨台车系统1中，能够容易地进行向多层的各个的下方移动以及向多层的各个的上方移动。其结果是，能够使用行驶台车6向设置在第一建筑物b1的各个楼层的处理装置输送物品10。
53.(变形例2)
54.在上述实施方式以及变形例1的有轨台车系统1中，如图3以及图4所示，虽举出下行轨道t21以及上行轨道t22在从铅垂方向上方观察的俯视图中，具有形成以相互大致平行的方式配置的直线区间73的行驶用轨道4、和形成设置在形成直线区间73的行驶用轨道4的端部的弯曲区间74的行驶用轨道4的例子进行了说明，但并不限定于此。
55.如图5所示，变形例2的有轨台车系统1的下行轨道t21例如具有从配置为螺旋状的下行轨道t21的螺旋中心c以放射状延伸的行驶用轨道4。变形例2的下行轨道t21通过设置曲线轨道78而从螺旋中心c以放射状使行驶用轨道4延伸。变形例2的有轨台车系统1的下行轨道t21与上述实施方式以及变形例1的有轨台车系统1相同，具有形成将在设置于行驶台车6的再生制动器53动作时产生的电能在电阻器54中转换为热能的第一区间71的行驶用轨道4、以及形成将在第一区间71中转换后的热能从电阻器54释放出的第二区间72的行驶用轨道4。
56.另外，在变形例2的有轨台车系统1中，在以放射状延伸的行驶用轨道4的折返部分设置有弯曲区间74。弯曲区间74由沿水平方向延伸的行驶用轨道4形成，与变形例1相同，设置有分支部91以及合流部92。
57.在变形例2的有轨台车系统1中，能够容易地进行针对多层的下方移动以及针对多层的上方移动。其结果是，能够使用行驶台车6向设置在第一建筑物b1的各个楼层的处理装置输送物品10。另外，在该结构中，容易调整行驶用轨道4的长度，能够增大下行轨道t21的
高度间隔。
58.(变形例3)
59.如图6所示，变形例3的有轨台车系统1除了变形例2的下行轨道t21的结构之外，还成为具备上行轨道t22的结构。上行轨道t22在从铅垂方向上方观察的俯视图中，配置为与下行轨道t21重叠。在变形例3的有轨台车系统1中，也能够得到与变形例2的有轨台车系统1相同的效果。
60.(其它的变形例)
61.在上述实施方式以及变形例的有轨台车系统1中使用的行驶台车6，虽举出将再生制动器53动作时产生的电能在电阻器54中转换为热能的例子进行了说明，但行驶台车6也可以代替电阻器54而具备蓄电池54a。具备蓄电池54a的结构的行驶台车6能够将再生制动器53动作时产生的电能存储于蓄电池54a。
62.在具有这样结构的行驶台车6的有轨台车系统1中，在下行轨道t21的第一区间71中，将再生制动器53动作时产生的电能存储于蓄电池54a，在第二区间72中，从蓄电池54a消耗在第一区间71中存储的电能。在本实施方式中，为了使ldm59产生在其与配置于行驶用轨道4的上表面的磁板40f之间用于使行驶台车6行驶的磁力，而使用上述电能。在这样的结构中，能够防止由对蓄电池54a的过充电导致的再生失效或者由蓄电池54a的寿命降低引起的再生制动器53的不良情况的产生。其结果是，在连接具有高低差的层间的下行轨道t21中，能够使行驶台车6的再生制动器53适当地动作。
63.在上述变形例中，虽举出各行驶台车6具备蓄电池54a的例子进行了说明，但例如也可以在沿着下行轨道t21的至少一处设置蓄电池，经由行驶用轨道4或者沿着行驶用轨道4的延伸方向配置的导电性部件，来传递在各行驶台车6中产生的电能。在这样的结构中，在第二区间72行驶时，行驶台车6使用积蓄在沿下行轨道t21设置的蓄电池的电能，从而能够得到与上述变形例相同的效果。
64.在上述实施方式以及变形例中，虽举出作为在行驶台车6中使用的制动器应用电力转换方式的再生制动器53的例子进行了说明，但例如也可以应用热交换方式的制动器。在该情况下，通过将由热交换方式的制动器在第一区间71中产生的热在第二区间72中释放出，能够得到与上述实施方式以及变形例相同的效果。
65.在上述实施方式以及变形例中例示出的第一建筑物b1的层数、行驶用轨道4沿放射方向延伸时的方向并不限于上述情况，能够适当地设定。
66.附图标记的说明
[0067]1…
有轨台车系统，4
…
行驶用轨道(轨道)，6
…
行驶台车，10
…
物品，50
…
行驶部，53
…
再生制动器(制动器)，54
…
电阻器，54a
…
蓄电池，71
…
第一区间，72
…
第二区间，73
…
直线区间，74
…
弯曲区间，75
…
第三区间，76
…
第四区间，78
…
曲线轨道，81
…
框架，85
…
踏板，91
…
分支部，92
…
合流部，t1
…
建筑物内输送部，t2
…
建筑物间输送部，t21
…
下行轨道，t22
…
上行轨道。