流体处理装置及包含该流体处理装置的流体处理系统的制作方法

技术特征：
1.一种流体处理装置，其特征在于，具有第一流路、第二流路、和配置于所述第一流路与所述第二流路之间的阀，所述阀包括：配置于基板的槽状阀座；以及将所述槽状阀座覆盖的平板状的挠性层，所述阀在所述挠性层与所述槽状阀座的内壁分离时将所述第一流路和所述第二流路连通，在所述挠性层与所述槽状阀座的内壁接触时将所述第一流路和所述第二流路之间阻断。2.如权利要求1所述的流体处理装置，其中，所述槽状阀座的深度比所述第一流路的深度和所述第二流路的深度浅。3.如权利要求1所述的流体处理装置，其中，所述槽状阀座的与长度方向垂直的剖面的形状为由圆弧或椭圆弧与弦线围成的形状。4.如权利要求1所述的流体处理装置，其中，所述挠性层包含多个层，所述多个层中的与所述槽状阀座的内壁接触的层为包含弹性体的弹性体层。5.如权利要求1～4中任意一项所述的流体处理装置，其中，还具有与所述第二流路连接的泵，所述泵包括：配置于所述基板的泵槽；以及将所述泵槽覆盖的平板状的挠性层，通过所述挠性层与所述泵槽的内壁接触的接触位置的依次移动，所述泵使所述第一流路和/或所述第二流路内的流体移动。6.一种流体处理系统，其特征在于，具有：权利要求1～4中任意一项所述的流体处理装置；以及能够将所述阀的挠性层按压的阀用滑动部件。7.如权利要求6所述的流体处理系统，其中，所述阀用滑动部件是能够旋转的旋转部件。8.一种流体处理系统，其特征在于，具有：权利要求5所述的流体处理装置；能够将所述阀的挠性层按压的阀用滑动部件；以及能够将所述泵的挠性层按压的泵用滑动部件。

技术总结
本发明的目的在于，提供流体处理装置以及包含该流体处理装置的流体处理系统，该流体处理装置能够更简便地制作且能够容易地进行流路的开闭而且能够实现小型化。本发明的流体处理装置具有第一流路、第二流路、和配置于所述第一流路与所述第二流路之间的阀，所述阀包括：配置于基板的槽状阀座；以及将所述槽状阀座覆盖的平板状的挠性层，所述阀在所述挠性层与所述槽状阀座的底部分离时将所述第一流路和所述第二流路连通，在所述挠性层与所述槽状阀座的内壁接触时将所述第一流路和所述第二流路之间阻断。流路之间阻断。流路之间阻断。


技术研发人员：砂永伸也 铃木诚一郎 小野航一
受保护的技术使用者：恩普乐股份有限公司
技术研发日：2022.05.17
技术公布日：2022/11/22