多工位工件加工装置的制作方法

1.本实用新型涉及光伏加工技术领域，具体地涉及一种多工位工件加工装置。


背景技术：

2.现工业设备中，随着对工件加工精细度的要求提高，在加工之前会对工件进行定位处理，如太阳能光伏电池自动曝光设备，其是基于光学检测通过激光自动对光伏电池板表面成像曝光的设备系统。由于对曝光图案的高精细度要求，需要先通过ccd相机拍摄工件图像对工件进行定位，此时曝光装置内同时设置有曝光设备和定位拍摄设备。现有设备中，两组设备工作过程以及工件载台搬运过程缺乏高效协同，工件加工效率低下。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种多工位工件加工装置。
4.本实用新型提供一种多工位工件加工装置，包括装置基台、多个工件载台、工件载台驱动设备、定位设备和加工设备，所述装置基台包括依次排列的上料工位、定位工位、加工工位和下料工位；
5.所述多工位工件加工装置包括至少三个工件载台，所述所述工件载台受所述工件载台驱动装置控制在所述装置基台上沿工位排列方向依次循环往复运动；
6.所述上料工位用于在所述工件载台放置工件；
7.所述定位设备被配置为在所述定位工位对所述工件在所述工件载台上的位置进行定位，获取工件位置信息；
8.所述加工设备被配置为根据所述工件位置信息在所述加工工位对所述工件进行加工处理；
9.所述下料工位用于输出所述工件载台上的所述工件；
10.在一所述工件载台自所述下料工位返回所述上料工位的过程中，一所述工件载台运动至所述定位工位，所述定位设备被配置为对位于所述定位工位的所述工件载台上所述工件进行定位，同时，一所述工件载运动至所述加工工位，所述加工设备被配置为对位于所述加工工位的所述工件载台上的所述工件进行加工处理。
11.作为本实用新型的进一步改进，所述多工位工件加工装置包括并列于所述装置基台工位排列方向设置的多个工作区，每个所述工作区内至少设置有一个所述工件载台，在每个所述工作区内，所述工件载台沿工位排列方向循环往复运动。
12.作为本实用新型的进一步改进，所述多工位工件加工装置还包括定位设备驱动部件，所述定位设备驱动部件控制所述定位设备在不同所述工作区之间往复运动。
13.作为本实用新型的进一步改进，所述多工位工件加工装置还包括加工设备驱动部件，所述加工设备驱动部件控制所述加工设备在不同所述工作区之间往复运动。
14.作为本实用新型的进一步改进，在每个所述工作区内分别设置有两个所述工件载台，在每个所述工作区内，两个所述工件载台的所述工件载台驱动装置相对设置，两个所述
工件载台依次沿工位排列方向循环往复运动。
15.作为本实用新型的进一步改进，在一所述工作区内，两个所述工件载台同列设置，所述工件载台驱动装置控制所述工件载台控制所述工件载台沿工位排列方向运动的同时，控制所述工件载台上下交错运动。
16.作为本实用新型的进一步改进，在所述加工设备对一所述工作区内的所述工件进行处理加工的过程中，所述定位设备被配置为在另一所述工作区内对所述工件进行定位。
17.作为本实用新型的进一步改进，所述多工位工件加工装置包括并列于所述装置基台工位排列方向设置的两个工作区，在每个所述工作区内分别设置有两个工件载台；
18.在一所述工作区内，一所述工件载台自所述下料工位返回所述上料工位的过程中，一所述工件载台运动至所述定位工位，所述定位设备被配置为运动至所述定位工位后对所述工件进行定位；
19.同一过程中，在另一所述工作区内，一所述工件载台运动至所述加工工位，所述加工设备被配置为运动至所述加工工位后对所述工件载台上的所述工件进行加工处理，同时，一所述工件载台待机。
20.作为本实用新型的进一步改进，所述定位设备包括ccd相机镜头组，所述ccd相机镜头组被配置为用于在所述定位工位拍摄所述工件载台上工件的图像。
21.作为本实用新型的进一步改进，所述多工位工件加工装置还包括架设于所述定位工位处的第一龙门架，所述ccd相机镜头组设置于所述第一龙门架横梁上，沿所述第一龙门架横梁在不同所述工作区之间运动。
22.作为本实用新型的进一步改进，所述工件载台还包括设置于其表面的光源装置，所述光源装置被配置为在打开后向所述ccd相机镜头组射出光线。
23.作为本实用新型的进一步改进，所述加工设备包括曝光相机镜头组，所述曝光相机镜头组被配置为用于在所述加工工位对所述工件进行曝光处理。
24.作为本实用新型的进一步改进，所述多工位工件加工装置还包括架设于所述加工工位处的第二龙门架，所述曝光相机镜头组设置于所述第二龙门架横梁上，沿所述第二龙门架横梁在不同所述工作区之间运动。
25.作为本实用新型的进一步改进，所述工件载台台面被配置为能够同时放置成阵列排布的多个工件。
26.作为本实用新型的进一步改进，所述工件载台还包括真空吸附装置，所述真空吸附装置被配置为打开后真空吸附放置于所述工件载台上的所述工件。
27.作为本实用新型的进一步改进，所述多工位工件加工装置还包括上料臂和下料臂，所述上料臂被配置用于将所述工件放置在位于所述上料工位的所述工件载台上，所述下料臂被配置用于将所述工件自位于所述下料工位的所述工件载台上取出。
28.本实用新型的有益效果是：本实用新型将至少三个工件载台在不同工位之间依次循环往复运动，当一个工件载台在返回阶段过程中，定位设备和加工设备被配置为分别对其他工件载台上的工件进行处理，从而使定位设备和加工设备在工作过程中处于连续工作状态，不出现断档的情况，定位设备和加工设备的利用率达到理论极限，能够显著提升工件加工效率。
附图说明
29.图1是本实用新型一实施方式中的多工位工件加工装置俯视示意图。
30.图2是本实用新型一实施方式中的工作流程图(三个工件载台)。
31.图3是本实用新型一实施方式中的多工位工件加工装置左视示意图。
32.图4是本实用新型一实施方式中的工作流程图(四个工件载台)。
具体实施方式
33.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型具体实施方式及相应的附图对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施方式仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
34.下面详细描述本实用新型的实施方式，实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
35.为方便说明，本文使用表示空间相对位置的术语来进行描述，例如“上”、“下”、“后”、“前”等，用来描述附图中所示的一个单元或者特征相对于另一个单元或特征的关系。空间相对位置的术语可以包括设备在使用或工作中除了图中所示方位以外的不同方位。例如，如果将图中的装置翻转，则被描述为位于其他单元或特征“下方”或“上方”的单元将位于其他单元或特征“下方”或“上方”。因此，示例性术语“下方”可以囊括下方和上方这两种空间方位。
36.如图1所示，本实施方式提供一种多工位工件加工装置，包括装置基台1、多个工件载台2、工件载台驱动装置2a、定位设备3和加工设备4，其特别适用于对光伏电池板进行加工处理。在工件载台驱动装置2a驱动多个工件载台2并行协同运动的同时，定位设备3和加工设备4无缝对其他工件载台2上的工件5进行处理，装置加工效率高，能够显著缩短工件5产出间隔，且多工位工件加工装置结构集成度高。
37.为便于说明，在本实施方式中，以光伏电池板的曝光装置对多工位工件加工装置的具体结构及工作流程进行过具体说明。
38.装置基台1包括依次排列的上料工位11、定位工位12、加工工位13和下料工位14。将装置基台1台面工位排列方向定为x轴方向，将装置基台1台面与x轴方面垂直的宽度方向定为y轴方向，将装置基台1高度方向定为z轴方向。工件载台2依次运动至上述各工位进行对应操作。
39.上料工位11位于装置基台1首端，在上料工位11，工件5被放置在工件载台2上。进一步的，多工位工件加工装置还包括上料臂6，上料臂6被配置用于将工件5放置于位于上料工位11的工件载台2上。
40.定位工位12位于上料工位11后端，定位设备3被配置为在定位工位12对工件5在工件载台2上的位置进行定位，获取工件5位置信息，从而为后续的工件5自动处理提供位置修正信息。由于通过预设加工图形或预设加工坐标信息自动对工件5进行价加工处理，需要工
件5在标准的预设位置。但在上料过程中，工件5的位置偏差、工件载台2的移动偏差等无法避免，因此需要先对工件5的实际位置进行定位。
41.加工工位13位于定位工位12后端，加工设备4被配置为根据工件5位置信息在加工工位13对工件5进行加工处理。在获取了工件5位置信息后，加工设备4调整其预设的加工图案信息、或者修正加工坐标信息等来对工件5进行加工。
42.下料工位14位于加工工位13后端，用于输出加工处理后的工件5。进一步的，多工位工件加工装置还包括下料臂7，下料臂7被配置用于将工件5放置于位于上料工位11的工件载台2上。
43.需要说明的是，这里所述的不同工位是按照装置基台1不同功能区域划分的不同功能区，实际装置中不同工位之间可能并没有明显的分界线或分界标志。
44.具体的，在本实施方式中，工件5为光伏电池板，定位设备3包括设置于定位工位12上方的ccd相机镜头3a，加工设备4为设置于加工工位13上方的曝光相机镜头4a。ccd相机镜头3a在拍摄获得光伏电池板在工件载台2上的图像后，多工位工件加工装置的处理器计算光伏电池板相对于标准位置的偏移距离和偏转角度，并根据相关位置信息调整曝光图案的位置，曝光相机镜头4a基于修正后的曝光图案对光伏电池板进行曝光处理。
45.在本实用新型的其他实施方式中，加工设备4也可为激光切割装置等设备，用于对光伏电池板进行激光切割处理。并且，当本实用新型所提供的多工位工件加工装置用于其他领域，如对电路板进行加工等，也可对应调整定位设备3和加工设备4具体设备。
46.优选的，在本实施方式中，工件载台2还包括设置于其表面的光源装置，光源装置被配置为在打开后向ccd相机镜头3a组射出光线。由于光伏电池板为不透光的硅片，因此光伏电池板周侧边缘的区域会被光源照亮，而光伏电池板区域光线被遮蔽，从而使得ccd相机镜头3a拍摄得到光伏电池板区域与周侧区域形成高对比度差的图像。在通过该方法所拍摄的图像中，光伏电池板的边缘轮廓线清晰、容易分辨，因此可以准确在图像中检测识别出工件5边缘轮廓信息来进行偏移距离及偏转角度的计算。
47.优选的，在本实施方式中，工件载台2台面尺寸被设计为能够同时放置成阵列排布的多个工件5，并且对应的，在定位设备3设置有与工件5排布阵列数相对应数量的ccd相机镜头3a，从而能在一次工作流程中同时对多个工件5进行定位，以提高工作效率。上料臂6和下料臂7包括用于吸取工件5的吸盘装置，吸盘装置数量及排布方式同样对应于工件5在工件载台2上的排布阵列，从而能通过一次操作完成对所有工件5的上下料过程。
48.优选的，在本实施方式中，工件载台2还包括真空吸附装置，真空吸附装置被配置为打开后真空吸附置于工件载台2上的工件5，从而牢固固定工件5，在关闭真空吸附装置后，下料臂7即可将工件5取出。
49.进一步的，多工位工件加工装置还包括工件载台驱动装置2a以及至少三个工件载台2，工件载台2受工件载台驱动装置2a控制在装置基台1上沿工位排列方向(即x轴方向)循环往复运动。
50.在本实施方式中，根据工件5在在不同工位所需的时间，工件载台2在不同工位之间的一个完整工作流程大致可分为时间长度近似的三个阶段：定位阶段、加工阶段和返回阶段。
51.在定位阶段，上料臂6将工件5放置于工件载台2，工件载台2运动至定位工位12进
行工件5定位，并在完成定位后运动至加工工位13。
52.在加工阶段，加工设备4对工件5进行加工，并在完成加工后，工件载台2运动至下料工位14进行下料。
53.在返回阶段，工件载台2从下料工位14运动返回至上料工位11，准备进行下一个工作流程。
54.在一工件载台2处于返回阶段，即自下料工位14返回上料工位11的过程中，一工件载台2处于定位阶段，即上料后运动至定位工位12，定位设备3对位于定位工位12的工件载台2上工件5进行定位，同时，一工件载台2处于加工阶段，即运动至加工工位13，加工设备4对位于加工工位13的工件载台2上的工件5进行加工处理。
55.如图2所示，至少三个工件载台2依次运动，分别处于三个不同阶段，由于在返回阶段，工件载台2处于空置状态，未参与到实际的生产过程中。因此，通过设置至少三个工件载台2，可以确保当一个工件载台2在返回阶段过程中，定位设备3和加工设备4能够分别对其他工件载台2上的工件5进行处理，从而使定位设备3和加工设备4在工作过程中处于连续工作状态，不出现断档的情况。定位设备3和加工设备4保持满负荷工作状态，使得多工位加工设备4的工作效率达到理论极限。
56.进一步的，在本实施方式中，多工位工件加工装置包括并列于装置基台1工位排列方向设置的多个工作区1a，每个工作区1a内至少设置有一个工件载台2，在每个工作区1a内，工件载台2沿工位排列方向循环往复运动。在加工设备4对一工作区1a内的工件5进行处理加工的过程中，定位设备3被配置为在另一工作区1a内对工件5进行定位。
57.在本实施方式中，考虑到工价载台2和其驱动装置之间的机械结构、工件载台2的台面大小等因素，若至少三个工件载台2同列设置，为保证工件载台2之间在往复运动过程中不产生干涉，则工件载台2的驱动装置难以设置。因此通过设置多个工作区1a，将工件载台2之间并行设置，并在不同工作区1a内交替进行定位和加工处理，从而避免不同工件载台2之间在往复运动过程中产生干涉。
58.进一步的，在本实施方式中，多工位工件加工装置还包括定位设备3驱动部件和加工设备4驱动部件，定位设备3驱动部件控制定位设备3在不同工作区1a之间往复运动，加工设备4驱动部件控制加工设备4在不同工作区1a之间往复运动。
59.在本实用新型的其他实施方式中，也可在不同工作区1a的定位工位12和加工工位13处分别设置定位设备3和加工设备4，从而节省下定位设备3和加工设备4之间运动的时间。
60.如图3所示，进一步的，在每个工作区1a内分别设置有两个工件载台2，在每个工作区1a内，两个工件载台驱动装置2a相对设置，工件载台驱动装置2a包括沿x轴方向设置的轨道2a1以及沿轨道2a1运动连接工件载台2的支撑部2a2，电机控制支撑部2a2沿轨道2a1运动，从而带动工件5依次沿工位排列方向循环往复运动。相对设置的两个工件载台2可以在避免产生干涉的情况下，提高多工位工件加工装置的结构集成度。
61.进一步的，在本实用新型的一些实施方式中，在同一工作区1a内，两个工件载台2同列设置，支撑部2a2同时还设置有升降装置，工件载台驱动装置2a控制工件载台2控制工件载台2沿工位排列方向运动的同时，还能够控制工件载台2上下交错运动，从而进一步提高了多工位工件加工装置的结构集成度，减小了其整体体积。
62.具体的，在本实施方式中，多工位工件加工装置包括并列于装置基台1工位排列方向设置的两个工作区1a，分别为第一工作区1a1和第二工作区1a2，第一工作区1a1和第二工作区1a2沿y轴方向分别设置于装置基台1左右两半侧区域。在第一工作区1a1内设置有第一工件载台21和第二工件载台23，在第二工作区1a2内设置有第三工件载台22和第四工件载台24。
63.多工位工件加工装置还包括架设于定位工位12处的第一龙门架8，第一龙门架8横梁沿y轴方向延伸。ccd相机镜头3a组朝下设置于第一龙门架8横梁上，受定位设备3驱动装置驱动沿第一龙门架8横梁在第一工作区1a1和第二工作区1a2之间运动。
64.多工位工件加工装置还包括架设于加工工位13处的第二龙门架9，第二龙门架9横梁沿y轴方向延伸。曝光相机镜头4a组朝下设置于第二龙门架9横梁上，受加工设备4驱动装置驱动沿第二龙门架9横梁在第一工作区1a1和第二工作区1a2之间运动。
65.如图4所示，在本实施方式中，每个工件载台2的一个完整工作流程包括定位阶段、加工阶段、返回阶段和待机等待四个时间区间。示例性的，在一个时间段内，四个工件载台2的工作状态可以被概括为：
66.在第一工作区1a1内，第一工件载台21处于返回阶段，即自下料工位14返回上料工位11，第二工件载台23处于定位阶段，即运动至定位工位12后，定位设备对工件5进行定位。在第二工作区1a2内，第三工件载台22处于加工阶段，即运动至加工工位13，加工设备4对工件5进行加工处理，第四工件载台24待机。
67.通过设置如上的工作流程，定位设备3和加工设备4在两个工作区1a之间交替运动，始终保持连续工作状态，使两个设备的利用率达到最大，能够最大化提高产能，提高生产效率。
68.在本实用新型的其他实施方式中，也可设置其他数量的工作区1a和工件载台2，并根据工件5、定位设备3和加工设备4的类型调整各部件的空间位置，只要使一个工件载台2在返回阶段过程中，定位设备3和加工设备4能同时分别对另一工件5工件载台2上工件5进行处理即可。
69.下面对本实施方式中多工位工件加工装置的一次完整工作流程进行描述。
70.第一阶段
71.1.第一工作区1a1内，第一工件载台21处于定位阶段：
72.上料臂6同时吸取多件工件5交握于第一工件载台21上，在上料过程中，ccd相机镜头3a组开始朝向第一工作区1a1内的定位工位12移动。
73.完成上料后，第一工件载台21开启真空吸附装置，将呈阵列排布的工件5吸附固定，并朝向第一工作区1a1内的定位工位12移动，在移动到位后，设置于工件载台2台面处的光源装置开启。同时，ccd相机镜头3a组也移动至第一工作区1a1内的定位工位12。
74.ccd相机镜头3a组拍摄第一工件载台21上工件5图像对其进行定位。在定位过程中，曝光相机镜头4a组开始朝向第一工作区1a1内的加工工位13移动。
75.完成定位后，第一工件载台21朝向第一工作区1a1内的加工工位13移动，并与曝光镜头组同步移动至第一工作区1a1内的加工工位13。
76.2.第一工作区1a1内，第二工件载台23处于返回阶段：
77.完成下料的第二工件载台23下降，从第一工作区1a1内的下料工位14运动返回至
第一工作区1a1内的上料工位11，并在到达上料工位11后，待机等待。
78.在第一工件载台21朝向第一工作区1a1内的加工工位13移动的过程中，第二工件载台23上升。
79.3.第二工作区1a2内，第三工件载台22处于待机等待状态。
80.4.第二工作区1a2内，第四工件载台24处于加工阶段：
81.曝光相机镜头4a组对第四工件载台24上工件5进行曝光处理。
82.在完成曝光处理后，第四工件载台24开始朝向下料工位14移动，并在到位后关闭真空吸附装置。
83.下料臂7将第四工件载台24上的工件5取出。
84.第二阶段
85.1.第一工作区1a1内，第一工件载台21处于加工阶段：
86.曝光相机镜头4a组对第一工件载台21上工件5进行曝光处理。
87.在完成曝光处理后，第一工件载台21开始朝向下料工位14移动，并在到位后关闭真空吸附装置。
88.下料臂7将第四工件载台24上的工件5取出。
89.2.第一工作区1a1内，第二工件载台23处于待机等待状态。
90.3.第二工作区1a2内，第三工件载台22处于定位阶段：
91.上料臂6同时吸取多件工件5交握于第三工件载台22上，在上料过程中，ccd相机镜头3a组开始朝向第二工作区1a2内的定位工位12移动。
92.完成上料后，第三工件载台22开启真空吸附装置，将呈阵列排布的工件5吸附固定，并朝向第二工作区1a2内的定位工位12移动，在移动到位后，设置于工件载台2台面处的光源装置开启。同时，ccd相机镜头3a组也移动至第二工作区1a2内的定位工位12。
93.ccd相机镜头3a组拍摄第三工件载台22上工件5图像对其进行定位。在定位过程中，曝光相机镜头4a组开始朝向第二工作区1a2内的加工工位13移动。
94.完成定位后，第三工件载台22朝向第二工作区1a2内的加工工位13移动，并与曝光镜头组同步移动至第二工作区1a2内的加工工位13。
95.4.第二工作区1a2内，第四工件载台24处于返回阶段：
96.完成下料的第四工件载台24下降，从第二工作区1a2内的下料工位14运动返回至第二工作区1a2内的上料工位11，并在到达上料工位11后，待机等待。
97.在第三工件载台22朝向第二工作区1a2内的加工工位13移动的过程中，第四工件载台24上升。
98.第三阶段
99.1.第一工作区1a1内，第一工件载台21处于返回阶段：
100.完成下料的第一工件载台21下降，从第一工作区1a1内的下料工位14运动返回至第一工作区1a1内的上料工位11，并在到达上料工位11后，待机等待。
101.在第二工件载台23朝向第一工作区1a1内的加工工位13移动的过程中，第一工件载台21上升。
102.2.第一工作区1a1内，第二工件载台23处于定位阶段：
103.上料臂6同时吸取多件工件5交握于第二工件载台23上，在上料过程中，ccd相机镜
头3a组开始朝向第一工作区1a1内的定位工位12移动。
104.完成上料后，第二工件载台23开启真空吸附装置，将呈阵列排布的工件5吸附固定，并朝向第一工作区1a1内的定位工位12移动，在移动到位后，设置于工件载台2台面处的光源装置开启。同时，ccd相机镜头3a组也移动至第一工作区1a1内的定位工位12。
105.ccd相机镜头3a组拍摄第二工件载台23上工件5图像对其进行定位。在定位过程中，曝光相机镜头4a组开始朝向第一工作区1a1内的加工工位13移动。
106.完成定位后，第二工件载台23朝向第一工作区1a1内的加工工位13移动，并与曝光镜头组同步移动至第一工作区1a1内的加工工位13。
107.3.第二工作区1a2内，第三工件载台22加工阶段：
108.曝光相机镜头4a组对第三工件载台22上工件5进行曝光处理。
109.在完成曝光处理后，第三工件载台22开始朝向下料工位14移动，并在到位后关闭真空吸附装置。
110.下料臂7将第三工件载台22上的工件5取出。
111.4.第二工作区1a2内，第四工件载台24处于待机等待状态。
112.第四阶段
113.1.第一工作区1a1内，第一工件载台21处于待机等待状态。
114.2.第一工作区1a1内，第二工件载台23加工阶段：
115.曝光相机镜头4a组对第二工件载台23上工件5进行曝光处理。
116.在完成曝光处理后，第二工件载台23开始朝向下料工位14移动，并在到位后关闭真空吸附装置。
117.下料臂7将第二工件载台23上的工件5取出。
118.3.第二工作区1a2内，第三工件载台22处于返回阶段：
119.完成下料的第三工件载台22下降，从第三工作区1a内的下料工位14运动返回至第三工作区1a内的上料工位11，并在到达上料工位11后，待机等待。
120.在第四线工件载台2朝向第一工作区1a1内的加工工位13移动的过程中，第三工件载台22上升。
121.4.第二工作区1a2内，第四工件载台24处于定位阶段：
122.上料臂6同时吸取多件工件5交握于第四工件载台24上，在上料过程中，ccd相机镜头3a组开始朝向第二工作区1a2内的定位工位12移动。
123.完成上料后，第四工件载台24开启真空吸附装置，将呈阵列排布的工件5吸附固定，并朝向第二工作区1a2内的定位工位12移动，在移动到位后，设置于工件载台2台面处的光源装置开启。同时，ccd相机镜头3a组也移动至第二工作区1a2内的定位工位12。
124.ccd相机镜头3a组拍摄第四工件载台24上工件5图像对其进行定位。在定位过程中，曝光相机镜头4a组开始朝向第二工作区1a2内的加工工位13移动。
125.完成定位后，第四工件载台24朝向第二工作区1a2内的加工工位13移动，并与曝光镜头组同步移动至第二工作区1a2内的加工工位13。
126.如上所述，为本实施方式中多工位工件加工装置的一个完整工作流程，继续运行即重复进行上述工作流程。
127.在本实施方式中，曝光镜头组的实际利用率可以达到接近100％，而由于曝光所需
时长大于定位所需时长，因此，ccd相机镜头3a组在满足了与曝光处理同步调的情况下，也达到了最大化利用。
128.在本实用新型的其他实施方式中，也可根据工作区1a和工件载台2的具体数量，并根据工件5、定位设备3和加工设备4的类型调整各各阶段的具体细节步骤。
129.综上所述，本实用新型将至少三个工件载台在不同工位之间依次循环往复运动，当一个工件载台在返回阶段过程中，定位设备和加工设备被配置为分别对其他工件载台上的工件进行处理，从而使定位设备和加工设备在工作过程中处于连续工作状态，不出现断档的情况，定位设备和加工设备的利用率达到理论极限，能够显著提升工件加工效率。
130.应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
131.上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施方式的具体说明，并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。